空气弹簧作为一种理想的隔振元件,在半导体加工、高精密制造等领域有着广泛的应用。本文以囊式空气弹簧(convoluted air spring,CAS)为研究对象,由于腔内气体与弹簧囊体间存在相互作用,为保证计算精度,采用流固耦合的方法建立空气弹簧...空气弹簧作为一种理想的隔振元件,在半导体加工、高精密制造等领域有着广泛的应用。本文以囊式空气弹簧(convoluted air spring,CAS)为研究对象,由于腔内气体与弹簧囊体间存在相互作用,为保证计算精度,采用流固耦合的方法建立空气弹簧的有限元模型。使用ANSYS Mechanical/Fluent有限元软件计算空气弹簧模型的承载力与垂向刚度特性,分析初始气压、囊体等效材料强度、不同结构参数对其变化规律的影响,并设计试验对空气弹簧的垂向刚度特性进行测试,试验与仿真结果高度吻合。结果表明:初始气压、材料属性均对空气弹簧垂向刚度与承载力有显著影响,结构参数对其垂向刚度特性影响较小。展开更多
文摘空气弹簧作为一种理想的隔振元件,在半导体加工、高精密制造等领域有着广泛的应用。本文以囊式空气弹簧(convoluted air spring,CAS)为研究对象,由于腔内气体与弹簧囊体间存在相互作用,为保证计算精度,采用流固耦合的方法建立空气弹簧的有限元模型。使用ANSYS Mechanical/Fluent有限元软件计算空气弹簧模型的承载力与垂向刚度特性,分析初始气压、囊体等效材料强度、不同结构参数对其变化规律的影响,并设计试验对空气弹簧的垂向刚度特性进行测试,试验与仿真结果高度吻合。结果表明:初始气压、材料属性均对空气弹簧垂向刚度与承载力有显著影响,结构参数对其垂向刚度特性影响较小。
