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基于硅酸镓镧结构的SAW温度传感器设计及无线集成研究 被引量：1
1
作者 刘强 陈驰 +2 位作者 杨文龙 李鸿源 徐鸿 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第1期120-126,共7页
为实现恶劣环境下温度的准确测量,以硅酸镓镧结构(LGS)为压电基底,Pt为电极,Al_(2)O_(3)为保护层制备了一种单端口谐振型SAW温度传感器。通过实验探究了结构参数对传感器性能的影响,设计并开发了螺旋偶极子天线和陶瓷封装。结果表明:综... 为实现恶劣环境下温度的准确测量,以硅酸镓镧结构(LGS)为压电基底,Pt为电极,Al_(2)O_(3)为保护层制备了一种单端口谐振型SAW温度传感器。通过实验探究了结构参数对传感器性能的影响,设计并开发了螺旋偶极子天线和陶瓷封装。结果表明:综合考虑叉指换能器和反射栅之间的距离L_(g)对温度信号识别和SAW传感器性能的影响,L_(g)选择λ/8或者5λ/8;温度敏感性随着电极宽度增加而降低;通过对SAW传感器芯片、天线和陶瓷封装集成,在室温到600℃下实现了温度的无线稳定测量。 展开更多
关键词 saw传感器 无线测量 结构参数 螺旋偶极子天线 陶瓷封装
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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
2
作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 saw双工器
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小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
3
作者 韩捷 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期693-697,共5页
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器... 为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。 展开更多
关键词 SMR saw 小锤结构 双小锤加权结构 阻抗比 横向模态杂散
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
4
作者 贺贞 李燕 +3 位作者 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期88-91,共4页
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和... 为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和晶体结构进行分析。采用椭偏仪测试薄膜折射率及腐蚀后的膜厚变化量,并通过纳米压痕仪测量计算薄膜的硬度和弹性模量。结果表明,反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜更致密、薄膜表面粗糙度更小、弹性模量更大。采用反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜作为TC-SAW温补层,可以获得频率温度系数为-8.6×10^(-6)/℃的TC-SAW器件。 展开更多
关键词 TC-saw SiO_(2)温补层 反应磁控溅射
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SAW芯片的质量控制与可靠性测试方法的研究
5
作者 艾毅智 杨怡 陈虹羽 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期92-97,共6页
随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,... 随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,制定质量控制措施并研究可靠性测试方法,提升了芯片合格率,进而验证了质量控制措施和可靠性测试方法的有效性,在业内具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 saw芯片 失效模式 质量控制 可靠性
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用于塑封模组的SAW器件封装可靠性研究
6
作者 温桎茹 杨桃均 +3 位作者 向星诚 蒲志勇 米佳 唐盘良 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期823-827,共5页
针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模... 针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较高,在实际试验中大部分样品出现了电学性能异常、内部键合点断开的现象;WLP封装(晶圆级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较低,该方案模组样品在试验过程中具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 saw器件封装 塑封射频模组 可靠性 有限元数值模拟
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谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量：9
7
作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 saw压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
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SAW传感器及其在无源标识器中的应用 被引量：6
8
作者 刘积学 段成丽 +2 位作者 钟先信 彭江陵 张元勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第6期591-594,共4页
声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时... 声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时强大的信号处理能力,同时在信息敏感方面也展现出卓越的优势,如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、工艺简单且与半导体工艺兼容易于实现片上集成等特点,在多种物理、化学、生物传感器系统获得应用,广受重视。近年来,随着SAW器件工作频率提高到GHz以上,使得集信息敏感与信号处理、信号传输于一体的单芯片SAW无源标识器(SAW IDT)技术在多种SAW传感器系统获得广泛的应用,成为当今SAW和传感器两个技术领域的一个新发展亮点。本文基于信息敏感的角度对SAW传感器的理论、设计、结构、系统研究方向,在无源标识器(IDT)应用军方面进行了探讨。 展开更多
关键词 saw传感器 无源标识器(IDT) 信息敏感
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量：7
9
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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时域加窗技术改进无源无线SAW传感器测试研究 被引量：5
10
作者 邓森洋 张万里 +3 位作者 彭斌 郭珂君 蒋中东 曾义红 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期8-10,14,共4页
无源无线声表面波(SAW)传感器能工作在十分恶劣的环境中监控温度、应变、扭矩等因素的变化。利用无线测试传感器的群时延特性能方便地获得SAW传感器的谐振频率。但在一些复杂的环境中无线测试时会遇到环境反射的问题,此时测试的群时延... 无源无线声表面波(SAW)传感器能工作在十分恶劣的环境中监控温度、应变、扭矩等因素的变化。利用无线测试传感器的群时延特性能方便地获得SAW传感器的谐振频率。但在一些复杂的环境中无线测试时会遇到环境反射的问题,此时测试的群时延曲线会产生畸变,不利于提取SAW传感器的谐振频率。利用测试群时延特性的方法搭建了测试系统,对测试结果使用了时域加窗技术。结果表明:时域加窗技术能够有效抑制环境反射对群时延的影响,这对于提高无源无线SAW传感器实际应用中的信噪比具有重要的意义。 展开更多
关键词 无源无线saw传感器 时域加窗 群时延 环境反射
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La_3Ga_5SiO_(14)单晶的生长、性能及SAW应用 被引量：14
11
作者 武安华 徐家跃 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期559-564,共6页
本文综述了新型压电晶体La3 Ga5SiO14 的最新研究进展 ,详细讨论了该晶体的生长问题 ,简单介绍了该晶体的性能及其在SAW和BAW方面的应用 ,分析了该晶体在压电应用方面的优势。
关键词 单晶 应用 saw La3Ga5SiO14 Gzochralski LPE 晶体生长 压电性能 声表面波
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面向电网应用的SAW温度传感器设计 被引量：5
12
作者 王磊 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第6期817-819,共3页
针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传... 针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传感器。测试和应用试验表明,所设计的传感器性能具有良好的一致性、温度频率特性和旁瓣抑制能力,能较好满足面向电网温度状态监测的应用。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 谐振器 凯瑟尔窗 电网应用
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基于COM参数提取技术设计SAW梯形滤波器 被引量：5
13
作者 聂广琳 程红亚 汤劲松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期3-5,共3页
与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从... 与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从样品的测试结果发现,这种基于COM模型的阻抗元滤波器(IEF)的设计思路是正确可行的。 展开更多
关键词 COM模型 P矩阵 声表面波(saw)梯形滤波器 阻抗元滤波器
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光纤中继传输系统SAW时钟恢复滤波器 被引量：3
14
作者 黄广伦 秦廷辉 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第3期1-5,共5页
本文介绍了SAW定时滤波器再生中继器的基本电路,系统性能对SAW滤波器的要并报道了6种SAW横向定时滤波器的性能和使用结果。
关键词 光纤通信 saw滤波器 定时恢复
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基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器 被引量：3
15
作者 赵雪梅 郑泽渔 +3 位作者 董加和 伍平 陈彦光 陈正林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期253-255,共3页
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉... 该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 极窄带 相对带宽 双模声表面波
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用于SAW器件制造的键合减薄技术 被引量：3
16
作者 程进 刘卫国 +1 位作者 刘欢 郭伟进 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第2期158-161,共4页
铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层,通常LiNbO3晶片厚度为500μm,而实际上压电层的有效利用厚度为λ～2λ(λ为声表面波波长)。为能实现SAW器件的高度集成化,需用键合减薄及抛光技术对LiNbO3进行加工... 铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层,通常LiNbO3晶片厚度为500μm,而实际上压电层的有效利用厚度为λ～2λ(λ为声表面波波长)。为能实现SAW器件的高度集成化,需用键合减薄及抛光技术对LiNbO3进行加工处理。用粒径100nm的SiO2抛光液对减薄后的铌酸锂晶体样品进行化学机械抛光,研究了抛光垫、抛光盘转速、压力及抛光时间对抛光过程的影响。抛光结果表明最佳抛光工艺参数是:采用阻尼布抛光盘,100nm的SiO2抛光液,转速为120r/min,压力为3.9N,抛光时间为40min。经测试样品厚度为80μm,样品的最小粗糙度Ra=0.468nm,Rq=0.593nm(Ra为算术平均粗糙度,Rq为均方根粗糙度)。 展开更多
关键词 铌酸锂(LiNbO3)晶片 键合减薄 声表面波(saw)器件 抛光
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SAW加速度计量程调整及计量标定方法研究 被引量：6
17
作者 刘骏跃 陈明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1052-1056,共5页
提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的方法,研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用,以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。用SAW滤波器和电容器中的静电吸引力扩大和调整了悬臂梁式基本加速度计... 提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的方法,研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用,以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。用SAW滤波器和电容器中的静电吸引力扩大和调整了悬臂梁式基本加速度计的量程之后,需要对量程调整后的加速度计测量值进行校准和计量标定。本文利用精密离心机转速与其向心加速度之间的对应关系对SAW加速度计的测量数据进行了计量标定。 展开更多
关键词 悬臂梁式saw加速度计 量程调整 计量校准和标定 离心机
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基于支持向量机的SAW传感器阵列鉴别毒害气体的研究 被引量：2
18
作者 王建明 刘鑫璐 叶卫平 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期159-164,共6页
采用支持向量机技术,对声表面波传感器阵列检测出的气体特征矢量和被测样本信息进行训练和分类,鉴别出被测气体中的毒害气体.实验结果验证了方案的可行性和有效性.
关键词 支持向量机 saw 传感器阵列
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基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展 被引量：5
19
作者 何杰 马晋毅 +1 位作者 胡少勤 许昕 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期864-870,874,共8页
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/... 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。 展开更多
关键词 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI) 声表面波(saw)器件 5G无线通信 射频前端 键合剥离
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SAW膜材料HFIP功能化PS-b-PMPS的合成与吸附研究 被引量：3
20
作者 魏东炜 严逢春 张超 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1959-1962,共4页
探讨了六氟代异丙醇(HFIP)功能化聚苯乙烯/聚甲基苯基硅氧烷嵌段共聚物(PS-b-PMPS)的合成与涂膜方法.采用无水解缩聚方法合成了环状聚甲基苯基硅氧烷,阴离子聚合制备了窄分子量分布(Mw/Mn=1.99)的PS-b-PMPS,与六氟丙酮反应得产物。用IR... 探讨了六氟代异丙醇(HFIP)功能化聚苯乙烯/聚甲基苯基硅氧烷嵌段共聚物(PS-b-PMPS)的合成与涂膜方法.采用无水解缩聚方法合成了环状聚甲基苯基硅氧烷,阴离子聚合制备了窄分子量分布(Mw/Mn=1.99)的PS-b-PMPS,与六氟丙酮反应得产物。用IR、GPC、乌氏粘度计等方法进行表征。用旋涂法涂膜,2,4-二硝基甲苯(2,4-DNT)进行检测,结果表明2,4-DNT浓度为750mg/m3时,聚合物在30s内能快速地脱附与吸附。且当硅氧烷所占的链段摩尔分率为45以上时聚合物的涂膜性能更好。 展开更多
关键词 saw化学传感器 聚苯乙烯 聚甲基苯基硅氧烷 嵌段共聚物 阴离子聚合 爆炸物
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