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气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究被引量：1: 1; 作者郭秋芬孙枫 +2 位作者郝燕玲李峰朱强《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1024-1029,共6页; MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多。由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化。因此,研... 展开更多; 关键词 mems梳状线振动陀螺仪阻尼系数气压黏性系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型被引量：9: 2; 作者罗跃生《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2003年第1期49-53,共5页; 详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成定理,通过严格的力学分析和严密的数学演算得到了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的活动质量的加速度表达式... 展开更多; 关键词硅微陀螺仪加速度合成定理硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪微分方程模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型梳状线振动陀螺仪的特性研究: 3; 作者郭秋芬孙枫苗成义《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期352-356,共5页; 硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与... 展开更多; 关键词硅微陀螺仪梳状线振动温度特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究被引量：1: 4; 作者苏岩王寿荣 +3 位作者裘安萍周百令杨拥军李立杰《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期55-58,共4页; 本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;; 关键词振动轮式陀螺仪梳状谐振器电容信号器硅微型; 在线阅读下载PDF 职称材料

改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究被引量：1: 5; 作者周顺张燕娥《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第4期30-33,共4页; 以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。; 关键词微机械陀螺仪梳状电极驱动振动轮式硅悬浮力; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究被引量：1: 1; 作者郭秋芬孙枫郝燕玲李峰朱强; 机构航天科工惯性技术有限公司哈尔滨工程大学; 出处《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1024-1029,共6页; 基金微型陀螺姿态测量与稳定技术(513090602); 文摘 MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多。由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化。因此,研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的。根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点,建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型,研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响。通过研究分析可知,气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大,进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大。气压在接近或者大于一个大气压时,MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大,因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压。; 关键词 mems梳状线振动陀螺仪阻尼系数气压黏性系数; Keywords mems comb linear vibrated gyroscope Damping Pressure Mucous coefficient; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型被引量：9: 2; 作者罗跃生; 机构哈尔滨工程大学理学院; 出处《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2003年第1期49-53,共5页; 文摘详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成定理,通过严格的力学分析和严密的数学演算得到了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的活动质量的加速度表达式.并应用力学牛顿定律推导了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的一个微分方程数学模型.并对数学模型进行了求解,最后利用方程的解分析了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的基本工作规律.; 关键词硅微陀螺仪加速度合成定理硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪微分方程模型; Keywords micromachined silicon gyroscope acceleration composition theorem; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型梳状线振动陀螺仪的特性研究: 3; 作者郭秋芬孙枫苗成义; 机构哈尔滨工程大学自动化学院中国航天科工集团第三研究院第三十三研究所; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期352-356,共5页; 文摘硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法,经温度实验验证了这种方法的可行性,此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。; 关键词硅微陀螺仪梳状线振动温度特性; Keywords silicon mems gyroscope comb line vibration temperature characteristic; 分类号 TB123 [理学—工程力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究被引量：1: 4; 作者苏岩王寿荣裘安萍周百令杨拥军李立杰; 机构东南大学河北半导体研究所; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期55-58,共4页; 文摘本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;; 关键词振动轮式陀螺仪梳状谐振器电容信号器硅微型; Keywords vibratory wheel gyroscope comb resonator capacitance sensor; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程] V241.554 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究被引量：1: 5; 作者周顺张燕娥; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第4期30-33,共4页; 基金国防科技预研资助; 文摘以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。; 关键词微机械陀螺仪梳状电极驱动振动轮式硅悬浮力; Keywords micromechanical gyroscope comb drive electrode levitation optimal displacement; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程] V241.5; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究	郭秋芬孙枫郝燕玲李峰朱强	《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型	罗跃生	《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD	2003	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微型梳状线振动陀螺仪的特性研究	郭秋芬孙枫苗成义	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究	苏岩王寿荣裘安萍周百令杨拥军李立杰	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	2000	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究	周顺张燕娥	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD	1999	1	在线阅读下载PDF 职称材料