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射频轴快流CO_(2)激光器动态L型阻抗匹配网络设计
1
作者
黄盼
赵崇霄
+5 位作者
董祝君
赵振
潘其坤
冯育泽
张来明
郭劲
《中国光学(中英文)》
2025年第5期1155-1163,共9页
针对高功率轴快流CO_(2)激光器射频放电阻抗的匹配问题,本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络,以实现射频激励轴快流CO_(2)激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论,构建了多电极等效电路模型...
针对高功率轴快流CO_(2)激光器射频放电阻抗的匹配问题,本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络,以实现射频激励轴快流CO_(2)激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论,构建了多电极等效电路模型,提出向匹配网络中引入可调高压陶瓷电容的方法,设计了适用于高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器的动态L型匹配网络。模拟的动态L型匹配网络可向16根放电管注入60kW射频功率,在12.81Ω~49.94Ω总负载阻抗范围内反射率小于1%。搭建了单管射频放电实验装置,实验测得动态L型匹配网络在4kW注入功率下反射率小于1%,与仿真结果相符。上述结果表明引入可调高压陶瓷电容的动态L型匹配网络能够实现高动态范围内的阻抗匹配,基本满足高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器匹配电路的设计要求。
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关键词
轴快流CO_(2)激光器
射频激励
阻抗
匹配
l型动态匹配
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下载PDF
职称材料
题名
射频轴快流CO_(2)激光器动态L型阻抗匹配网络设计
1
作者
黄盼
赵崇霄
董祝君
赵振
潘其坤
冯育泽
张来明
郭劲
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学(中英文)》
2025年第5期1155-1163,共9页
基金
国家自然科学基金(No.62335016)
吉林省自然科学基金(No.20220101207JC)
+2 种基金
激光与物质相互作用国家重点实验室基金项目(No.SKLLIM2209)
中国科学院青年创新促进会(No.2021216)
吉林省青年成长科技计划项目(No.20230508139RC)。
文摘
针对高功率轴快流CO_(2)激光器射频放电阻抗的匹配问题,本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络,以实现射频激励轴快流CO_(2)激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论,构建了多电极等效电路模型,提出向匹配网络中引入可调高压陶瓷电容的方法,设计了适用于高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器的动态L型匹配网络。模拟的动态L型匹配网络可向16根放电管注入60kW射频功率,在12.81Ω~49.94Ω总负载阻抗范围内反射率小于1%。搭建了单管射频放电实验装置,实验测得动态L型匹配网络在4kW注入功率下反射率小于1%,与仿真结果相符。上述结果表明引入可调高压陶瓷电容的动态L型匹配网络能够实现高动态范围内的阻抗匹配,基本满足高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器匹配电路的设计要求。
关键词
轴快流CO_(2)激光器
射频激励
阻抗
匹配
l型动态匹配
Keywords
fast axia
l
f
l
ow CO_(2)
l
aser
RF excitation
impedance matching
l
-type dynamic matching
分类号
TN248.2 [电子电信]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频轴快流CO_(2)激光器动态L型阻抗匹配网络设计
黄盼
赵崇霄
董祝君
赵振
潘其坤
冯育泽
张来明
郭劲
《中国光学(中英文)》
2025
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