利用浸涂法将Cr_(2)O_(3)涂覆于Al_(2)O_(3)陶瓷表面,通过高温烧结获得涂层陶瓷,并系统性地研究了Cr_(2)O_(3)涂层对样品的物质成分、微观形貌、二次电子发射系数、表面电阻率和真空沿面耐压性能的影响。结果表明:涂层陶瓷表面呈红黑色...利用浸涂法将Cr_(2)O_(3)涂覆于Al_(2)O_(3)陶瓷表面,通过高温烧结获得涂层陶瓷,并系统性地研究了Cr_(2)O_(3)涂层对样品的物质成分、微观形貌、二次电子发射系数、表面电阻率和真空沿面耐压性能的影响。结果表明:涂层陶瓷表面呈红黑色,其为Al_(2)O_(3)-Cr_(2)O_(3)固溶体、Mg Al_(2)O_(4)和Cr_(2)O_(3)三种物质的混合物。相较于Al_(2)O_(3)陶瓷,涂层表面晶粒和孔洞的尺寸均较小,其晶粒尺寸均匀性也有明显提升。高温烧结后,Al、Cr两种元素相互扩散,并且涂层中有少量从陶瓷基体迁移而来的玻璃相。高温烧结的Cr_(2)O_(3)涂层将Al_(2)O_(3)陶瓷的二次电子发射系数减小至3.22,将表面电阻率减小至4.52×10^(11)Ω,将真空沿面耐压强度增大至34.44 k V/cm,此值较Al_(2)O_(3)陶瓷提高了约108%。展开更多
文摘利用浸涂法将Cr_(2)O_(3)涂覆于Al_(2)O_(3)陶瓷表面,通过高温烧结获得涂层陶瓷,并系统性地研究了Cr_(2)O_(3)涂层对样品的物质成分、微观形貌、二次电子发射系数、表面电阻率和真空沿面耐压性能的影响。结果表明:涂层陶瓷表面呈红黑色,其为Al_(2)O_(3)-Cr_(2)O_(3)固溶体、Mg Al_(2)O_(4)和Cr_(2)O_(3)三种物质的混合物。相较于Al_(2)O_(3)陶瓷,涂层表面晶粒和孔洞的尺寸均较小,其晶粒尺寸均匀性也有明显提升。高温烧结后,Al、Cr两种元素相互扩散,并且涂层中有少量从陶瓷基体迁移而来的玻璃相。高温烧结的Cr_(2)O_(3)涂层将Al_(2)O_(3)陶瓷的二次电子发射系数减小至3.22,将表面电阻率减小至4.52×10^(11)Ω,将真空沿面耐压强度增大至34.44 k V/cm,此值较Al_(2)O_(3)陶瓷提高了约108%。
