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基于多目标优化的高量程加速度传感器小型化设计被引量：5: 1; 作者张娟娟石云波 +3 位作者赵锐王毓婷郭萃张桐林《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1152-1157,共6页; 为了实现MEMS高量程压阻式加速度传感器的小型化,并提高其性能,提出一种多目标优化方法。将加速度传感器的性能、尺寸作为多目标函数,并将最优空间填充设计(OSF)和克里金(Kriging)代理模型相结合,构建目标函数与几何变量之间的函数关系... 展开更多; 关键词高量程加速度传感器小型化多目标优化 Kriging代理模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

高量程加速度传感器在测试中的失效分析被引量：4: 2; 作者张贺石云波 +2 位作者唐军赵锐刘俊《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1422-1425,共4页; 通过在不同测试环境对高量程加速度传感器进行测试,并对传感器在测试中出现的失效进行分析,在实验室环境测试中出现的主要失效模式为键合引线的脱落和微梁的断裂,其原因是不同金属的引线键合强度较低;重复性的冲击加速了材料的疲劳。在... 展开更多; 关键词高量程加速度传感器 HOPKINSON杆侵彻失效; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于窄脉冲校准的高量程加速度传感器动态建模被引量：2: 3; 作者米振国石云波 +2 位作者王彦林温晓杰张娟娟《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1155-1160,共6页; 面对高量程加速度传感器动态校准中存在的测不准以及数据处理困难等问题,论述了窄脉冲校准原理,引入了消除噪声干扰的广义最小二乘算法对于传感器的校准数据进行处理,并且结合窄脉冲校准原理进行了算法的数值仿真与实验验证。利用Hopkin... 展开更多; 关键词高量程加速度传感器动态校准系统辨识广义最小二乘法; 在线阅读下载PDF 职称材料

高量程加速度传感器的灵敏度校准方法被引量：1: 4; 作者赵耀霞张艳双王代华《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2014年第4期171-173,共3页; 高量程加速度传感器面向特殊被测对象,其灵敏度需作经常性校准。以霍普金森杆产生冲击加速度并由激光多普勒干涉仪进行测量,同时记录被校传感器的响应输出,进而实现高量程加速度传感器的灵敏度校准。分析了两种灵敏度指标的校准方法,对... 展开更多; 关键词高量程加速度传感器灵敏度校准霍普金森杆激光多普勒干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究被引量：2: 5; 作者鲍海飞宋朝辉 +3 位作者李昕欣刘民张鲲陆德仁《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1019-1023,共5页; 提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究。实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过... 展开更多; 关键词高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析被引量：1: 6; 作者鲍海飞李昕欣 +3 位作者宋朝辉张鲲刘民陆德仁《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期228-231,共4页; 文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度... 展开更多; 关键词高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响被引量：1: 7; 作者郭惠玉文丰 +2 位作者康强石云波王艳阳《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期83-87,共5页; 贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论... 展开更多; 关键词封装贴片工艺高量程MEMS加速度传感器弹性模量有限元分析霍普金森杆; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于多目标优化的高量程加速度传感器小型化设计被引量：5: 1; 作者张娟娟石云波赵锐王毓婷郭萃张桐林; 机构中北大学电子测试技术重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1152-1157,共6页; 基金国家自然科学基金项目(61704158) 山西省应用基础研究计划项目(201801D221213)。; 文摘为了实现MEMS高量程压阻式加速度传感器的小型化,并提高其性能,提出一种多目标优化方法。将加速度传感器的性能、尺寸作为多目标函数,并将最优空间填充设计(OSF)和克里金(Kriging)代理模型相结合,构建目标函数与几何变量之间的函数关系。然后将精度较差的样本点作为细化点、不断更新代理模型,直至模型拟合精度满足指标要求。最后利用非支配排序遗传(NSGA-Ⅱ)算法进行多约束优化得到帕累托(Pareto)最优解集。优化结果表明,传感器的尺寸减小了29.33%,一阶谐振频率提高了27.94%,在100000 g_(n)过载下的理论灵敏度提高了23.64%,且不会降低该高量程加速度传感器的抗过载能力,从而验证了该方法的有效性。; 关键词高量程加速度传感器小型化多目标优化 Kriging代理模型; Keywords high-range accelerometer miniaturization multi-objective optimization Kriging proxy model; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高量程加速度传感器在测试中的失效分析被引量：4: 2; 作者张贺石云波唐军赵锐刘俊; 机构中北大学电子测试国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1422-1425,共4页; 基金国家自然科学基金项目(50535030); 文摘通过在不同测试环境对高量程加速度传感器进行测试,并对传感器在测试中出现的失效进行分析,在实验室环境测试中出现的主要失效模式为键合引线的脱落和微梁的断裂,其原因是不同金属的引线键合强度较低;重复性的冲击加速了材料的疲劳。在实弹测试环境测试中出现的传感器失效原因主要是在侵彻测试中传感器芯片与侵彻信号中高频分量发生共振导致过载增大,传感器芯片上的微结构位移失控,造成传感器结构断裂。; 关键词高量程加速度传感器 HOPKINSON杆侵彻失效; Keywords high-g accelerometer Hopkinson bar penetration failure; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于窄脉冲校准的高量程加速度传感器动态建模被引量：2: 3; 作者米振国石云波王彦林温晓杰张娟娟; 机构中北大学电子测试技术重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1155-1160,共6页; 基金电子测试重点实验室稳定支持经费项目(WD61420010411804)。; 文摘面对高量程加速度传感器动态校准中存在的测不准以及数据处理困难等问题,论述了窄脉冲校准原理,引入了消除噪声干扰的广义最小二乘算法对于传感器的校准数据进行处理,并且结合窄脉冲校准原理进行了算法的数值仿真与实验验证。利用Hopkinson杆对于自研的量程为200 000 g_n的多级封装传感器进行了窄脉冲动态校准实验,系统辨识的结果表明模型获得的传感器的本征模态与通过FFT方法获得的本征模态分别为482.4 kHz以及481.8 kHz,并且曲线精度大大优于后者。; 关键词高量程加速度传感器动态校准系统辨识广义最小二乘法; Keywords high range acceleration sensor dynamic calibration system identification generalized least square method; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高量程加速度传感器的灵敏度校准方法被引量：1: 4; 作者赵耀霞张艳双王代华; 机构中北大学信息与通信工程学院衡水市医疗保险基金管理中心; 出处《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2014年第4期171-173,共3页; 文摘高量程加速度传感器面向特殊被测对象,其灵敏度需作经常性校准。以霍普金森杆产生冲击加速度并由激光多普勒干涉仪进行测量,同时记录被校传感器的响应输出,进而实现高量程加速度传感器的灵敏度校准。分析了两种灵敏度指标的校准方法,对国产压电式加速度传感器的两种指标进行了校准,给出了校准结果并分析了其影响因素。; 关键词高量程加速度传感器灵敏度校准霍普金森杆激光多普勒干涉仪; Keywords high-range accelerometer sensitivity calibration Hopkinson bar laser doppler interfer-ometer; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究被引量：2: 5; 作者鲍海飞宋朝辉李昕欣刘民张鲲陆德仁; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1019-1023,共5页; 基金国家973计划(2006CB300405) 国家863计划(2007AA048315-1)资助~~; 文摘提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究。实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过同时比较监控两通道的输出波形,可以确定器件的横向灵敏度。此方法简单可靠,并容易实施,对测试中产生的误差进行分析。; 关键词高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统; Keywords High-g accelerometer Transverse response Comparison method of waveform Free-drop bar Micro-electro-mechanical system（MEMS ）; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析被引量：1: 6; 作者鲍海飞李昕欣宋朝辉张鲲刘民陆德仁; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期228-231,共4页; 基金国家973微纳机电敏感结构与传感器(2006CB300405); 文摘文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度自由落下与放置在地面上的金属砧发生相互碰撞,利用双通道放大器和计算机数据采集系统同时记录两路信号。实验中分别对6 000 g和60 000 g的压阻加速度传感器进行了研究,该方法具有较好的重复性和可靠性,并分析了测试偏差来源对横向响应的影响。; 关键词高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统; Keywords high-g accelerometer transverse response comparison method of waveform free-drop bar MEMS; 分类号 TP21 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响被引量：1: 7; 作者郭惠玉文丰康强石云波王艳阳; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学电子测试技术国防科技重点实验室; 出处《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期83-87,共5页; 基金国家自然科学基金项目(51225504)资助~~; 文摘贴片工艺是高量程MEMS加速度传感器封装工艺中一个非常重要的环节,对传感器的灵敏度和可靠性具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的高量程MEMS加速度传感器的贴片封装模式,利用有限元分析法建立了传感器的贴片封装模型,基于理论、有限元方法研究了贴片胶弹性模量对传感器性能的影响。使用两种不同弹性模量的贴片胶对传感器进行了封装,开展了基于霍普金森压杆测试系统的传感器性能测试试验。模拟和试验结果表明:对于使用贴片封装模式的高量程MEMS传感器,其灵敏度随着贴片胶弹性模量的增加而相应的提高。; 关键词封装贴片工艺高量程MEMS加速度传感器弹性模量有限元分析霍普金森杆; Keywords Packaging Die process High-g MEMS accelerometer Elastic modulus Finite element analysis（FEA） Hopkinson Bar; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于多目标优化的高量程加速度传感器小型化设计	张娟娟石云波赵锐王毓婷郭萃张桐林	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	高量程加速度传感器在测试中的失效分析	张贺石云波唐军赵锐刘俊	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于窄脉冲校准的高量程加速度传感器动态建模	米振国石云波王彦林温晓杰张娟娟	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2020	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	高量程加速度传感器的灵敏度校准方法	赵耀霞张艳双王代华	《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究	鲍海飞宋朝辉李昕欣刘民张鲲陆德仁	《机械强度》 CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析	鲍海飞李昕欣宋朝辉张鲲刘民陆德仁	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响	郭惠玉文丰康强石云波王艳阳	《机械强度》 CAS CSCD 北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料