非本征光纤法-珀传感器局部放电检测研究进展 被引量：14

1

作者 陈起超 张伟超 +2 位作者 白仕光 杜亮 赵洪 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期1305-1320,共16页

电力设备局部放电检测一直是国内外学者的研究重点,局放超声信号由于具有抗干扰易定位等优点而成为近年来的研究热点。随着科技的发展,使用光学传感器检测局放超声信号成为一种新兴的技术方法。在众多的光学传感器中非本征光纤法布里-珀... 电力设备局部放电检测一直是国内外学者的研究重点,局放超声信号由于具有抗干扰易定位等优点而成为近年来的研究热点。随着科技的发展,使用光学传感器检测局放超声信号成为一种新兴的技术方法。在众多的光学传感器中非本征光纤法布里-珀罗(EFPI)传感器由于具有体积小、灵敏度高和抗电磁干扰等优点而备受关注。首先,介绍了国内外关于EFPI传感器的研究现状;其次,对EFPI传感器的检测原理、膜片材料的基本性能及制备方法进行了细致的阐述,并分析了可用于外置耦合检测的传感器可行性和优化完善传感器灵敏度设计方法的意义;最后,对EFPI传感器在局放检测中的局放点定位研究进行了分析,总结了传感器在应用研究中遇到的问题及解决方法,并根据EFPI传感器的实际情况,对传感器未来的发展趋势和研究重点进行了展望。 展开更多

关键词 局放超声信号检测 非本征光纤法-珀传感器 膜片材料 制备方法 特性参数

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用于液体介质中局放声测的非本征光纤法珀传感器 被引量：19

2

作者 赵洪 李敏 +1 位作者 王萍萍 张影 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第22期59-63,共5页

用膜片与光纤尾纤端面构成非本征光纤法珀传感器,测量液体介质中局部放电产生的声波,所组成系统具有全介质结构和抗电磁干扰能力。采用尾纤分别与石英膜和微电子机械系统(micro electronic mechanical systems,MEMS)工艺获得硅膜制成传... 用膜片与光纤尾纤端面构成非本征光纤法珀传感器,测量液体介质中局部放电产生的声波,所组成系统具有全介质结构和抗电磁干扰能力。采用尾纤分别与石英膜和微电子机械系统(micro electronic mechanical systems,MEMS)工艺获得硅膜制成传感器,根据理论分析和计算机仿真结果建立确定传感器参数的方法。应用压电超声传感器与两种膜片的光纤传感器共同测量局放产生的声发射信号。实验结果表明,硅膜结构的非本征光纤法珀传感器最小可测放电量达到了150pC,实验同时验证了法珀腔长工作点对测量灵敏度的影响。 展开更多

关键词 非本征法珀传感器 压电超声传感器 局部放电 声发射

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光纤非本征法布里-玻罗传感器兰姆波检测灵敏度分析 被引量：1

3

作者 张海燕 孙修立 +2 位作者 石志东 陈娜 肖悦娱 《声学技术》 CSCD 2009年第4期485-487,共3页

基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超... 基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超声兰姆波作用下光纤非本征法布里-玻罗(EFPI)传感器参数与其输出性能之间的关系。数值结果显示了传感器的性能与其相对于声源的方向角以及传感器的计量长度与超声波长的比值相关。所得出的结论对于EFPI传感器精确地探测兰姆波提供了理论依据。 展开更多

关键词 兰姆波 光纤传感器 非本征法布里-玻罗干涉仪 灵敏度分析

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非本征法珀型超声传感器输出信号的特征 被引量：12

4

作者 赵洪 李敏 +1 位作者 张影 王萍萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1018-1024,共7页

根据多光束干涉原理制备了非本征光纤法珀(FP)型传感器,用于测量在液体中传播的超声波,分析了传感器灵敏度和幅频特性的影响因素,研究了其输出信号的特征。用镀膜的石英膜、尾纤端面和空气腔形成FP干涉腔。建立了传感器参数确定的方法,... 根据多光束干涉原理制备了非本征光纤法珀(FP)型传感器,用于测量在液体中传播的超声波,分析了传感器灵敏度和幅频特性的影响因素,研究了其输出信号的特征。用镀膜的石英膜、尾纤端面和空气腔形成FP干涉腔。建立了传感器参数确定的方法,对石英膜的幅频特性进行了理论分析和实验验证。最后,建立了非本征光纤FP超声测量系统,讨论和验证了不同工作点状态对系统输出信号特征的影响。实验结果表明,本文制备的非本征法珀型超声传感器可以进行液体中超声的测量;传感器的一阶谐振频率为140 kHz,灵敏度为0.005 nm/Pa。该传感器的输出信号特征决定于工作点状态及输入信号的调制深度,当工作点位于工作曲线的线性区中点时,输出信号的灵敏度最高;当过调制时,输出信号出现倍频,可以扩大测量范围。 展开更多

关键词 非本征法珀型超声传感器 工作点 输出信号 幅频特性

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光纤法-珀传感器监测混凝土固化期收缩应变的实验研究 被引量：11

5

作者 封君 朱永 +3 位作者 李晓宇 石荣 陈伟民 黄尚廉 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第10期908-912,共5页

本文介绍了光纤法 -珀应变传感器的基本原理及优点 ,并用其进行了混凝土固化过程中的收缩应变监测实验 ,在混凝土两天的固化过程中监测到了 1 3 0微应变的收缩应变 .本文还对光纤法 -珀应变传感器的温度稳定性能进行了理论分析及对比实... 本文介绍了光纤法 -珀应变传感器的基本原理及优点 ,并用其进行了混凝土固化过程中的收缩应变监测实验 ,在混凝土两天的固化过程中监测到了 1 3 0微应变的收缩应变 .本文还对光纤法 -珀应变传感器的温度稳定性能进行了理论分析及对比实验 ,实验结果表明 ,在一定条件下环境温度对光纤法 -珀应变传感器的影响可忽略不计 ,因此可不用任何温度补偿 . 展开更多

关键词 光纤法-珀传感器 收缩应变 混凝土结构 固化

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温度对光纤法-珀液位传感器腔深度的影响与补偿 被引量：9

6

作者 黄伟荣 高应俊 +2 位作者 刘志麟 张范军 阮驰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1810-1813,共4页

在深入研究温度对光纤法珀液位传感器腔深度影响的基础上,提出一种特别的腔结构设计,可以几乎完全补偿温度对FP腔深度影响,使得腔的温度稳定性很好.这种压力式全光型光纤液位传感器的安装非常方便,特别适合于对已有的装载易燃易爆物质... 在深入研究温度对光纤法珀液位传感器腔深度影响的基础上,提出一种特别的腔结构设计,可以几乎完全补偿温度对FP腔深度影响,使得腔的温度稳定性很好.这种压力式全光型光纤液位传感器的安装非常方便,特别适合于对已有的装载易燃易爆物质的大型油罐、储液罐等进行自动化监测与管理,也适合于一般工业生产与生活中液位的精密监控. 展开更多

关键词 液位 光纤传感器 法-珀(Fabry-Perot)腔 温度 补偿

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非本征F-P局部放电光纤传感器设计及灵敏度分析 被引量：6

7

作者 聂德鑫 陈连凯 +5 位作者 姜国义 刘海波 皮本熙 张伟超 刘杰 张滦 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期954-960,共7页

为解决超声波法检测电力设备局部放电灵敏度低问题,提出一种采用石英膜片的全电介质结构的光纤法-珀超声传感器设计方法。为获得适于局放检测频响特性的法-珀传感器,根据弹性力学原理分析法-珀传感器固有频率随膜片尺寸参数变化规律,利... 为解决超声波法检测电力设备局部放电灵敏度低问题,提出一种采用石英膜片的全电介质结构的光纤法-珀超声传感器设计方法。为获得适于局放检测频响特性的法-珀传感器,根据弹性力学原理分析法-珀传感器固有频率随膜片尺寸参数变化规律,利用ANSYS有限元仿真方法设计3种不同结构尺寸的法-珀传感器。在绝缘油箱中采用信号发生器驱动压电陶瓷传感器发射50kHz^250kHz超声波,获得F-P传感器的幅频特性曲线。F-P1~F-P3对板-板电极局放声信号检测实验表明,设计传感器一阶固有频率在150kHz处可有效检测局放,且相同固有频率下F-P传感器灵敏度随膜片厚度减小而显著提高。相同结构参数下腔长为130μm和100μm的F-P传感器检测灵敏度前者是后者的2.47倍,实验结果表明增加F-P腔长可提高传感器局放检测灵敏度。 展开更多

关键词 光纤法-珀传感器 局放检测 频响特性 灵敏度

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光纤法-珀传感器并联复用的互相关解调 被引量：4

8

作者 章鹏 朱永 +1 位作者 雷小华 陈伟民 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期70-72,共3页

为了实现光纤法-珀传感器并联复用信号的高精度、绝对腔长解调,提出了一种改进的互相关解调法。该方法采用了特殊的相关因子,使得它与复用输出信号的互相关函数在传感器各腔长处为单峰从而有利于腔长比较接近的传感器的分辨;采用分段黄... 为了实现光纤法-珀传感器并联复用信号的高精度、绝对腔长解调,提出了一种改进的互相关解调法。该方法采用了特殊的相关因子,使得它与复用输出信号的互相关函数在传感器各腔长处为单峰从而有利于腔长比较接近的传感器的分辨;采用分段黄金搜索法减少了计算量,解调速度快。在宽带光源、光谱仪等组成的解调系统中对两只传感器复用进行了实验验证,结果表明:该系统可以实现光纤法-珀传感器并联复用信号的解调,能分辨的传感器之间的最小腔长差小于6ìm,腔长波动小于0.07ìm。 展开更多

关键词 光纤传感器 法-珀传感器 解调 互相关 复用

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基于M-Z干涉仪的光纤法-珀传感器解调方法 被引量：3

9

作者 刘浩 刘佳 +1 位作者 任乾钰 贾平岗 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第4期484-489,共6页

该文研究了一种基于马赫-曾德尔干涉仪(MZI)结构的光纤法-珀(F-P)传感器扫描式互相关解调方法。解调系统中的光源采用C+L波段放大自发辐射(ASE)宽带光源,用于匹配F-P腔的MZI采用可调光纤延时线与压电陶瓷(PZT)式光纤相位调制器等集成光... 该文研究了一种基于马赫-曾德尔干涉仪(MZI)结构的光纤法-珀(F-P)传感器扫描式互相关解调方法。解调系统中的光源采用C+L波段放大自发辐射(ASE)宽带光源,用于匹配F-P腔的MZI采用可调光纤延时线与压电陶瓷(PZT)式光纤相位调制器等集成光学器件构成,解调系统整体实现相对简便。实验中搭建的MZI,其臂长差在16.8 cm范围内连续可调,并可在15μm范围实现重复扫描,扫描速度达到50 Hz。理论仿真分析及实验验证表明,该套解调系统可以实现对F-P传感器的信号解调。 展开更多

关键词 光纤 法-珀传感器 马赫-曾德尔干涉仪 解调 压电陶瓷

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基于腐蚀硼锗共掺光纤的自闭合光纤法-珀传感器 被引量：1

10

作者 饶云江 郭宇 龚元 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期227-231,共5页

提出了采用化学腐蚀硼锗共掺光纤通过电弧放电封闭成型制作非本征型光纤法-珀传感器的方法。发现硼锗共掺光纤在40%氢氟酸溶液中的腐蚀速率是一般单模光纤的30倍以上。在1.357～1.400的折射率范围内,条纹对比度随折射率改变的灵敏度约为... 提出了采用化学腐蚀硼锗共掺光纤通过电弧放电封闭成型制作非本征型光纤法-珀传感器的方法。发现硼锗共掺光纤在40%氢氟酸溶液中的腐蚀速率是一般单模光纤的30倍以上。在1.357～1.400的折射率范围内,条纹对比度随折射率改变的灵敏度约为30 dB/RIU,分辨率约为3.33×10 5,线性度为0.99以上。化学腐蚀硼锗共掺光纤制作光纤法-珀传感器的方法,适于批量生产,成本低,并有望用于制作腔长较长的光纤法-珀传感器,以实现多个传感器的空间频分复用。 展开更多

关键词 硼锗共掺光纤 光纤法-珀传感器 光纤传感器 折射率测量

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基于F-P原理的非本征型光纤爆炸动压传感器设计 被引量：1

11

作者 陈显 徐芬 +1 位作者 余尚江 杨吉祥 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第4期76-78,共3页

设计了一种非本征型光纤法布里—珀罗(F—P)爆炸压力传感器,传感器采用膜片式结构,采用三波长法对F—P信号进行解调。压力加载试验表明,研制的F—P压力传感器线性度较好,具有较高的频响特性,在实际的爆炸测试中不受电磁干扰影响,可用于... 设计了一种非本征型光纤法布里—珀罗(F—P)爆炸压力传感器,传感器采用膜片式结构,采用三波长法对F—P信号进行解调。压力加载试验表明,研制的F—P压力传感器线性度较好,具有较高的频响特性,在实际的爆炸测试中不受电磁干扰影响,可用于爆炸动压测量。 展开更多

关键词 非本征光纤 法布里—珀罗 压力传感器 爆炸测量

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光纤法布里-珀罗传感器幅值归一化-最小均方差联合解调算法 被引量：4

12

作者 冯嘉双 王伟 +4 位作者 张雄星 陈海滨 郭子龙 申佳鑫 张军英 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期93-100,共8页

面向光纤法布里-珀罗传感器的腔长解调,提出一种结合幅值归一化与最小均方差的联合解调算法.采用幅值归一化实现返回光谱信号与模拟光谱信号的等幅,提高解调精度.仿真结果表明,相较于传统最小方差法,该算法的解调精度显著提升.实验结果... 面向光纤法布里-珀罗传感器的腔长解调,提出一种结合幅值归一化与最小均方差的联合解调算法.采用幅值归一化实现返回光谱信号与模拟光谱信号的等幅,提高解调精度.仿真结果表明,相较于传统最小方差法,该算法的解调精度显著提升.实验结果表明,采用该算法可实现优于0.72nm的高分辨率. 展开更多

关键词 光纤传感器 法布里-珀罗腔 最小均方差 双峰法 腔长解调

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光纤法布里-珀罗传感器的条纹计数法解调误差研究 被引量：4

13

作者 许亨艺 雷小华 +1 位作者 陈伟民 陈涛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期59-63,共5页

为探究光纤法布里-珀罗传感器条纹计数法的解调准确度,对基于波峰波谷复合算法的条纹计数法的腔长解调误差及其影响因素进行了理论推导、仿真分析和实验验证.结果表明:光纤法布里-珀罗传感器干涉光谱的干涉级次及干涉级次差、波峰波谷... 为探究光纤法布里-珀罗传感器条纹计数法的解调准确度,对基于波峰波谷复合算法的条纹计数法的腔长解调误差及其影响因素进行了理论推导、仿真分析和实验验证.结果表明:光纤法布里-珀罗传感器干涉光谱的干涉级次及干涉级次差、波峰波谷的位置准确度是影响解调准确度的主要因素;干涉级次随腔长的变化导致腔长解调结果产生周期性跳动误差,跳动周期约为光源中心波长的1/4;周期性跳动误差的幅度受波峰波谷位置准确度的影响,波峰波谷位置准确度越低,周期性跳动误差幅度越大,腔长解调误差越大. 展开更多

关键词 信号解调 光纤法布里-珀罗传感器 条纹计数法 腔长 误差

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干涉条纹计数法光纤Fabry-Perot腔液位传感器 被引量：6

14

作者 赵中华 高应俊 +3 位作者 骆宇锋 周密 丁涛 张志律 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1369-1372,共4页

提出一种抗光源波动和外界干扰的条纹计数法光纤Fabry-Perot腔干涉型液位传感器.为适应这种条纹计数法对应变大挠度的要求,采用波纹管作应力弹性元件;对干涉条纹走向(或液位升降判向),分别提出实用的硬件设计方案和计算机软件处理办法;... 提出一种抗光源波动和外界干扰的条纹计数法光纤Fabry-Perot腔干涉型液位传感器.为适应这种条纹计数法对应变大挠度的要求,采用波纹管作应力弹性元件;对干涉条纹走向(或液位升降判向),分别提出实用的硬件设计方案和计算机软件处理办法;给出一种腔长温度补偿设计;实际制作了双光路光纤Fabry-Perot腔液位传感器,进行了实际气压模拟试验和实际水位测量试验,取得了良好结果. 展开更多

关键词 光纤液位传感器 法布里-珀罗腔 条纹计数法 波纹管

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激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器 被引量：2

15

作者 刘宇 王萌 +2 位作者 王博 姜丽娟 王少华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期112-114,117,共4页

分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴... 分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40～240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。 展开更多

关键词 传感器 非本征法-珀干涉型 膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器 Nd YAG激光加工

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基于光纤法布里——珀罗干涉仪的温度传感器 被引量：7

16

作者 段丹阳 程进 +2 位作者 高然 逯丹凤 祁志美 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第4期124-127,共4页

提出了一种基于光纤法布里—珀罗(F-P)干涉仪的温度传感器,传感器的敏感部分是一段两端研磨为平面的单模光纤,它的一端与一根单模传光光纤相接以形成一个反射面,另一端与空气接触形成另一个反射面,这两个反射面与敏感部分光纤形成本征光... 提出了一种基于光纤法布里—珀罗(F-P)干涉仪的温度传感器,传感器的敏感部分是一段两端研磨为平面的单模光纤,它的一端与一根单模传光光纤相接以形成一个反射面,另一端与空气接触形成另一个反射面,这两个反射面与敏感部分光纤形成本征光纤F-P干涉仪(IFPI)。分析了该光纤温度传感器的温度响应特性,制作了传感器原理样机,搭建了测试平台,并对原理样机进行了测试。在25~30℃的范围内对传感器进行了标定,测得温度响应灵敏度为21.504·2πrad/℃,温度分辨率为0.046℃。实验结果表明:该传感器对温度有较好的线性响应和较高的灵敏度,且制作工艺简单,成本低,具有良好的应用前景。 展开更多

关键词 光纤温度传感器 本征法布里-珀罗干涉仪 单模光纤 温度响应

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局部放电非本征法珀光纤传感检测技术述评 被引量：9

17

作者 司文荣 傅晨钊 +4 位作者 黄华 郭森 沈晓峰 高勤践 陆忠心 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期20-32,共13页

电工设备局部放电(partial discharge,PD)检测主要有脉冲电流法、射频(高频)法、暂态对地电压法、特高频法、化学检测法、光检测法和超声波法。其中,基于光纤传感技术的检测方法具有安全、绝缘和抗电磁干扰等优点,适合设计成预埋式或侵... 电工设备局部放电(partial discharge,PD)检测主要有脉冲电流法、射频(高频)法、暂态对地电压法、特高频法、化学检测法、光检测法和超声波法。其中,基于光纤传感技术的检测方法具有安全、绝缘和抗电磁干扰等优点,适合设计成预埋式或侵入式传感器安装在电工设备内部或外部壳体上,进行PD在线监测或带电检测,具有发展前景。文中首先对基于光纤传感技术的PD测量方法、原理参数和优缺点进行了概述,主要介绍了PD光纤非本征法珀(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)超声波传感检测技术,详述了基于光纤EFPI传感检测PD超声波信号的技术原理、传感器性能试验和研究进展,分析了研制该光纤EFPI超声波传感器的关键参数和应用问题,并预期了其发展趋势。 展开更多

关键词 局部放电 光纤传感器 超声波检测 非本征法珀 综述

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液-固复合介质对光纤法-珀局部放电超声响应强度影响分析 被引量：9

18

作者 张伟超 董青青 +1 位作者 赵洪 张立永 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期2230-2238,共9页

非本征光纤法-珀(F-P)传感器置于电力设备内液体绝缘检测局放声信号面临灵敏度低的问题。由于不同介质结构的声压分布影响灵敏度,采用声场有限元方法分析声波机械能在液-固复合介质中的暂态传递过程,对比超声波经液-固-液介质与单一液... 非本征光纤法-珀(F-P)传感器置于电力设备内液体绝缘检测局放声信号面临灵敏度低的问题。由于不同介质结构的声压分布影响灵敏度,采用声场有限元方法分析声波机械能在液-固复合介质中的暂态传递过程,对比超声波经液-固-液介质与单一液体介质传播后的声压大小,并分析固体物性参数对声压的影响,提出利用复合介质结构增强声压提高局放检测灵敏度的方法。分别采用PZT和板-板电极为连续超声源和局放声波源,对比F-P传感器在液体介质和液-固-液介质中的响应幅值。结果表明,液-固-液声耦合结构对声压有增强作用,且增强大小与传感器和固体介质的距离、固体介质物性参数相关;F-P传感器在液-固-液耦合结构中的局放响应幅值约是纯液体中的2倍。 展开更多

关键词 局部放电 非本征法-珀传感器 有限元分析 超声传播

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非扫描式光纤法-珀解调仪分析与设计 被引量：3

19

作者 龚天诚 朱永 +2 位作者 王宁 李丽慧 李阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第6期801-805,共5页

利用相关解调原理研制了非扫描式光纤法-珀解调仪,进行了理论分析和系统优化。仪器以线阵电荷耦合器件(CCD)为光电探测器,结合现场可编程门阵列器件(FPGA)和上位机(ARM)处理,实现信号的实时处理。线性光不均匀性和杂散光所带来的背景噪... 利用相关解调原理研制了非扫描式光纤法-珀解调仪,进行了理论分析和系统优化。仪器以线阵电荷耦合器件(CCD)为光电探测器,结合现场可编程门阵列器件(FPGA)和上位机(ARM)处理,实现信号的实时处理。线性光不均匀性和杂散光所带来的背景噪声,导致不能准确检测出相关信号的极大值。为此,提出了一种能有效滤除背景噪声信号处理算法,提高了仪器对微弱信号的探测能力和稳定性,使其对光纤法-珀传感器腔长测量的相关系数达到0.999 9,测量波动仅为7nm。实验结果表明,该仪器能实现对传感器腔长的实时测量,且测量精度高,稳定性和一致性好。 展开更多

关键词 光纤法-珀传感器 非扫描式 相关解调 背景噪声 信号处理

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临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计 被引量：1

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作者 张雨彤 江毅 +1 位作者 杨水旺 张大有 《火箭推进》 CAS 北大核心 2024年第3期118-123,共6页

研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P... 研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。 展开更多

关键词 光纤压力传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 蓝宝石晶片 绝对压力测量

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