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闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在切削刀具上的应用 被引量:10
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作者 白力静 李玉庆 +1 位作者 肖继明 蒋百灵 《西安理工大学学报》 CAS 2006年第1期20-23,共4页
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制,工艺控制简单,可以方便地设计镀层的成分和结构,且膜/基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质CrTiAlN梯度膜,该膜具有良好的结合力和韧性,在无润滑切削条件... 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制,工艺控制简单,可以方便地设计镀层的成分和结构,且膜/基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质CrTiAlN梯度膜,该膜具有良好的结合力和韧性,在无润滑切削条件下,适用不同的切削方式:对于普通高速钢钻头提高寿命数十倍,同时扩展工件材料至高强度钢;对断续式的铣削黄铜,可提高寿命25倍;对于加工PVC板的微钻,寿命仍可提高4倍以上。 展开更多
关键词 闭合平衡磁控溅射 刀具 镀层设计 结合强度
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金属基类石墨复合膜微观组织结构分析 被引量:2
2
作者 王佐平 邢建东 +1 位作者 胡奈赛 王伟 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第16期87-90,共4页
应用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,用SEM、AFM和TEM分析了金属基类石墨复合膜的表面形貌和截面结构,并测试了类石墨复合膜的摩擦学特性。结果表明,类石墨复合膜是由柱状多晶过渡层+非晶梯度层+类石墨复合... 应用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,用SEM、AFM和TEM分析了金属基类石墨复合膜的表面形貌和截面结构,并测试了类石墨复合膜的摩擦学特性。结果表明,类石墨复合膜是由柱状多晶过渡层+非晶梯度层+类石墨复合层组成的多层结构。 展开更多
关键词 类石墨复合膜 渗碳淬火 非平衡闭合磁控溅射
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不同润滑环境下石蜡浸润类石墨复合膜的摩擦特性 被引量:1
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作者 宇文江涛 陈喜锋 +1 位作者 王伟 陈分宏 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第24期110-113,117,共5页
采用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,对该膜的表面进行了石蜡浸润处理,用POD销-盘磨损仪研究了石蜡浸润类石墨复合膜在不同润滑条件下同质对磨的摩擦学特性。研究表明,石蜡浸润处理能有效改善不同环境和工... 采用非平衡闭合磁控溅射技术在渗碳淬火基体上制备了类石墨复合膜,对该膜的表面进行了石蜡浸润处理,用POD销-盘磨损仪研究了石蜡浸润类石墨复合膜在不同润滑条件下同质对磨的摩擦学特性。研究表明,石蜡浸润处理能有效改善不同环境和工况下类石墨复合的膜摩擦特性,特别适合高速油润滑环境。 展开更多
关键词 类石墨复合膜 非平衡闭合磁控溅射 石蜡浸润 渗碳淬火 摩擦学特性 原子力显微镜
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基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响 被引量:2
4
作者 马群 王佐平 +1 位作者 黄建余 边东梅 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第14期105-108,共4页
使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明... 使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。 展开更多
关键词 类石墨复合膜 渗碳淬火 非平衡闭合磁控溅射
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基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响
5
作者 宇文江涛 王佐平 +4 位作者 张亚娟 王育召 丁超 龙晓云 符昊 《热加工工艺》 北大核心 2019年第10期172-176,共5页
试样基片经常规渗碳、淬火及不同的表面处理后,应用非平衡闭合磁控溅射技术在其表面镀制类石墨复合膜,分析不同基片应力状态下复合膜的组织和性能,研究基片表面不同应力状态对类石墨复合膜性能的影响。结果表明:表面应力状态对类石墨复... 试样基片经常规渗碳、淬火及不同的表面处理后,应用非平衡闭合磁控溅射技术在其表面镀制类石墨复合膜,分析不同基片应力状态下复合膜的组织和性能,研究基片表面不同应力状态对类石墨复合膜性能的影响。结果表明:表面应力状态对类石墨复合膜的形貌、成分、成膜速度及综合性能有一定的影响,适当的压应力可以有效改善类石墨复合膜的摩擦学性能。 展开更多
关键词 非平衡闭合磁控溅射 类石墨复合膜 基片 压应力 摩擦学性能
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氮化钛镀膜对纯钛铸件表面耐磨性的影响
6
作者 佟宇 郭天文 +2 位作者 肖慧军 王菁 梁海锋 《国际口腔医学杂志》 CAS 2011年第1期31-33,共3页
目的研究氮化钛(TiN)镀膜对纯钛铸件表面硬度和耐磨性的影响。方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,显微硬度仪测量纯钛铸件表面硬度,磨擦磨损试验评估其耐磨性。结果纯钛铸件表面应用CFUBMS方法制备Ti... 目的研究氮化钛(TiN)镀膜对纯钛铸件表面硬度和耐磨性的影响。方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,显微硬度仪测量纯钛铸件表面硬度,磨擦磨损试验评估其耐磨性。结果纯钛铸件表面应用CFUBMS方法制备TiN薄膜后,显微硬度明显增加,磨擦系数和磨损体积明显减小。结论 CFUBMS氮化钛镀膜对纯钛铸件有较好的磨损保护作用。 展开更多
关键词 氮化钛 闭合平衡磁控溅射 显微硬度 耐磨性
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