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双定子静电微电机控制系统的信号检测研究被引量：3: 1; 作者张忠榕刘武 +1 位作者张卫平陈文元《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期18-20,23,共4页; 介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法,它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要,其主要特点是采用互相关检测—锁定放大、DSP控制直接数字频率合成(DDS)产生正弦波,并通过实际正弦波发生电... 展开更多; 关键词静电微电机互相关检测直接数字频率合成锁定放大; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电微电机及其可靠性分析被引量：2: 2; 作者张文明孟光周健斌《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期50-56,共7页; 自 198 7年首台静电微电机诞生以来 ,微电子机械系统 (micro electro mechanicalsystem ,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展。对静电微电机的可靠性研究现状进行综述 ,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理 ,以及摩擦、磨... 展开更多; 关键词微电子机械系统静电微电机可靠性; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型直流无刷电动机及其控制电路的研制被引量：3: 3; 作者张琛赵小林 +1 位作者张寿柏蔡炳初《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期368-370,390,共4页; 本文介绍了直径为２ｍｍ速度可调的微型直流无刷电动机。其主要特点为：１）采用层平面型三相绕组线圈；２）具有多极薄膜磁性转子；３）转速从５０转／分到１０００转／分连续可调；４）可识别磁极位置的微型薄膜变磁阻传感器。; 关键词微型直流无刷电动机控制电路微型电动机定子绕组位置传感器磁性转子制造工艺静电型微电机磁阻传感器输出力矩; 在线阅读下载PDF 职称材料