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静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究: 1; 作者王绥辉徐恒通 +4 位作者李刚韩晓东孙雯君成永军李得天《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页; 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表... 展开更多; 关键词静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计微小电容检测交流激励式抗驱动电压干扰; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电力平衡式微型硅加速度计方案分析被引量：6: 2; 作者郭秀中陈家斌《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1995年第3期38-43,54,共7页; 静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。; 关键词微型硅加速度计静电力平衡回路刚度; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种振动轮式微机械陀螺仪的特性研究被引量：2: 3; 作者董煜茜高钟毓张嵘《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第2期39-45,共7页; 微机械惯性仪表具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点，国际上已有许多报导［１］－［５］。我们研制了一种振动轮式微机械陀螺仪［６］。本文主要针对这种微机械陀螺仪的特性进行研究：设计和研究了陀螺的检测系统、检测轴固有... 展开更多; 关键词微机械陀螺仪振动轮式速率陀螺空间角速度传感器静电力再平衡回路; 在线阅读下载PDF 职称材料

《空间控制技术与应用》2019年总目次: 4; 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2019年第6期I0001-I0008,共8页; 关键词技术与应用空间控制《空间控制技术与应用》石英挠性加速度计静电力平衡二型模糊终端滑模鲁棒控制朱纪洪; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究: 1; 作者王绥辉徐恒通李刚韩晓东孙雯君成永军李得天; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页; 基金国家重点研发计划(2023YFF0717200)。; 文摘静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。; 关键词静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计微小电容检测交流激励式抗驱动电压干扰; Keywords electrostatic servo MEMS capacitance diaphragm gauge micro-capacitance detection AC excitation type anti-drive voltage interference; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电力平衡式微型硅加速度计方案分析被引量：6: 2; 作者郭秀中陈家斌; 机构南京航空航天大学; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1995年第3期38-43,54,共7页; 文摘静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。; 关键词微型硅加速度计静电力平衡回路刚度; Keywords micro Silicon accelerometer electrostatically force-balance circuit stiffness; 分类号 TH823.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种振动轮式微机械陀螺仪的特性研究被引量：2: 3; 作者董煜茜高钟毓张嵘; 机构清华大学; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第2期39-45,共7页; 文摘微机械惯性仪表具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点，国际上已有许多报导［１］－［５］。我们研制了一种振动轮式微机械陀螺仪［６］。本文主要针对这种微机械陀螺仪的特性进行研究：设计和研究了陀螺的检测系统、检测轴固有频率补偿回路，推导出了此类陀螺检测输入角速度的灵敏度、开环和闭环传递函数、交流反馈控制提取同相分量和抑制正交分量的原理，以及闭环控制改善动态测量频带的方法。本文的最后给出了该陀螺原理样机的初步试验结果。; 关键词微机械陀螺仪振动轮式速率陀螺空间角速度传感器静电力再平衡回路; Keywords micromechanical gyroscope vibratory wheel rate gyro space angular rate sensor electrostatic force rebalance loop; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名《空间控制技术与应用》2019年总目次: 4; 出处《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2019年第6期I0001-I0008,共8页; 关键词技术与应用空间控制《空间控制技术与应用》石英挠性加速度计静电力平衡二型模糊终端滑模鲁棒控制朱纪洪; 分类号 V [航空宇航科学技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料