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用全耗尽绝缘硅互补型金属氧化物半导体集成技术实现一种激光测距电路
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作者 张新 高勇 +2 位作者 刘善喜 安涛 徐春叶 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期278-281,共4页
在对薄膜全耗尽绝缘硅互补型金属氧化物半导体 (SOICMOS)结构进行模拟和测试基础上 ,采用薄膜全耗尽绝缘硅 (SOI)结构 ,并在工艺中利用优质栅氧化、Ti硅化物、轻掺杂漏 (LDD)结构等关键技术实现了一种高速低功耗SOICMOS激光测距集成电... 在对薄膜全耗尽绝缘硅互补型金属氧化物半导体 (SOICMOS)结构进行模拟和测试基础上 ,采用薄膜全耗尽绝缘硅 (SOI)结构 ,并在工艺中利用优质栅氧化、Ti硅化物、轻掺杂漏 (LDD)结构等关键技术实现了一种高速低功耗SOICMOS激光测距集成电路。测试结果表明 :1.2 μm器件 10 1级环振单门延迟为 2 5 2 ps ,总延迟为 5 4.2ns .电路静态功耗约为 3mW ,动态功耗为 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体 绝缘硅 SOI 氧化 动态功耗 静态功耗 延迟 CMOS 集成技术
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一种新型可调驱动电压的SiC/Si混合开关驱动电路 被引量:1
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作者 付永升 任海鹏 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2774-2785,I0021,共13页
为提高碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(silicon carbide metal oxide semiconductor filed effect transistor,SiC-MOSFET)与硅基绝缘栅极双极晶体管(silicon insulated gate bipolar transistor,Si-IGBT)并联混合开关(SiC/Si hybr... 为提高碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(silicon carbide metal oxide semiconductor filed effect transistor,SiC-MOSFET)与硅基绝缘栅极双极晶体管(silicon insulated gate bipolar transistor,Si-IGBT)并联混合开关(SiC/Si hybrid switch,SiC/Si HyS)的可靠性与适用性,该文提出一种可变驱动电压的SiC/Si HyS栅极驱动电路结构,采用一路脉冲宽度调制(pulse width modulation,PWM)控制信号和一个驱动芯片产生不同电压幅值的栅极控制信号,分别控制SiC/Si HyS中的SiC-MOSFET和Si-IGBT。相比于传统采用2个独立驱动电路的SiC/Si HyS驱动结构,该驱动电路大幅度降低SiC/Si HyS栅极驱动电路的复杂度,降低SiC-MOSFET关断过程中Si-IGBT误导通的可能性,提升混合开关的工作可靠性。该文首先分析所设计驱动电路工作原理,给出驱动电压调节方法;其次,建立耦合电容端电压纹波和系统启动时电容端电压暂态数学模型,通过仿真和实验验证模型准确性;搭建2 kW的SiC/Si混合开关Buck电路,验证该文所提混合开关驱动电路可行性,从SiC/Si HyS功率器件关断损耗、驱动电路功率损耗、成本以及体积4个方面分析所提驱动结构的优势。 展开更多
关键词 宽禁带半导体器件 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 硅基绝缘栅极双极晶体管 混合开关 门极驱动 耦合
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用于射频能量收集的低阈值CMOS整流电路设计
3
作者 徐雷钧 孙鑫 +1 位作者 白雪 陈建锋 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第4期365-372,共8页
基于TSMC 180 nm工艺,设计了一款高效率低阈值整流电路。在传统差分输入交叉耦合整流电路的基础上,提出源极与衬底之间增加双PMOS对称辅助晶体管配合缓冲电容的改进结构,对整流晶体管进行阈值补偿。有效缓解了MOS管的衬底偏置效应,降低... 基于TSMC 180 nm工艺,设计了一款高效率低阈值整流电路。在传统差分输入交叉耦合整流电路的基础上,提出源极与衬底之间增加双PMOS对称辅助晶体管配合缓冲电容的改进结构,对整流晶体管进行阈值补偿。有效缓解了MOS管的衬底偏置效应,降低了整流电路的开启阈值电压,针对较低输入信号功率,提高了整流电路的功率转换效率(PCE)。同时将低阈值整流电路三级级联以提高输出电压。测试结果显示,在输入信号功率为-14 dBm@915 MHz时,三级级联低阈值整流电路实现了升压功能,能稳定输出1.2 V电压,峰值PCE约为71.32%。相较于传统结构,该低阈值整流电路更适合用于射频能量收集。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体(CMOS) 射频能量收集 低阈值 RF-DC整流 差分输入交叉耦合整流
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基于光纤通信可编程复接集成电路研究 被引量:3
4
作者 赵文虎 王志功 +1 位作者 吴微 朱恩 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期1197-1200,共4页
本文提出了一种可编程复接方法和结构 ,通过对编程端的设置可得到 2∶1、3∶1、4∶1及 5∶1的复接模式 .该方法鲁棒性强、应用范围广 ,其组合可实现除包含大于 6的质数之外所有路数的复接 ,解决了光纤通信系统中不同复接模式对应不同复... 本文提出了一种可编程复接方法和结构 ,通过对编程端的设置可得到 2∶1、3∶1、4∶1及 5∶1的复接模式 .该方法鲁棒性强、应用范围广 ,其组合可实现除包含大于 6的质数之外所有路数的复接 ,解决了光纤通信系统中不同复接模式对应不同复接结构的问题 .通过理论推导 ,本文着重分析了器件延时和时钟相位对芯片工作的影响 ,并指出了解决途径 .基于本方法和结构的全定制单片集成电路采用 0 35 μmCMOS工艺制造 ,芯片面积为 2 4 19mm2 ,实现了串行输出最高数据速率为 1 6 2Gbps的 10∶1复接 .在 1 2 5Gbps标准速率 ,工作电压 3 3V ,负载为 5 0Ω的条件下 ,功耗仅为174 84mW ,输出电压峰 峰值可达到 2 4 2V ,占空比为 4 9% ,抖动为 35psrms.测试结果表明芯片在复接性能、速度、功耗和面积优化方面的先进性 ,可满足不同吉比特率通信系统的要求 。 展开更多
关键词 光纤通信 复接器 互补金属氧化物半导体工艺 集成
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毫米波CMOS集成电路的现状与趋势 被引量:2
5
作者 夏立诚 王文骐 祝远渊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期197-201,共5页
随着深亚微米和纳米CMOS工艺的成熟,设计和实现低成本的毫米波CMOS集成电路已成为可能。简述了毫米波CMOS技术的发展现状,介绍了毫米波CMOS集成电路的关键技术,即晶体管建模和传输线建模,并给出了毫米波CMOS电路的最新进展和发展趋势。
关键词 毫米波 集成 无线通信 建模 互补金属氧化物半导体 单片微波集成
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一种通用汽油机点火专用集成电路的设计 被引量:1
6
作者 何晓凡 唐政维 钟平根 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期142-144,共3页
在对传统汽油机点火电路原理分析和总结的基础上,分析其不足并针对市场需要设计出一款点火角控制精确,一致性好,价格低廉的点火控制芯片。电路设计基于金属氧化物半导体(CMOS)工艺,采用与电源电压和工艺无关的设计,从而提高了产... 在对传统汽油机点火电路原理分析和总结的基础上,分析其不足并针对市场需要设计出一款点火角控制精确,一致性好,价格低廉的点火控制芯片。电路设计基于金属氧化物半导体(CMOS)工艺,采用与电源电压和工艺无关的设计,从而提高了产品的稳定性、可靠性和一致性,该电路具备完善的静电释放(ESD)设计,工作电压3~6V,静电流小于2mA,可广泛应用于125mL及以下排量的汽油机中。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体(CMOS) 点火 点火进角 压和工艺无关
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微电容超声换能器的前端专用集成电路设计 被引量:2
7
作者 杜以恒 何常德 张文栋 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第4期251-256,共6页
针对微电容超声换能器(CMUT)微弱电流信号检测的要求,设计了一种用于CMUT的前端专用集成电路——运算放大器(OPA)电路。运算放大器电路采用两级放大结构,第一级采用全差分折叠-共源共栅结构,输出级采用AB类控制的轨到轨输出级,在运算放... 针对微电容超声换能器(CMUT)微弱电流信号检测的要求,设计了一种用于CMUT的前端专用集成电路——运算放大器(OPA)电路。运算放大器电路采用两级放大结构,第一级采用全差分折叠-共源共栅结构,输出级采用AB类控制的轨到轨输出级,在运算放大器电路反相输入端和输出端通过一个反馈电阻实现CMUT电流信号到电压信号的转换。采用GlobalFoundries 0.18μm的标准CMOS工艺进行了仿真设计和流片,芯片尺寸为226μm×75μm。仿真结果表明,运算放大器的开环增益为62 dB,单位增益带宽为30 MHz,在3 MHz处的输入参考噪声电压为2.9μV/Hz^(1/2),电路采用±3.3 V供电,静态功耗为11 mW。测试结果表明仿真与实测结果相符,该运算放大器电路能够实现CMUT微弱电流信号检测功能。 展开更多
关键词 专用集成(ASIC) 运算放大器(OPA) 容超声换能器(CMUT) 微弱流信号 互补金属氧化物半导体(CMOS)
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一种改进SiC MOSFET开关性能的有源驱动电路 被引量:14
8
作者 李先允 卢乙 +3 位作者 倪喜军 王书征 张宇 唐昕杰 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第18期5760-5769,共10页
与硅金属氧化物半导体场效应管(silicon metal oxide semiconductor field effect transistor,SiMOSFET)相比,碳化硅(silicon carbide,SiC) MOSFET具有更高的击穿电压,更低的导通电阻,更快的开关速度和更高的工作温度,正被广泛应用于光... 与硅金属氧化物半导体场效应管(silicon metal oxide semiconductor field effect transistor,SiMOSFET)相比,碳化硅(silicon carbide,SiC) MOSFET具有更高的击穿电压,更低的导通电阻,更快的开关速度和更高的工作温度,正被广泛应用于光伏逆变器、电动汽车和风力发电等领域,但是SiC MOSFET的高开关速度会导致器件开关过程中发生电流、电压过冲和振荡,不仅会增加器件的开关损耗,甚至会导致器件损坏。文中首先对SiC MOSFET的开关过程进行详细分析,得出器件开关过程中电流、电压过冲和振荡的产生机理,然后根据影响电流、电压过冲和振荡的关键因数,设计一款有源驱动电路。该电路能够在器件开关的特定阶段内同时增加驱动电阻阻值和减小栅极电流,从而抑制器件开关过程中的电流、电压过冲和振荡。实验结果表明,与传统驱动电路相比,所设计的有源驱动电路能够在不同驱动电阻、负载电流和SiC MOSFET条件下,均有效抑制器件的电流、电压过冲和振荡。 展开更多
关键词 碳化硅金属氧化物半导体场效应管 有源驱动 过冲 振荡
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一种CMOS过热保护电路 被引量:8
9
作者 游轶雄 刘正 +1 位作者 徐永晋 王健 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2002年第4期293-296,共4页
提出了一种用于集成电路内部的过热保护电路 .采用 0 .6 μm n阱互补金属氧化物半导体 (CMOS)工艺的spectre仿真结果表明 ,此电路对因电源电压、工艺参数变化而引起的过热保护阈值点漂移有很强的抑制能力 .
关键词 PTAT 绝对温度 比例 集成 金属氧化物半导体 结构 CMOS 过热保护
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8 bit 800 Msps高速采样保持电路的设计 被引量:2
10
作者 潘星 王永禄 张正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1044-1047,共4页
为适应目前无线通信领域对高速A/D转换器的要求,采用在Cadence Spectre环境下进行仿真验证的方法,对高速A/D前端采样保持电路进行了研究。提出的高速采样保持电路(SH)采用SiGe BiCMOS工艺设计,该工艺提供了0.35μm的CMOS和46 GHzfT的SiG... 为适应目前无线通信领域对高速A/D转换器的要求,采用在Cadence Spectre环境下进行仿真验证的方法,对高速A/D前端采样保持电路进行了研究。提出的高速采样保持电路(SH)采用SiGe BiCMOS工艺设计,该工艺提供了0.35μm的CMOS和46 GHzfT的SiGe HBT。基于BiCMOS开关射极跟随器(SEF)的SH,旨在比二极管桥SH消耗更少的电流和面积。在SH核心,电源电压3.3 V,功耗44 mW。在相干采样模式下,时钟频率为800 MHz时,其无杂波动态范围(SFDR)为-52.8 dB,总谐波失真(THD)为-50.4 dB,满足8 bit精度要求。结果显示设计的电路可以用于中精度、高速A/D转换器。 展开更多
关键词 采样保持 高速 开关射极跟随器 双极互补金属氧化物半导体
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用CMOS工艺实现VSR光电集成接收机的途径 被引量:1
11
作者 毛陆虹 韩建忠 +3 位作者 粘华 高鹏 李炜 陈永权 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2003年第7期101-105,共5页
介绍了 1 0Gbit/s速率的甚短距离光传输系统VSR(VeryShortReach)中的接收机。分析了几种有希望用于VSR系统的CMOS工艺兼容的光电探测器。提出用CMOS电路实现VSR光电集成 (OEIC)
关键词 CMOS VSR光集成接收机 甚短距离传输 同步光网络 多模光纤 探测器 单片集成方案 互补金属氧化物半导体
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微波注入反相器基本电路的非线性效应
12
作者 朱占平 王弘刚 +1 位作者 钱宝良 赵素波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2855-2860,共6页
采用理论分析和微波注入实验相结合的方法,分别研究了以74HC04和74LVCU04A两种芯片为核心的反相器基本缓冲及数模转换电路的微波效应问题,通过反相器闩锁过程对非线性扰乱进行了机理分析,并利用微波注入实验详细分析了非线性扰乱效应的... 采用理论分析和微波注入实验相结合的方法,分别研究了以74HC04和74LVCU04A两种芯片为核心的反相器基本缓冲及数模转换电路的微波效应问题,通过反相器闩锁过程对非线性扰乱进行了机理分析,并利用微波注入实验详细分析了非线性扰乱效应的微波有效功率阈值及其随频率、脉冲宽度的变化。实验结果表明:在固定环境温度条件下,有效注入功率大于33dBm,频率在3GHz以下的微波均可使74HC04效应电路的非线性扰乱强度达到10%以上;有效注入功率大于30dBm,频率在3GHz以下的微波均可使74LVCU04A效应电路的非线性扰乱强度达到10%以上。相同非线性扰乱强度的注入有效功率阈值近似随频率的提高而增大。非线性扰乱阈值随注入微波信号脉宽变化明显,拐点为40~70ns不等,与反相器中的互补型金属氧化物半导体器件寄生三级管的导通电流积累有关。 展开更多
关键词 注入实验 非线性扰乱 反相器 闩锁 互补金属氧化物半导体
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低功耗植入微系统自适应时钟数据恢复电路(英文)
13
作者 俞航 李琰 +3 位作者 姜来 纪震 闫平昆 王飞 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2011年第2期143-146,共4页
设计一种超低功耗、适用于脉冲位置调制的时钟数据恢复电路.通过对电荷积分,将窄脉冲的时间间距转化为电压,可便捷地恢复精确同步的时钟和数据信号.为扩大可工作的数据率范围,数据恢复所需阈值电压根据输入信号自适应产生.采用CMOS 0.25... 设计一种超低功耗、适用于脉冲位置调制的时钟数据恢复电路.通过对电荷积分,将窄脉冲的时间间距转化为电压,可便捷地恢复精确同步的时钟和数据信号.为扩大可工作的数据率范围,数据恢复所需阈值电压根据输入信号自适应产生.采用CMOS 0.25μm工艺实现所设计的电路,通过仿真验证了其性能.该设计在输入数据率为45.5 kbit/s时,电路功耗仅为13μW. 展开更多
关键词 集成 互补金属氧化物半导体(CMOS) 时钟数据恢复 脉冲位置调制 荷泵 低功耗设计
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基于MOSFET PDE模型的射频自治电路周期稳态算法研究
14
作者 来金梅 武新宇 +2 位作者 任俊彦 章倩苓 Omar Wing 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期1257-1259,共3页
本文研究了基于MOSFETPDE模型的射频自治电路周期稳态求解算法 .采用该算法仿真典型的Colpitts振荡器电路 。
关键词 射频自治 金属氧化物半导体场效应晶体管偏微分方程 周期稳态分析
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开关电容滤波器的电路与使用
15
作者 齐立心 毛乐山 《电信科学》 1986年第7期12-17,共6页
一、概述模拟滤波器的小型化一直是各种通信系统发展中的一个重要问题。六十年代,低成本高性能单片运算放大器的发展,导致了以有源RC滤波器来代替无源RLC滤波器。但在硅片上制作电阻和电容元件时,其精确性及温度稳定性都比较差,因此RC... 一、概述模拟滤波器的小型化一直是各种通信系统发展中的一个重要问题。六十年代,低成本高性能单片运算放大器的发展,导致了以有源RC滤波器来代替无源RLC滤波器。但在硅片上制作电阻和电容元件时,其精确性及温度稳定性都比较差,因此RC有源滤波器难以用单片硅片实现。随着金属-氧化物半导体(MOS)集成电路技术的发展,近年来出现了MOS开关电容(SC)滤波器,它由MOS电路的开关、电容器和运算放大器构成。 展开更多
关键词 开关容滤波器 滤波器 有源滤波器 运算放大器 模拟滤波器 容元件 氧化物半导体 时钟信号 控制开关 集成技术
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光功率检测电路研究进展
16
作者 梁明 姜海明 +5 位作者 刘偲嘉 甘育娇 谢康 袁伟超 李明朗 林毅华 《光通信技术》 2023年第4期48-52,共5页
光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的... 光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的发展前景。 展开更多
关键词 光功率 探测器 跨阻放大器 检测 集成互补的金属氧化物半导体电路
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用于射频标签的低功耗上电复位电路 被引量:2
17
作者 张旭琛 彭敏 +1 位作者 戴庆元 杜涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期45-48,共4页
介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响... 介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响。电路产生上电复位信号脉冲后,通过反馈控制使能端信号关断整个电路,实现低功耗。电路采用华虹NEC公司0.13μm标准CMOS工艺流片,测试结果表明,此电路能够输出有效的脉冲信号;脉冲过后的导通电流基本为0。FPGA平台的验证表明,芯片输出的POR信号能够正确启动标签中的数字基带芯片,输出信号有效。 展开更多
关键词 复位 低功耗 射频识别 0.13μm 互补金属氧化物半导体
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SiC MOSFET新型负压关断串扰抑制驱动电路 被引量:5
18
作者 郑翔 杭丽君 +4 位作者 曾庆威 闫东 陈克俭 赖宇帆 曾平良 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第20期8038-8047,共10页
基于碳化硅(SiC)材料的第三代宽禁带功率器件的出现,推动着电力电子变换器朝着高频化、高功率密度、小型化方向发展。但随着开关速度的提高,电路中寄生参数的影响越来越大,导致桥式变换器存在严重的串扰问题。文中根据SiC金属–氧化物... 基于碳化硅(SiC)材料的第三代宽禁带功率器件的出现,推动着电力电子变换器朝着高频化、高功率密度、小型化方向发展。但随着开关速度的提高,电路中寄生参数的影响越来越大,导致桥式变换器存在严重的串扰问题。文中根据SiC金属–氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxidesemiconductor field-effect transistor,MOSFET)的工作特性,在RCD(电阻-电容-二极管)电平移位的驱动电路基础上提出一种新型的串扰抑制驱动电路。该电路通过电容和可控低压器件串联,并利用电路自身电压差驱动可控器件,为串扰电流提供一条低阻抗吸收回路,可有效地对串扰问题进行抑制。建立串扰抑制驱动电路的等效电路模型,推导得到该电路结构中电容容值与串扰电压峰值的量化关系,为该电路结构的设计提供理论依据。最后,通过双脉冲实验测试验证所提出电路的有效性及等效模型和理论计算的正确性。实验结果表明,与传统驱动电路相比,提出的串扰抑制驱动电路能够在不同电压与电流工况下,在保证开关速度的前提下,很大程度上抑制串扰尖峰电压。 展开更多
关键词 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 杂散寄生参数 双脉冲测试 驱动 串扰
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用于功率MOSFET的新型栅电荷测试电路 被引量:4
19
作者 吴志猛 冯全源 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期231-234,共4页
栅电荷是用于衡量功率MOSFET开关性能的重要参数,通常采用在栅极输入电流阶跃信号的方法来测量。一种新型的栅电荷测试电路被提出,该测试电路使控制信号从MOSFET的源极输入,从而消除了控制信号对栅极输入电流的影响。因为输入电流太小... 栅电荷是用于衡量功率MOSFET开关性能的重要参数,通常采用在栅极输入电流阶跃信号的方法来测量。一种新型的栅电荷测试电路被提出,该测试电路使控制信号从MOSFET的源极输入,从而消除了控制信号对栅极输入电流的影响。因为输入电流太小不能直接测量,测试时采用测量电压阶跃信号的方法来衡量电流阶跃信号的性能。与以往的测试电路对比结果表明,该电路可以使MOSFET栅极输入的电流更接近于理想的电流阶跃信号,该信号上升时间小于100 ns,并且上升后稳定,因此提高了栅电荷测量的准确度。 展开更多
关键词 功率金属氧化物半导体场效应管 测试 源极控制信号 流阶跃信号
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用于细胞外电信号测量的CMOS集成生物传感芯片的研究(英文) 被引量:2
20
作者 朱婷 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期941-946,共6页
新型的细胞外电信号传感芯片是采用0.6μm标准CMOS工艺设计制造,片上集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路。有源传感单元面积为60μm×60μm,包含15μm×15μm的传感电极和预处... 新型的细胞外电信号传感芯片是采用0.6μm标准CMOS工艺设计制造,片上集成了6×6单元有源传感阵列、模拟多路选择器、输出缓冲器、参考源和数字控制电路。有源传感单元面积为60μm×60μm,包含15μm×15μm的传感电极和预处理电路,能够线性放大幅值范围100μV^25mV的微小信号,电压增益为40dB。并采用相关二次采样工作模式降低固定模式噪声,提高传感器的精度。在标准CMOS工艺基础上,应用无电浸镀金改进传感电极的生物兼容性,并采用特殊封装技术提高芯片在溶液环境中的稳定性。溶液中模拟生物信号测量验证了该芯片的功能。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体集成 生物传感器 阵列 细胞 生理信号
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