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钇离子注入硅薄层硅化钇的合成的研究
1
作者
张通和
吴瑜光
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第B05期62-64,共3页
用大束流密度的钇金属离子注入硅 ,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加 ,硅化钇生长 ,薄层硅化物的方块电阻Rs 明显下降 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,Rs达到最小值 54Ω/□ ,说明连续的硅化物已经形成。X衍射分析表明 ...
用大束流密度的钇金属离子注入硅 ,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加 ,硅化钇生长 ,薄层硅化物的方块电阻Rs 明显下降 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,Rs达到最小值 54Ω/□ ,说明连续的硅化物已经形成。X衍射分析表明 ,注入层中形成了二种硅化钇YSi和YSi2 。透射电子显微镜观察表明 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,连续硅化钇薄层已经形成 ,硅化钇薄层厚度为 80nm ,但是在硅化钇层下有高密度损伤层 ,增大束流密度注入 ,连续硅化钇薄层起皱 ,说明为改善硅化钇层质量 ,不能依靠加大束流密度 ,而必须要退火。经过10 50℃退火 6 0s后 ,Rs 下降至 14Ω/□ ,电阻率可小到 0 .56 μΩ·cm ,说明硅化钇薄层质量得到了进一步的改善。
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关键词
钇离子注入
硅化
钇
合成
大束流密度
全文增补中
稀土钇注入H13钢抗氧化模型和增强抗氧化特性的途径
被引量：
5
2
作者
张通和
孙贵如
谢晋东
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1995年第1期47-52,共6页
用俄歇、扫描电镜和微区分析研究了Ｙ注入低铬钢（Ｈ１３）抗氧化机理。注入适当量的Ｙ到钢中是提高Ｈ１３钢抗氧化性能的关键因素．注入和氧化过程中Ｃｒ向钇注入层下面富集则起到相辅相成的作用．观察到了Ｙ，Ｃｒ和氧的相互作用，以...
用俄歇、扫描电镜和微区分析研究了Ｙ注入低铬钢（Ｈ１３）抗氧化机理。注入适当量的Ｙ到钢中是提高Ｈ１３钢抗氧化性能的关键因素．注入和氧化过程中Ｃｒ向钇注入层下面富集则起到相辅相成的作用．观察到了Ｙ，Ｃｒ和氧的相互作用，以及多层氧化物结构的氧化皮，这种结构的出现将氧原子限制在０．５μｍ范围之内．观察到易脱落的菜花状氧化物在未注入区和表面缺陷处生成，并研究了这种氧化物生成条件和防止的措施．最后给出了Ｙ注入Ｈ１３抗氧化多层结构模型．
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关键词
钇离子注入
抗氧化机理
合金钢
SEM
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职称材料
Y升温注入Al形成Y-Al合金研究
被引量：
3
3
作者
张通和
吴瑜光
钱卫东
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期615-618,共4页
利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件 .X射线衍射分析表明注入层有Al3 Y和Al2 O3 出现 .从背散射分析可以发现 ,Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应 ,Y离子的深度分布已达...
利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件 .X射线衍射分析表明注入层有Al3 Y和Al2 O3 出现 .从背散射分析可以发现 ,Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应 ,Y离子的深度分布已达 62 0nm ,远大于LSS理论的预计值 .注入层钇铝原子比可达到 17%～ 2 4 %.连续铝合金层已经形成 .
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关键词
钇离子注入
铝
深度分布
增强扩散
钇
-铝合金
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
钇离子注入硅薄层硅化钇的合成的研究
1
作者
张通和
吴瑜光
机构
北京师范大学低能核物理所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第B05期62-64,共3页
基金
国家自然科学基金! ( 59671 0 51 )
863计划资助项目
文摘
用大束流密度的钇金属离子注入硅 ,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加 ,硅化钇生长 ,薄层硅化物的方块电阻Rs 明显下降 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,Rs达到最小值 54Ω/□ ,说明连续的硅化物已经形成。X衍射分析表明 ,注入层中形成了二种硅化钇YSi和YSi2 。透射电子显微镜观察表明 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,连续硅化钇薄层已经形成 ,硅化钇薄层厚度为 80nm ,但是在硅化钇层下有高密度损伤层 ,增大束流密度注入 ,连续硅化钇薄层起皱 ,说明为改善硅化钇层质量 ,不能依靠加大束流密度 ,而必须要退火。经过10 50℃退火 6 0s后 ,Rs 下降至 14Ω/□ ,电阻率可小到 0 .56 μΩ·cm ,说明硅化钇薄层质量得到了进一步的改善。
关键词
钇离子注入
硅化
钇
合成
大束流密度
Keywords
Y ion
implantation
yttrium silicide synthesis
high ion flux
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
稀土钇注入H13钢抗氧化模型和增强抗氧化特性的途径
被引量：
5
2
作者
张通和
孙贵如
谢晋东
机构
北京师范大学低能核物理研究所
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1995年第1期47-52,共6页
基金
国家自然科学基金
北京市自然科学基金
"八六三"高科技资助
文摘
用俄歇、扫描电镜和微区分析研究了Ｙ注入低铬钢（Ｈ１３）抗氧化机理。注入适当量的Ｙ到钢中是提高Ｈ１３钢抗氧化性能的关键因素．注入和氧化过程中Ｃｒ向钇注入层下面富集则起到相辅相成的作用．观察到了Ｙ，Ｃｒ和氧的相互作用，以及多层氧化物结构的氧化皮，这种结构的出现将氧原子限制在０．５μｍ范围之内．观察到易脱落的菜花状氧化物在未注入区和表面缺陷处生成，并研究了这种氧化物生成条件和防止的措施．最后给出了Ｙ注入Ｈ１３抗氧化多层结构模型．
关键词
钇离子注入
抗氧化机理
合金钢
SEM
Keywords
Y ion implantation
H13 steel
mechanism of oxidation resistance
Auger analysis
scanning electronic microscope
分类号
TG142.13 [金属学及工艺—金属材料]
在线阅读
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职称材料
题名
Y升温注入Al形成Y-Al合金研究
被引量：
3
3
作者
张通和
吴瑜光
钱卫东
机构
北京师范大学射线束技术和材料改性教育部重点实验室
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期615-618,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 96710 5 1)
国家"八六三"计划资助项目
文摘
利用金属蒸汽真空弧 (MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件 .X射线衍射分析表明注入层有Al3 Y和Al2 O3 出现 .从背散射分析可以发现 ,Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应 ,Y离子的深度分布已达 62 0nm ,远大于LSS理论的预计值 .注入层钇铝原子比可达到 17%～ 2 4 %.连续铝合金层已经形成 .
关键词
钇离子注入
铝
深度分布
增强扩散
钇
-铝合金
Keywords
Y ion implantation
aluminum
formation of Y-Al alloy
depth distribu-tion
enhanced diffusion
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钇离子注入硅薄层硅化钇的合成的研究
张通和
吴瑜光
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
0
全文增补中
2
稀土钇注入H13钢抗氧化模型和增强抗氧化特性的途径
张通和
孙贵如
谢晋东
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1995
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
Y升温注入Al形成Y-Al合金研究
张通和
吴瑜光
钱卫东
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引证文献
统计分析
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