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金刚石线锯电火花复合切割硬脆半导体的研究进展
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作者 张乃军 高玉飞 郭志田 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第3期69-75,共7页
太阳能光伏产业和电子工业的迅速发展对使用的晶体硅等硬脆半导体材料的切割提出了更高的要求。为了进一步提高硬脆半导体的切割加工质量和生产效率、降低生产成本,金刚石线锯电火花复合切割技术开始被应用到硬脆半导体的切割中。文章... 太阳能光伏产业和电子工业的迅速发展对使用的晶体硅等硬脆半导体材料的切割提出了更高的要求。为了进一步提高硬脆半导体的切割加工质量和生产效率、降低生产成本,金刚石线锯电火花复合切割技术开始被应用到硬脆半导体的切割中。文章从加工原理、工艺性能和影响因素等方面综述了金刚石线锯电火花复合切割硬脆半导体材料的研究现状,并对后续的发展和研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 金刚石线锯电火花复合切割 硬脆半导体 加工机理
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聚晶金刚石复合片的电火花线切割精密加工试验 被引量:12
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作者 宋满仓 张建磊 +2 位作者 于超 王敏杰 刘冲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1303-1309,共7页
为了提高聚晶金刚石(PCD)刀具的生产效率,改进加工表面质量并减少刃磨余量,利用慢走丝电火花线切割机床(WEDM)对PCD复合片进行了加工工艺试验。对PCD复合片进行了5次切割,并分别测量了每次加工后的表面粗糙度、富钴界面层凹槽深度及宽度... 为了提高聚晶金刚石(PCD)刀具的生产效率,改进加工表面质量并减少刃磨余量,利用慢走丝电火花线切割机床(WEDM)对PCD复合片进行了加工工艺试验。对PCD复合片进行了5次切割,并分别测量了每次加工后的表面粗糙度、富钴界面层凹槽深度及宽度和PCD层刃口加工质量。试验结果表明:PCD复合片经慢走丝线切割多次加工,能够得到较好的表面质量,在众多影响因素中金刚石颗粒大小对加工质量影响较大;其中CTH025型号和CTB010型号的最终表面粗糙度分别为Ra=0.85μm和Ra=0.57μm,富钴界面层凹槽的深度分别为16.3μm和5.7μm,刃口处切口缺陷的尺寸也与金刚石颗粒的尺寸相当。经WEDM加工后的PCD复合片的刃磨余量可控制在4~15μm左右。 展开更多
关键词 聚晶金刚石复合 聚晶金刚石刀具 电火花线切割
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聚晶金刚石复合片电火花线切割加工电极丝损耗研究 被引量:11
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作者 滕凯 孙涛 +1 位作者 赵恩兰 何敏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第24期3283-3287,3293,共6页
采用电火花线切割方法对聚晶金刚石复合片(PDC)进行了线切割加工实验,利用带能谱分析的扫描电子显微镜(SEM)观察了电极丝表面的显微形貌。从微观角度研究了PDC超硬材料电火花线切割加工的电极丝损耗机理,探讨了电参数和冲液条件等因素... 采用电火花线切割方法对聚晶金刚石复合片(PDC)进行了线切割加工实验,利用带能谱分析的扫描电子显微镜(SEM)观察了电极丝表面的显微形貌。从微观角度研究了PDC超硬材料电火花线切割加工的电极丝损耗机理,探讨了电参数和冲液条件等因素对电极丝损耗的影响。实验研究发现,采用贴附式高压喷液方式在高电压、小脉宽、大峰值电流的加工条件下,PDC切割效率为19.35mm^2/min,电极丝损耗为1.5~2μm(10~4 mm^2切割量),较常压喷液方式切割效率提高51.6%,丝损降低15.2%。 展开更多
关键词 聚晶金刚石复合 电火花线切割 电极丝损耗 差动放电 间隙流场
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聚晶金刚石复合片的电火花线切割机理与形貌 被引量:19
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作者 张高峰 邓朝晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期671-675,共5页
开展了聚晶金刚石复合片(PDC)的电火花线切割实验,提出了PDC的电火花线切割模型。通过扫描电镜与拉曼光谱仪对切割试件进行显微观察与成分分析,发现聚晶金刚石层表面存在明显石墨化现象,而且聚晶金刚石层与硬质合金层之间的富钴界面层... 开展了聚晶金刚石复合片(PDC)的电火花线切割实验,提出了PDC的电火花线切割模型。通过扫描电镜与拉曼光谱仪对切割试件进行显微观察与成分分析,发现聚晶金刚石层表面存在明显石墨化现象,而且聚晶金刚石层与硬质合金层之间的富钴界面层存在严重过量去除现象。按聚晶金刚石层、富钴界面层与硬质合金层三个部分剖析了PDC放电蚀除机理,并对PDC的电火花线切割热损伤进行了分析。研究表明,解决富钴界面层的过量去除问题是提高PDC电火花线切割加工质量的关键。 展开更多
关键词 聚晶金刚石复合 电火花线切割机理 扫描电镜 石墨化
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基于空载率检测的聚晶金刚石复合片电火花线切割加工研究 被引量:1
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作者 严东剑 刘志东 +2 位作者 潘红伟 潘浩 张明 《电加工与模具》 2023年第2期23-27,共5页
针对通过传统峰值电压检测伺服跟踪方法进行电火花线切割聚晶金刚石复合片时出现的切割速度低、切割不稳定、表面质量差且易断丝的现象,提出了一种空载率检测系统控制方法。经试验得知,当空载率为10%时,该方法可得到更好的表面质量和加... 针对通过传统峰值电压检测伺服跟踪方法进行电火花线切割聚晶金刚石复合片时出现的切割速度低、切割不稳定、表面质量差且易断丝的现象,提出了一种空载率检测系统控制方法。经试验得知,当空载率为10%时,该方法可得到更好的表面质量和加工稳定性,同时获得较高的切割速度,在相同脉冲宽度下切割聚晶金刚石复合片较传统峰值电压检测伺服跟踪方法的速度提升了20%。 展开更多
关键词 电火花线切割加工 聚晶金刚石复合 伺服跟踪 空载率
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PCD、PCBN复合片的电火花线切割加工质量 被引量:6
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作者 宋满仓 张建磊 +3 位作者 王华 于超 王敏杰 刘冲 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第3期12-17,共6页
选取几种典型的PCD、PCBN复合片,在慢走丝电火花线切割机床上对其进行了多次加工工艺试验;运用三维表面轮廓仪、超景深三维显微镜对线切割加工后的表面粗糙度、富钴界面层加工质量、刃口加工质量等进行测量。结果表明:超硬颗粒直径大小... 选取几种典型的PCD、PCBN复合片,在慢走丝电火花线切割机床上对其进行了多次加工工艺试验;运用三维表面轮廓仪、超景深三维显微镜对线切割加工后的表面粗糙度、富钴界面层加工质量、刃口加工质量等进行测量。结果表明:超硬颗粒直径大小及含量对加工质量影响较大,PCD、PCBN复合片经多次电火花线切割加工,能够得到较好的加工质量;经WEDM加工后的PCD复合片刃磨量可控制在4~15μm左右,PCBN复合片BNX20刃磨量可控制在10μm以内,而BZN6000则需较大的刃磨量。 展开更多
关键词 聚晶金刚石 聚晶立方氮化硼 金刚石复合 电火花线切割
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SiC/SiC复合材料切割方法对比研究 被引量:3
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作者 焦健 杨金华 +3 位作者 侯金涛 刘虎 艾莹珺 周怡然 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期57-67,共11页
分别采用纳秒激光、毫秒激光、磨料水射流、线切割及金刚石线锯等方法对熔融渗硅工艺制备的SiC/SiC复合材料进行切割,比较了不同方法的切割效率、表面粗糙度、加工锥度及切割面的形貌特征。研究结果表明,毫秒激光加工效率最高,可达121.2... 分别采用纳秒激光、毫秒激光、磨料水射流、线切割及金刚石线锯等方法对熔融渗硅工艺制备的SiC/SiC复合材料进行切割,比较了不同方法的切割效率、表面粗糙度、加工锥度及切割面的形貌特征。研究结果表明,毫秒激光加工效率最高,可达121.2 mm/min;纳秒激光切割时激光入口处与出口处存在明显不同的形貌;磨料水射流加工切割锥角最大,为10.6°;线切割表面存在12μm左右的热影响区;金刚石线锯切割的表面粗糙度最小,Ra为0.32μm。 展开更多
关键词 SIC/SIC复合材料 激光加工 磨料水射流 线切割 金刚石线锯
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