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负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定 被引量:10
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作者 崔洋 彭吉 +1 位作者 于淼 李佩玥 《电子测量技术》 2014年第8期104-106,111,共4页
光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求。本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了... 光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求。本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析,分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量、标准温度传感器引入的不确定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量,分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为2.178m℃,扩展不确定度为为4.356m℃,满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求。 展开更多
关键词 负温度系数 热敏电阻 不确定度 不确定度来源 温度传感
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负温度系数热敏电阻用于半导体桥火工品射频防护的研究 被引量:7
2
作者 陈飞 周彬 秦志春 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期171-175,共5页
为了提高半导体桥(SCB)火工品的抗射频干扰性能,采用具有负温度系数(NTC)特性的热敏电阻与火工品并联。该文采用红外显微测温、1A1W5min试验、射频感度试验及电容放电发火试验。试验结果表明:热敏电阻可以降低SCB桥区温度;在1A1W5min、... 为了提高半导体桥(SCB)火工品的抗射频干扰性能,采用具有负温度系数(NTC)特性的热敏电阻与火工品并联。该文采用红外显微测温、1A1W5min试验、射频感度试验及电容放电发火试验。试验结果表明:热敏电阻可以降低SCB桥区温度;在1A1W5min、射频注入22 W条件下不发火;且射频实验后,电容放电可以使其正常发火。NTC热敏电阻可以有效地提高SCB的抗射频性能,且不影响火工品的发火性能,是火工品抗射频干扰可行的新方法。 展开更多
关键词 火工品 半导体桥 抗射频干扰 负温度系数 热敏电阻
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负温度系数热敏电阻对半导体桥电爆性能影响 被引量:7
3
作者 李勇 李凯 +1 位作者 刘恩良 周彬 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期808-812,共5页
温度是影响火工品电磁防护其防护效果的主要因素,负温度系数(NTC)热敏电阻用于半导体桥(SCB)能有效提高其射频感度。采用恒流激励和电容放电两种实验,对不同环境温度下NTC热敏电阻对SCB性能的影响规律进行了研究。通过1 A 5 min恒流激... 温度是影响火工品电磁防护其防护效果的主要因素,负温度系数(NTC)热敏电阻用于半导体桥(SCB)能有效提高其射频感度。采用恒流激励和电容放电两种实验,对不同环境温度下NTC热敏电阻对SCB性能的影响规律进行了研究。通过1 A 5 min恒流激励实验,分析了室温(25℃)和高温(70℃)时NTC热敏电阻的并联分流情况;25℃时NTC热敏电阻分走59%回路电流,70℃时,对小尺寸SCB(S-SCB)的分流率最大达到63%。在电容放电激励下,探讨了并联NTC热敏电阻SCB在25℃和70℃时电爆性能的变化情况。结果表明,并联NTC热敏电阻前后,典型尺寸(L-SCB)在25℃和70℃下的爆发时间和爆发消耗能量均无显著性变化。而S-SCB并联NTC热敏电阻后,当温度从25℃升至70℃,爆发时间从5.94μs增长到7.18μs,爆发消耗积分能量从0.388 m J降低到0.178 m J。 展开更多
关键词 军事化学与烟火技术 半导体桥(SCB) 负温度系数(NTC)热敏电阻 电爆性能 电磁防护
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预成形模具的形状和尺寸对负温度系数热敏电阻材料性能的影响 被引量:1
4
作者 谭育新 林涛 +1 位作者 谢春林 蔡恩培 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期424-428,共5页
研究了不同形状和尺寸的预成形模具对负温度系数热敏电阻材料试样的生坯密度和烧结密度均匀性、成品阻值合格率以及芯片老化性能的影响。结果表明:同样的装粉量和装粉密度情况下,采用方形模具压制出的生坯内外密度的均匀性比圆形模具好... 研究了不同形状和尺寸的预成形模具对负温度系数热敏电阻材料试样的生坯密度和烧结密度均匀性、成品阻值合格率以及芯片老化性能的影响。结果表明:同样的装粉量和装粉密度情况下,采用方形模具压制出的生坯内外密度的均匀性比圆形模具好;同是方形模具时,模腔尺寸越大,生坯内外密度差异越大。2种模具压制生坯的密度差异在烧结后都不能完全消除。试样密度差异越大,芯片的老化率也越高。采用方形预成形模具,模腔尺寸40mm×40mm×40mm,装粉量110g,能够达到生产效率和合格率的统一。 展开更多
关键词 负温度系数热敏电阻 等静压制 预成形模具 老化
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基于负温度系数热敏电阻多通道高精度可穿戴式体温采集系统的设计 被引量:6
5
作者 陶杰 居来提·买提肉孜 +3 位作者 罗辉卿 郭图聖 汪平 任航宁 《科学技术与工程》 北大核心 2021年第14期5733-5741,共9页
体温通常用于筛查传染病、监测治疗。为了确定皮肤表面温度。通过恒压式测温电路测电阻的方法,研究设计了可穿戴式多点体温监测系统,以STM32F103C8T6芯片为核心处理器,负温度系数热敏电阻(negative temperature coefficient,NTC)作为感... 体温通常用于筛查传染病、监测治疗。为了确定皮肤表面温度。通过恒压式测温电路测电阻的方法,研究设计了可穿戴式多点体温监测系统,以STM32F103C8T6芯片为核心处理器,负温度系数热敏电阻(negative temperature coefficient,NTC)作为感温元器件,ADS1256芯片为温度信号调理器,蓝牙模块为无线传输单元,用LABVIEW设计上位机界面。热敏电阻及分压电阻构成的恒压式电桥电路进行8路温度数据的采集,24bits超高精度模数转换模块配置差分输入对模拟信号进行放大、滤波以及模数转换;转换后的数据在单片机中处理和运算;最终通过蓝牙将数据传至上位机。采用Stein-hart方程的四阶公式对热敏电阻作线性补偿。从软件和硬件上减少环境干扰和体温分布不均的影响。分析了温传感器的温度测量误差。实验结果表明,测量系统分辨率达0.01℃,测温准确度可达±0.02℃。此设计方案,具有较高的稳定性和精确性;并且该电路结构简单、体积小、低功耗,可用于需要精密测体温场合。 展开更多
关键词 8路体温测量 负温度系数热敏电阻 高精度 可穿戴式
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基于正温度系数热敏电阻的新型限流保护方法研究 被引量:11
6
作者 杨锋 张晓锋 +2 位作者 庄劲武 毛海涛 王晨 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第34期59-63,共5页
分析了现有短路电流限制技术的发展现状,提出一种基于正温度系数(positive temperature coefficient,PTC)热敏电阻的可恢复型混合式短路限流装置的拓扑结构。通过将PTC热敏电阻与超快速分断开关并联,有效提高了限流装置的额定通流能力,... 分析了现有短路电流限制技术的发展现状,提出一种基于正温度系数(positive temperature coefficient,PTC)热敏电阻的可恢复型混合式短路限流装置的拓扑结构。通过将PTC热敏电阻与超快速分断开关并联,有效提高了限流装置的额定通流能力,并充分利用PTC材料的电阻快速变化特性,提高装置限流能力,降低限流装置对于PTC材料额定通流要求。给出该型限流装置的检测判断原理及控制策略,分析其限流过程。完成基于PTC热敏电阻的混合式短路限流装置应用于蓄电池组电源短路限流的试验测试,通过不同设定电流值时的限流试验结果,证明所设计的装置能快速有效限制短路电流,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 温度系数热敏电阻 限流 短路保护 可恢复 混合型断路
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新疆理化所磁控溅射法制备负温度系数热敏电阻薄膜材料研究获进展
7
《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第10期3486-3486,共1页
负温度系数(NTC)热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集... 负温度系数(NTC)热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集成的方向发展。相比于块体陶瓷型热敏电阻, 展开更多
关键词 负温度系数热敏电阻 磁控溅射法 薄膜材料 制备 新疆 电子信息系统 温度测控 测温精度
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基于热敏电阻的多通道高精度温度测量系统 被引量:19
8
作者 李波 陈光华 +2 位作者 徐行 吴来杰 罗贤虎 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第5期87-88,95,共3页
以负温度系数热敏电阻为核心器件设计了多通道高精度温度测量系统。用改进的电压测量电路间接测量热敏电阻的阻值,有效地克服了电压源的干扰,测量精度高,测量分辨率可达0.01℃,测温准确度可达±0.1℃;并且该电路结构简单,成本低、... 以负温度系数热敏电阻为核心器件设计了多通道高精度温度测量系统。用改进的电压测量电路间接测量热敏电阻的阻值,有效地克服了电压源的干扰,测量精度高,测量分辨率可达0.01℃,测温准确度可达±0.1℃;并且该电路结构简单,成本低、功耗小、体积小,具有很高的实用价值,可用于需要精密测温的系统,如热导率测量仪的温度测量中。 展开更多
关键词 负温度系数热敏电阻 多通道测量 高精度温度测量 热导率测量
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采用热敏电阻器研制风速传感器的设计 被引量:6
9
作者 马庆华 尚展垒 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第5期61-62,共2页
介绍了采用负温度系数热敏电阻器为检测元件的风速传感器的测量原理;阐述了风速/电压转换理论、风速测量电路;分析了测量误差。实验测试结果表明:这种风速传感器的各项性能指标均达到设计要求。
关键词 热敏电阻 风速传感 负温度系数
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玻璃助剂对厚膜NTC热敏电阻器的性能影响 被引量:4
10
作者 李亚东 朱宏 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第1期16-18,共3页
系统研究了Mn Co Ni系厚膜NTC热敏电阻器的电阻性能与玻璃助剂质量分数的关系,结果表明:当玻璃助剂质量分数为(10~30)×10-2时,电阻性能参数(RT,ρT,B和αT)随玻璃助剂质量分数的增加而显著增长;当玻璃助剂质量分数继续增加,则电... 系统研究了Mn Co Ni系厚膜NTC热敏电阻器的电阻性能与玻璃助剂质量分数的关系,结果表明:当玻璃助剂质量分数为(10~30)×10-2时,电阻性能参数(RT,ρT,B和αT)随玻璃助剂质量分数的增加而显著增长;当玻璃助剂质量分数继续增加,则电阻性能参数基本不变。但当玻璃助剂质量分数为5×10-2时,厚膜电阻因烧结性能变差而导致电阻性能不稳定,同时,电阻性能参数均异常增大。当玻璃助剂质量分数为30×10-2以上时,采用本工艺制备的厚膜NTC热敏电阻器具有良好的工艺性和热稳定性。 展开更多
关键词 负温度系数 热敏电阻 玻璃助剂 厚膜浆料 电阻性能
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高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究 被引量:2
11
作者 姜国光 王震 +1 位作者 张洪泉 王大兴 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第3期53-55,58,共4页
为了提高铂薄膜热敏电阻器的灵敏度,设计一种标称阻值为5000Ω的超细阻栅结构。通过对高精度干法刻蚀技术研究,解决了传统激光刻蚀和反应离子刻蚀不能加工高质量精细线条的技术问题,实现7μm特征铂电阻条尺寸的加工。测试和分析表明:铂... 为了提高铂薄膜热敏电阻器的灵敏度,设计一种标称阻值为5000Ω的超细阻栅结构。通过对高精度干法刻蚀技术研究,解决了传统激光刻蚀和反应离子刻蚀不能加工高质量精细线条的技术问题,实现7μm特征铂电阻条尺寸的加工。测试和分析表明:铂薄膜热敏电阻器在0℃下标称阻值为5 000±1.0Ω,灵敏度为19±0.5Ω/℃,温度系数为(3850±12)×10-6/℃。 展开更多
关键词 热敏电阻 刻蚀技术 灵敏度 标称阻值 温度系数
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PTC热敏电阻器电流冲击特性测试系统 被引量:4
12
作者 付明 余豪 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第5期47-48,51,共3页
研究开发了正温度系数(PTC)元件工频电流冲击特性计算机测试系统,详细介绍了系统的测试原理、硬件结构和软件设计。该系统主要包括数据采集、通道程控转换和数据处理等功能模块,能自动测量PTC元件的电流-时间特性和老化衰减特性,具有结... 研究开发了正温度系数(PTC)元件工频电流冲击特性计算机测试系统,详细介绍了系统的测试原理、硬件结构和软件设计。该系统主要包括数据采集、通道程控转换和数据处理等功能模块,能自动测量PTC元件的电流-时间特性和老化衰减特性,具有结构先进、测试效率高和工作稳定可靠等优点。 展开更多
关键词 温度系数热敏电阻 电流-时问特性 老化衰减特性 自动化测试系统
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热敏电阻在航天器应用的线性化研究 被引量:1
13
作者 杨素君 张强 +2 位作者 吴显林 曹剑峰 孙家林 《航天器工程》 CSCD 北大核心 2023年第4期65-70,共6页
针对航天器上常用的热敏电阻半桥测量电路,文章研究了负温度系数热敏电阻的分压-温度(U-t)曲线拐点,并发现在拐点附近有较宽的线性区间,且不同上拉电阻取值时对U-t曲线线性区间宽度有影响,上拉电阻越小,U-t曲线的线性区间越宽,线性区越... 针对航天器上常用的热敏电阻半桥测量电路,文章研究了负温度系数热敏电阻的分压-温度(U-t)曲线拐点,并发现在拐点附近有较宽的线性区间,且不同上拉电阻取值时对U-t曲线线性区间宽度有影响,上拉电阻越小,U-t曲线的线性区间越宽,线性区越向高温区移动。通过理论推导给出了最优上拉电阻公式,应用在某航天器0~20℃范围测量中,线性拟合后的残差小于0.1℃。同时研究比较了常用热敏电阻全测量范围内的一次线性拟合和三次多项式拟合,三次多项式拟合残差小于1℃的温度范围为-36~+68℃,基本涵盖全温度范围,温度跨度是同样残差条件下的一次线性拟合跨度的2倍。 展开更多
关键词 负温度系数 热敏电阻 航天 测温 线性化
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NTC温度传感器检定结果的不确定度分析
14
作者 郑德智 屈天驰 +4 位作者 胡纯 那睿 陈经昊 崔飞 杨晓君 《传感技术学报》 北大核心 2025年第4期617-622,共6页
台风内核区温度监测对气象学研究至关重要,准确的温度测量将直接影响台风路径和强度预测。因此,对温度传感器测量结果进行不确定度分析十分重要。针对当前台风内核区环境监测中温度传感器灵敏度低、响应速度慢、环境适应性差等不足,介... 台风内核区温度监测对气象学研究至关重要,准确的温度测量将直接影响台风路径和强度预测。因此,对温度传感器测量结果进行不确定度分析十分重要。针对当前台风内核区环境监测中温度传感器灵敏度低、响应速度慢、环境适应性差等不足,介绍了负温度系数(NTC)热敏电阻的R-T特性,并对温度传感器的检定结果进行了随机误差和系统误差的不确定度分析。结果显示,在高温条件下,该负温度系数传感器最高标准不确定度为0.0140℃,最低为0.0278℃;在低温条件下,最高标准不确定度为0.2376℃,最低为0.2340℃。这表明该负温度系数传感器能够满足对台风内核区环境温度测量的高精度和快响应速度要求,为后续台风探测中温度传感器研发提供了良好的基础。 展开更多
关键词 温度传感 热敏电阻 不确定度分析 台风探测 负温度系数
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测量热敏电阻温度特性曲线硬件电路的设计
15
作者 向英 《现代电子技术》 2008年第16期8-10,共3页
开发了测量热敏电阻温度特性曲线的硬件电路。使用DS18B20作为温度传感器,编写单片机与PC机间的通信程序,该温度值经串口发送到计算机中。电压信号利用声卡采集到计算机中,由LabVIEW软件编写的虚拟锁相放大器测量,实现了测量负温度系数... 开发了测量热敏电阻温度特性曲线的硬件电路。使用DS18B20作为温度传感器,编写单片机与PC机间的通信程序,该温度值经串口发送到计算机中。电压信号利用声卡采集到计算机中,由LabVIEW软件编写的虚拟锁相放大器测量,实现了测量负温度系数的热敏电阻阻值随温度的变化曲线。利用电桥来提取阻值变化引起的电压变化信号,并且将测量值采集到计算机中,可以实现基于计算机的数据采集和分析。 展开更多
关键词 热敏电阻 温度传感 负温度系数 串口 锁相放大
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集成电路用NTC热敏电阻温度计校准方法研究 被引量:9
16
作者 李嘉豪 孙建平 +4 位作者 李婷 汪洪军 王光耀 陈泽川 高传吉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1208-1213,共6页
针对集成电路在21~23℃范围内近mK量级测温精度的需求,研究了负温度系数(negtive temperature coefficient,NTC)热敏电阻温度计的校准方法对集成电路测温系统精度的影响。利用比较法对24支3种不同型号的NTC热敏电阻温度计进行校准,使用... 针对集成电路在21~23℃范围内近mK量级测温精度的需求,研究了负温度系数(negtive temperature coefficient,NTC)热敏电阻温度计的校准方法对集成电路测温系统精度的影响。利用比较法对24支3种不同型号的NTC热敏电阻温度计进行校准,使用最小二乘法进行基本方程、Hoge-1方程、Steinhart-Hart方程的系数计算,分析校准方程的内插残差,评价低阶精准校准方程的可行性,为集成电路制作工艺的高质量中的温度测控提供技术支撑。结果表明:基本方程、Steinhart-Hart方程、Hoge-1方程残差的标准偏差分别为2.29、0.63、0.65 mK;使用2个校准点的基本方程的性能最差,使用3个校准点的校准方程的Hoge-1方程表现出最好的内插性能,在集成电路窄温区温度精确测量方面具有较高的应用价值。 展开更多
关键词 计量学 热敏电阻温度 负温度系数 校准方程 集成电路 窄温区 不确定度
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宽温区高精度铂薄膜热敏电阻器研制 被引量:4
17
作者 王大兴 姜晓龙 +2 位作者 杨永超 皮倩倩 刘玺 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第7期81-84,共4页
针对现有产品测温范围窄、允差等级低的问题,设计一种高精度宽温区铂薄膜热敏电阻器,开展高稳定铂膜制备和高精度阻值修调技术研究,提升温度系数和阻值精度参数指标,优选高温防护玻璃包封材料,拓宽产品测温范围。测试结果表明:产品测温... 针对现有产品测温范围窄、允差等级低的问题,设计一种高精度宽温区铂薄膜热敏电阻器,开展高稳定铂膜制备和高精度阻值修调技术研究,提升温度系数和阻值精度参数指标,优选高温防护玻璃包封材料,拓宽产品测温范围。测试结果表明:产品测温范围覆盖-80~600℃,允差等级在-55~300℃温区内符合IEC60751规定1/3B级,其余温区符合IEC60751规定B级要求,温度系数为(3851±4)×10^(-6)/℃,性能指标优于国际标准,可广泛用于航空、航天领域高可靠温度测量。 展开更多
关键词 热敏电阻 宽温区 允差 温度系数
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一种提高片状热敏电阻器互换精度的方法
18
作者 尹贵林 《传感器与微系统》 CSCD 1989年第1期51-52,68,共3页
一、概述众所周知,热敏电阻器的阻值及其温度系数的分散度是相当大的,一般说来,阻值的分散度在20%左右为三级品;一级品的阻值分散度在5%左右。这主要是受制造工艺的限制,如,材料纯度,配比精度、成型一致性。
关键词 热敏电阻 散度 温度系数 一级品 烧结温度 制造工艺 使用温度范围 测温元件 电子线路 特性曲线
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热压烧结对NTC热敏电阻稳定性的影响 被引量:1
19
作者 翟继卫 沈波 +1 位作者 妥万录 庄顺昌 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第4期32-34,共3页
对Co-Mn-Ni-O热敏材料进行热压烧结,其材料密度由4.92g/cm^3提高到5.48g/cm^3.以此热压烧结材料制成的热敏电阻,其稳定性提高了一个数量级(同非热压烧结材料相比较).SEM分析表明此材料的晶粒细小、均匀、气孔少,是提高其稳定性的主要原因.
关键词 热敏电阻 负温度系数 热压烧结 稳定性
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Mn掺杂La_(0.1)Sr_(0.9)TiO_3中温热敏电阻研究 被引量:1
20
作者 王守明 赵春花 +2 位作者 罗伟 杨萍华 陈初升 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期371-374,共4页
为了探索钙钛矿结构复合金属氧化物中温热敏电阻材料,对La0.1Sr0.9TiO3掺杂Mn元素.研究发现,采用Mn部分替代La0.1Sr0.9TiO3的Ti导致电阻率和热常数B显著变小.对于Mn掺杂量为0.1的样品,其在300℃时的电阻率为3.0×102Ω·m,热常... 为了探索钙钛矿结构复合金属氧化物中温热敏电阻材料,对La0.1Sr0.9TiO3掺杂Mn元素.研究发现,采用Mn部分替代La0.1Sr0.9TiO3的Ti导致电阻率和热常数B显著变小.对于Mn掺杂量为0.1的样品,其在300℃时的电阻率为3.0×102Ω·m,热常数B为5900K;而未掺杂的样品电阻率高达9.8×104Ω·m,B为13000K.掺Mn还显著抑制了材料电阻随时间的漂移.这可能缘于掺Mn后形成了Mn3+—O—Ti4+键,电子的传导机理发生了变化.Mn掺杂的La0.1Sr0.9TiO3有希望作为中温热敏电阻应用. 展开更多
关键词 钙钛矿复合金属氧化物 负温度系数热敏电阻 电性能
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