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表面机械研磨处理对N80套管钢低温渗铝层的影响 被引量:5
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作者 黄敏 王宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期628-631,共4页
通过表面机械研磨处理(SMAT),采用低温渗铝剂在470℃的相对低温下对N80套管钢进行2h粉末包埋渗铝。分别采用金相显微镜、显微硬度仪、扫描电镜、能谱仪等分析了SMAT对N80套管钢金相组织、渗铝层微观结构和断面元素分布、渗铝套管钢的显... 通过表面机械研磨处理(SMAT),采用低温渗铝剂在470℃的相对低温下对N80套管钢进行2h粉末包埋渗铝。分别采用金相显微镜、显微硬度仪、扫描电镜、能谱仪等分析了SMAT对N80套管钢金相组织、渗铝层微观结构和断面元素分布、渗铝套管钢的显微硬度及表面腐蚀形貌的影响。结果表明SMAT90min后,可以在N80套管钢表面形成厚度约为50μm的变形层,变形层内晶粒尺寸明显减小,N80套管钢基体硬度在变形层深度范围内明显提高;与原始N80套管钢渗铝层相比,SMATedN80套管钢渗铝层表面致密,渗层连续,厚度较大,显微硬度增加更为明显。因此,SMAT可以增加N80套管钢低温渗铝层的厚度,改善渗铝层的结构,提高渗铝层对基体的腐蚀防护能力。 展开更多
关键词 N80套管钢 包埋法 表面机械研磨处理(smat) 渗铝层
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表面机械研磨处理5182铝合金的组织和力学性能研究 被引量:9
2
作者 徐颖宣 孟祥晨 +5 位作者 李根 金斌 盖炳君 谢庭祯 刘勇 吕坚 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期122-125,共4页
5182铝合金经过表面机械研磨处理(SMAT),可以克服铝合金表面性能的不足,提高铝合金材料整体性能,延长使用寿命。采用X-射线衍射仪(XRD)及显微硬度、单轴拉伸等测试方法,研究了使用表面机械研磨处理后5182铝合金的显微组织和力学性能特... 5182铝合金经过表面机械研磨处理(SMAT),可以克服铝合金表面性能的不足,提高铝合金材料整体性能,延长使用寿命。采用X-射线衍射仪(XRD)及显微硬度、单轴拉伸等测试方法,研究了使用表面机械研磨处理后5182铝合金的显微组织和力学性能特征。经过SMAT处理后的5182铝合金,其表面晶粒细化至纳米级,且沿试样表面到芯部方向形成纳米梯度结构;其板材的整体硬度都有一定的提高,且沿板材试样表面到芯部方向形成了梯度下降的状态;随着表面机械研磨处理时间的增加,5182铝合金的抗拉强度和屈服强度强度也随之提升,但在一定程度上牺牲了合金的塑性。 展开更多
关键词 铝合金 表面机械研磨处理 梯度结构 微观组织 力学性能
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有色金属及合金表面机械研磨处理的研究进展 被引量:13
3
作者 俞燕明 饶锡新 +1 位作者 刘勇 王智海 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第6期36-41,共6页
介绍了表面机械研磨处理(SMAT)的原理和设备,概括了有色金属及合金经SMAT处理后的组织结构特征和晶粒细化机制。综述了近年来有色金属及合金的SMAT研究进展,分析了其对有色金属及合金的拉伸性能、耐磨性能、腐蚀性能和疲劳性能的影响,... 介绍了表面机械研磨处理(SMAT)的原理和设备,概括了有色金属及合金经SMAT处理后的组织结构特征和晶粒细化机制。综述了近年来有色金属及合金的SMAT研究进展,分析了其对有色金属及合金的拉伸性能、耐磨性能、腐蚀性能和疲劳性能的影响,展望了该技术的应用前景和发展方向。 展开更多
关键词 有色金属及合金 表面机械研磨处理 组织 性能
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表面机械研磨处理对Cu-10wt%Ni合金组织及性能的影响 被引量:5
4
作者 李玉荣 林万明 +2 位作者 卫英慧 侯利锋 杜华云 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期766-769,共4页
对Cu-10%(质量分数)Ni合金进行表面机械研磨处理,采用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬度测试仪等对处理不同时间样品的组织及性能进行了分析。结果表明表面机械研磨处理后,Cu-10%(质量分数)Ni合金实现了表面纳米化。处理时间30min时,... 对Cu-10%(质量分数)Ni合金进行表面机械研磨处理,采用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬度测试仪等对处理不同时间样品的组织及性能进行了分析。结果表明表面机械研磨处理后,Cu-10%(质量分数)Ni合金实现了表面纳米化。处理时间30min时,表面晶粒尺寸为42.92nm,随着处理时间的延长,晶粒逐渐细化,强烈变形层逐渐增厚。表面机械研磨90min时,样品表面附近平均晶粒尺寸达到最小约为31.03nm,平均应变为0.0828%。处理时间120min时,表面显微硬度达到228MPa,是基体组织的1.52倍。 展开更多
关键词 Cu-10wt%Ni合金 表面机械研磨处理 晶粒尺寸 表面硬度
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表面机械研磨处理对X80管线钢焊接接头组织与性能的影响 被引量:8
5
作者 王宇 黄敏 +1 位作者 高惠临 吕祥鸿 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期50-53,共4页
采用表面机械研磨处理(SMAT)技术对X80管线钢焊接接头进行了30,60及90 min表面纳米化处理,分别采用光学显微镜、X射线衍射仪、表面粗糙度仪及显微硬度计等研究了SMAT不同时间后X80管线钢焊接接头的显微组织、晶粒尺寸、表面粗糙度及显... 采用表面机械研磨处理(SMAT)技术对X80管线钢焊接接头进行了30,60及90 min表面纳米化处理,分别采用光学显微镜、X射线衍射仪、表面粗糙度仪及显微硬度计等研究了SMAT不同时间后X80管线钢焊接接头的显微组织、晶粒尺寸、表面粗糙度及显微硬度的变化。结果表明:SMAT不同时间后均可在X80管线钢焊接接头表面获得一定厚度的塑性变形层,且随着SMAT时间的延长,塑性变形层厚度逐渐增加,实现了焊接接头的表面纳米化(组织均匀化);SMAT可以显著提高焊接接头表面的显微硬度,使显微硬度沿深度呈梯度分布;SMAT还可改善焊接接头表面粗糙度,随SMAT时间的延长表面粗糙度逐渐减小。 展开更多
关键词 X80管线钢 焊接接头 表面机械研磨处理
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表面机械研磨处理固溶Cu-2wt%Ti合金的特征和性能 被引量:5
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作者 林万明 李岩 +1 位作者 侯利锋 卫英慧 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第4期137-140,共4页
采用表面机械研磨处理(SMAT)的方法在铜钛合金表面制备了纳米晶组织。采用金相显微镜、X射线衍射仪、扫描电镜和显微硬度测试仪对SMAT试样的微观组织结构和性能进行了表征。实验结果表明:SMAT处理60 min后晶粒尺寸为30.5 nm。SMAT处理后... 采用表面机械研磨处理(SMAT)的方法在铜钛合金表面制备了纳米晶组织。采用金相显微镜、X射线衍射仪、扫描电镜和显微硬度测试仪对SMAT试样的微观组织结构和性能进行了表征。实验结果表明:SMAT处理60 min后晶粒尺寸为30.5 nm。SMAT处理后,试样中出现了明显的分层现象及高密度的形变孪晶和交叉孪晶。SMAT处理后试样表面的硬度增大,沿深度成梯度分布。对SMAT试样进行时效处理后,表面硬度变化不大,但距表面40~50μm之间的硬度明显增大。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 纳米化 塑性变形
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表面机械研磨处理对镁合金AZ80组织和性能的影响 被引量:7
7
作者 张晓莹 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第8期111-113,共3页
对轧制态AZ80镁合金板材进行了表面机械研磨处理。借助显微组织观察、拉伸性能测试、硬度测试、摩擦磨损测试等方法,研究了机械研磨处理对AZ80镁合金组织和性能的影响。结果表明,AZ80镁合金经3 min的表面机械研磨处理后,表面形成了85μ... 对轧制态AZ80镁合金板材进行了表面机械研磨处理。借助显微组织观察、拉伸性能测试、硬度测试、摩擦磨损测试等方法,研究了机械研磨处理对AZ80镁合金组织和性能的影响。结果表明,AZ80镁合金经3 min的表面机械研磨处理后,表面形成了85μm的超细晶层,晶粒大小从表层到中心呈梯度变化分布。抗拉强度提高了17.0%,屈服强度提高了26.4%,伸长率降低了47.7%,表层硬度提高了53.2%,硬度影响区域400%μm。与原始试样相比,载荷小于30 N时,经表面研磨处理试样的耐磨性能更好;载荷大于30 N以后,表面研磨处理试样的磨损性能反而更差。 展开更多
关键词 AZ80镁合金 表面机械研磨处理 组织 耐磨性能
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表面机械研磨处理对HCP结构金属镁表面纳米化过程的影响 被引量:1
8
作者 杨晨 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第10期156-158,共3页
采用XRD、OM、SEM,研究了不同尺寸弹丸和研磨时间的表面机械研磨处理对典型HCP结构金属镁表面纳米化过程的影响。结果表明:表面机械研磨处理中弹丸尺寸的增大促进纯镁表面纳米化效果,随着弹丸尺寸的增大,试样纳米层增厚,纳米晶粒尺寸... 采用XRD、OM、SEM,研究了不同尺寸弹丸和研磨时间的表面机械研磨处理对典型HCP结构金属镁表面纳米化过程的影响。结果表明:表面机械研磨处理中弹丸尺寸的增大促进纯镁表面纳米化效果,随着弹丸尺寸的增大,试样纳米层增厚,纳米晶粒尺寸减小。在直径为8 mm弹丸的作用下,纯镁表层择优取向面发生变化,由原来的(101)晶面择优变为(101)和(002)晶面择优,弹丸尺寸增大,可促进晶粒取向更加均匀、取向分布更为随机。随着研磨处理时间的增长,试样纳米层增厚,纳米晶粒尺寸减小。当直径8 mm弹丸表面机械研磨时间从15 min增加到30 min,试样纳米层厚度由35μm增加到40μm,纳米晶粒尺寸从40 nm降低到36 nm。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 纳米层 镁金属
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表面机械研磨处理对纯铜棘轮行为的影响:宏微观试验与本构模拟 被引量:2
9
作者 杨康 赵建锋 +3 位作者 何风 阚前华 赵君文 张旭 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期58-69,共12页
目的通过金属表面纳米化试验机制备出梯度结构纯铜,提升纯铜材料的疲劳寿命,并揭示其背后的机理。方法通过系统的宏观力学性能测试、微观组织表征以及本构模拟探究了表面机械研磨处理(Surface Mechanical Attrition Treatment,SMAT)对T... 目的通过金属表面纳米化试验机制备出梯度结构纯铜,提升纯铜材料的疲劳寿命,并揭示其背后的机理。方法通过系统的宏观力学性能测试、微观组织表征以及本构模拟探究了表面机械研磨处理(Surface Mechanical Attrition Treatment,SMAT)对T2纯铜棘轮行为的影响。结果循环变形试验结果表明SMAT纯铜样品的循环失效圈数明显多于未处理纯铜样品的循环圈数,且SMAT纯铜样品在循环过程中的累积塑性变形明显小于未处理纯铜样品的累积塑性变形,即棘轮应变明显小于未处理纯铜样品的棘轮应变。电子背散射衍射(Electron Back Scattered Diffraction,EBSD)和X射线衍射分析(X-Ray Diffraction,XRD)表征发现:经过SMAT后,材料的晶粒尺寸均呈现由处理表面到材料芯部逐渐减小的梯度分布。且SMAT时间越长,样品的总位错密度越大。此外,基于应变梯度塑性理论模型对SMAT前后纯铜的单拉及循环变形响应进行了有限元模拟,模拟结果显示累积塑性应变沿深度方向(SMAT冲击方向)呈梯度分布,最大几何必需位错密度以及最大等效应力均出现在模型的次表层。同时,当模拟的循环圈数相同时,代表SMAT样品的梯度结构模型的棘轮应变明显低于代表未处理样品的均匀模型的棘轮应变。结论循环变形试验结果表明SMAT对于T2纯铜的棘轮应变有抑制作用,有限元模拟进一步揭示了SMAT对于棘轮应变的抑制效应以及背后的机理。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 循环变形 棘轮应变 微观表征 应变梯度塑性理论 有限元模拟
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机械研磨金属表面纳米化的研究进展 被引量:16
10
作者 高家诚 王强 高正源 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期741-745,750,共6页
在表面机械处理(SMAT)方式下,材料表面可以通过强烈塑性变形而实现纳米化,获得表面为纳米晶、晶粒尺寸沿厚度方向逐渐增大的梯度结构。表面纳米化可以使材料表面硬度提高且整体力学性能得到改善。同时材料表面活性得到极大地提高,为进... 在表面机械处理(SMAT)方式下,材料表面可以通过强烈塑性变形而实现纳米化,获得表面为纳米晶、晶粒尺寸沿厚度方向逐渐增大的梯度结构。表面纳米化可以使材料表面硬度提高且整体力学性能得到改善。同时材料表面活性得到极大地提高,为进一步化学处理提供良好的条件。从SMAT的基本原理、制备技术、纳米化机理、结构性能和化学处理等方面介绍了表面机械纳米化研究工作已取得的进展。 展开更多
关键词 研究进展 金属表面纳米化 表面机械研磨处理 纳米化机理 结构性能
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表面机械研磨/异步轧制无取向硅钢薄带的渗硅行为 被引量:5
11
作者 莫成刚 黄凯 +2 位作者 刘刚 黄璞 左良 《材料与冶金学报》 CAS 2011年第3期216-219,共4页
对w(Si)=3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),获得表面纳米结构,再进行550~650℃、4 h固体粉末渗硅处理,用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究表层组织演变。结果表明:经过SMAT后,w(Si)=3%无取... 对w(Si)=3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),获得表面纳米结构,再进行550~650℃、4 h固体粉末渗硅处理,用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究表层组织演变。结果表明:经过SMAT后,w(Si)=3%无取向硅钢表面形成了等轴状、取向呈随机分布的、晶粒尺寸为10 nm的纳米晶组织;异步轧制后,表面纳米晶组织保持不变;550~650℃、4 h渗硅处理后,SMAT+CSR样品表面形成化合物层,其厚度随着温度的升高由17μm增加到52μm;化合物层由Fe3Si和FeSi相组成. 展开更多
关键词 无取向硅钢 表面机械研磨处理 异步轧制 渗硅
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表面机械研磨诱导纯铝表层纳米化 被引量:7
12
作者 邹途祥 卫英慧 +2 位作者 侯利锋 许并社 刘刚 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2008年第3期249-252,共4页
对纯铝(高层能金属)进行表面机械研磨处理(SMAT),在试样表面形成纳米层。利用透射电子显微镜(TEM)对表面层的微观结构进行了表征。实验结果表明,晶粒细化的主要微观特征为:在原始晶粒和细化晶粒内部形成位错缠结(DTs)、位错胞(DCs)和高... 对纯铝(高层能金属)进行表面机械研磨处理(SMAT),在试样表面形成纳米层。利用透射电子显微镜(TEM)对表面层的微观结构进行了表征。实验结果表明,晶粒细化的主要微观特征为:在原始晶粒和细化晶粒内部形成位错缠结(DTs)、位错胞(DCs)和高密度位错墙(DDWs)、亚晶、显微带(MBs)、层状结构,并随着应变和应变速率的进一步增加,逐渐在表面形成随机取向的纳米晶。分析可见,高应变速率和高应变是形成纳米晶的必要条件。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 纳米结构材料 晶粒细化机制 纯铝
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表面机械研磨对5083铝合金显微组织和力学性能的影响 被引量:3
13
作者 郭伟刚 裘旭东 +2 位作者 陈楚 崔学广 袁巨龙 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第8期114-116,共3页
以传统冷轧、连铸连轧两种5083铝合金板材为研究对象,通过显微组织观察、拉伸性能测试、硬度测试,研究了不同时间的表面机械研磨处理对5083铝合金显微组织和力学性能的影响。结果表明:5083铝合金经不同时间(0.5、1、3、5 min)表面机... 以传统冷轧、连铸连轧两种5083铝合金板材为研究对象,通过显微组织观察、拉伸性能测试、硬度测试,研究了不同时间的表面机械研磨处理对5083铝合金显微组织和力学性能的影响。结果表明:5083铝合金经不同时间(0.5、1、3、5 min)表面机械研磨处理后,合金表面形成了60~100μm厚的梯度纳米结构表面层,此结构表面层与原始基体连接紧密,无明显界限。经表面机械研磨处理后,5083铝合金的屈服强度和抗拉强度有所增强,塑性有所下降。连铸连轧5083铝合金试样表面经机械研磨0.5 min时,抗拉强度和屈服强度分别提高了1.4%和41.6%,伸长率降低了37.5%。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 5083铝合金 组织 性能
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利用SMAT和SPS在纯铁表面制备铁镍合金层
14
作者 安艳丽 范帅君 《热加工工艺》 北大核心 2024年第10期59-63,共5页
利用放电等离子烧结(SPS)技术实现了镍粉在纯铁表面铁镍合金层的制备,通过纯铁表面机械研磨(SMAT)的预处理获得表面纳米层和梯度结构有效促进了铁镍的扩散,提升了合金层厚度和结合强度。通过XRD、SEM、EDS、硬度和摩擦磨损实验等,表征... 利用放电等离子烧结(SPS)技术实现了镍粉在纯铁表面铁镍合金层的制备,通过纯铁表面机械研磨(SMAT)的预处理获得表面纳米层和梯度结构有效促进了铁镍的扩散,提升了合金层厚度和结合强度。通过XRD、SEM、EDS、硬度和摩擦磨损实验等,表征铁镍合金层形貌、组成,测试了力学性能。结果表明:纯铁试样经过SMAT预处理和SPS后,在表面获得了约50μm的铁镍合金层,沿着深度方向镍元素含量梯度变化,而在未经SMAT预处理的纯铁表面仅有25μm的合金层,本方法实现了合金层厚度明显增加。SMAT预处理后的SPS试样硬度提升,表面磨损量和犁沟槽深度减少,结合力增强,耐磨性提升明显。 展开更多
关键词 放电等离子烧结 表面机械研磨处理 纯铁 铁镍合金化 硬度
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机械研磨处理纳米晶FeCo合金结构的TEM研究
15
作者 李伟 王晓东 戎咏华 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期101-101,共1页
关键词 表面机械研磨处理 合金结构 纳米晶 TEM 透射电子显微镜 CO合金 CsCl 质量分数
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TC11钛合金表面TiN颗粒强化层组织与性能分析
16
作者 梁忠伟 林子顺 +3 位作者 唐荟 李天羿 张宇鹏 BALIGASIMA Patrick 《航空制造技术》 北大核心 2025年第3期41-49,共9页
提升TC11钛合金的耐磨损性能对航空发动机关键零部件的安全性能至关重要。基于表面机械研磨处理工艺,通过将研磨球和TiN粉末混合研磨的方式,在TC11钛合金表面实现了晶粒细化和弥散强化,成功制备了基于TiN颗粒增强的强化层,对表面形貌和... 提升TC11钛合金的耐磨损性能对航空发动机关键零部件的安全性能至关重要。基于表面机械研磨处理工艺,通过将研磨球和TiN粉末混合研磨的方式,在TC11钛合金表面实现了晶粒细化和弥散强化,成功制备了基于TiN颗粒增强的强化层,对表面形貌和微观组织特征进行研究,并评估其耐磨损性能。结果表明,处理后的TC11钛合金样品表面粗糙度显著降低,表面硬度和耐磨损性能显著提升。与未处理和仅作普通研磨处理的样品相比,TiN颗粒增强的样品表面粗糙度分别降低了43.29%和23.14%,表面硬度分别提高了9.48%和1.8%,磨痕宽度分别降低了36.18%和33.18%。本文为改善TC11及其他钛合金材料的耐磨损性能提供了一种新的解决方法,对提高航空发动机关键零部件的服役性能具有参考意义。 展开更多
关键词 TC11钛合金 表面机械研磨处理 TiN颗粒 强化层 微观组织与性能
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表面机械研磨对AZ31镁合金显微组织和性能的影响 被引量:5
17
作者 范淇元 覃羡烘 《热加工工艺》 北大核心 2019年第18期108-110,共3页
采用机械研磨法对挤压态AZ31镁合金进行表面纳米化处理,通过显微组织观察、硬度测试、拉伸性能测试研究了表面机械研磨时间对AZ31镁合金组织和性能的影响。结果表明:经3、6、9 min表面机械研磨处理的AZ31镁合金,从表面到芯部形成了不同... 采用机械研磨法对挤压态AZ31镁合金进行表面纳米化处理,通过显微组织观察、硬度测试、拉伸性能测试研究了表面机械研磨时间对AZ31镁合金组织和性能的影响。结果表明:经3、6、9 min表面机械研磨处理的AZ31镁合金,从表面到芯部形成了不同厚度的变形层,并有大量孪晶产生。随着表面研磨时间的增加,变形层厚度和孪晶体积分数逐渐增加,AZ31镁合金的强度和硬度逐渐增加,伸长率逐渐降低。与原试样相比,6 min表面机械研磨处理的AZ31镁合金抗拉强度和屈服强度分别提高42.6%和110.2%,表面硬度提高35.4%。表面机械研磨时间超过6 min后,合金强度、硬度和伸长率的变化幅度很小。 展开更多
关键词 AZ31镁合金 表面机械研磨处理 显微组织 力学性能
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表面机械研磨对1Cr17Ni7不锈钢组织和力学性能的影响 被引量:1
18
作者 李朱锋 顾海 吴国庆 《热加工工艺》 北大核心 2022年第22期94-96,共3页
采用OM、硬度测试、拉伸性能测试等研究了不同时间的表面机械研磨对1Cr17Ni7不锈钢显微组织和力学性能的影响。结果表明:未经过表面机械研磨的1Cr17Ni7钢的组织主要为奥氏体和马氏体,组织较为均匀。随着表面机械研磨时间的增加,试验钢... 采用OM、硬度测试、拉伸性能测试等研究了不同时间的表面机械研磨对1Cr17Ni7不锈钢显微组织和力学性能的影响。结果表明:未经过表面机械研磨的1Cr17Ni7钢的组织主要为奥氏体和马氏体,组织较为均匀。随着表面机械研磨时间的增加,试验钢组织中马氏体含量逐渐增加,表面机械研磨时间10 min的1Cr17Ni7钢晶粒中有较为明显的马氏体滑移带出现。随着表面研磨时间的增加,1Cr17Ni7钢硬度、抗拉强度逐渐升高,伸长率逐渐降低。表面机械研磨10 min时1Cr17Ni7钢硬度提升已经接近饱和,其表面和心部的硬度分别比未进行表面机械研磨试样的硬度提高了92.7%和36.6%。 展开更多
关键词 1Cr17Ni7不锈钢 表面机械研磨处理 显微组织 力学性能
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6H-SiC衬底片的表面处理(英文) 被引量:5
19
作者 陈秀芳 徐现刚 +6 位作者 胡小波 杨光 宁丽娜 王英民 李娟 姜守振 蒋民华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期962-966,共5页
相比于蓝宝石,6H-SiC是制作GaN高功率器件更有前途的衬底。本文研究了表面处理如研磨、化学机械抛光对6H-SiC衬底表面特性的影响。用显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、卢瑟福背散射谱表征了衬底表面。结果表明经过两步化学机械抛光后提... 相比于蓝宝石,6H-SiC是制作GaN高功率器件更有前途的衬底。本文研究了表面处理如研磨、化学机械抛光对6H-SiC衬底表面特性的影响。用显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、卢瑟福背散射谱表征了衬底表面。结果表明经过两步化学机械抛光后提高了表面质量。经第二步化学机械抛光后的衬底具有优异的表面形貌、高透射率和极小的损伤层,其表面粗糙度RMS是0.12nm。在该衬底上用MOCVD方法长出了高质量的GaN外延膜。 展开更多
关键词 6H-SIC 衬底 表面处理 研磨 化学机械抛光
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工业纯钛焊接接头的表面纳米化及其性能 被引量:13
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作者 张淑兰 陈怀宁 +1 位作者 林泉洪 刘刚 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期73-76,共4页
利用表面机械研磨法对工业纯钛焊接接头的表面进行处理,通过X射线衍射及透射电镜分析,表明经处理后的工业纯钛焊接接头表面晶粒尺寸达到了50nm左右,纳米化深度约30~40μm。显微硬度试验结果表明,经处理后样品表面的硬度有很大提高,焊... 利用表面机械研磨法对工业纯钛焊接接头的表面进行处理,通过X射线衍射及透射电镜分析,表明经处理后的工业纯钛焊接接头表面晶粒尺寸达到了50nm左右,纳米化深度约30~40μm。显微硬度试验结果表明,经处理后样品表面的硬度有很大提高,焊缝和热影响区的硬度趋于一致。腐蚀试验证明工业纯钛焊接接头经表面纳米化处理,其耐盐酸腐蚀性能有所提高。 展开更多
关键词 工业纯钛 表面纳米化 焊接接头 表面机械研磨处理技术 显微硬度 腐蚀
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