题名 光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进
被引量：2
1
作者
王选择 郭军 谢铁邦
机构
华中科技大学机械学院仪器系
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期8-11,共4页
基金
国家自然科学基金(50175037) 高等学校博士学科点专项科研基金(20020487039)
文摘
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构—音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题。
关键词
计量学 光针轮廓仪 线切割方法 聚焦误差信号 阶梯测量
Keywords
Metrology Optical stylus profilometer Line cutting Focus error signal Step measurement
分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
题名 微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统
被引量：6
2
作者
陈叶金 范光照 刘玉圣
机构
合肥工业大学仪器仪表学院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期12-17,共6页
基金
国家自然科学基金(50275048)
文摘
采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
关键词
计量学 微/纳米探头 激光读取头 聚焦误差信号 音圈马达 磁滞补偿
Keywords
Metrology Micro/nano probe Pickup head Focus error signal Voice coil motor Hysteresis compensation
分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
题名 用于非连续曲面轮廓测量的激光差动像散传感器
3
作者
邱丽荣 郭俊杰 赵维谦 沙定国
机构
北京理工大学信息科学技术学院 南阳理工学院机电工程系
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2008年第B09期131-135,共5页
基金
国家自然科学基金（60708015） 高等学校博士学科点专项科研基金（20050213035） 新世纪优秀人才支持计划（NECT-05-034）
文摘
针对目前工程领域中亟待解决的三维曲面轮廓的精密测量问题，研制了具有纳米级轴向分辨力的光瞳滤波式激光偏振光差动像散传感器（PLDAP）。该传感器基于像散检测原理，利用位于两柱面镜焦前、焦后等距放置的两探测器上的光斑形状信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号，对被测表面进行高精度双极性绝对测量，可用于大倾角表面的测量。PLDAP中，偏振差动光路布置光强归一化技术的采用，有效抑制了环境光波动、光源波动、物体表面光学特性以及光学器件间多次反射对测量结果的影响，显著提高了像散检测技术的抗干扰能力。实验表明：当测量物镜采用数值孔径NA=0．65时，PLDAP测量范围达±10μm，分辨力优于5nm，可测倾角20°，稳定性优于2％。该传感器为非连续表面轮廓的跟踪、瞄准测量提供一种新的技术途径。
关键词
计量学 三维轮廓测量 差动像散 聚焦误差信号 光瞳滤波器
Keywords
Metrology 3D profile measurement Differential astigmatic Defocused signal Pupil filter
分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
题名 基于蓝光DVD光学读取头的纳米触发测头
4
作者
陈建国 陈欣磊 许健 程荣俊 张连生 黄强先
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第11期69-72,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51875163)。
文摘
基于光学读取头改装的非接触式微纳米测头已广泛应用于阶高、线宽和微小角度的测量。为了追求更高的精度与分辨力而提高聚焦透镜数值孔径(NA)则会使读取头内四象限传感器输出聚焦误差信号曲线的线性区间急剧减小,从而使测头系统的纵向可测量范围降低。为了在进一步提高纵向分辨力的情况下,扩大其纵向测量行程,基于蓝光DVD读取头研发了一种触发式非接触测头。既利用高NA值透镜测头的高精度和高分辨力,又通过触发测量的方式解除了高NA值带来低测量范围的限制,提高了测头的适用性。实验结果表明:该测头的纵向分辨力优于1 nm,重复性误差为18 nm,纵向测量范围可达10μm。
关键词
光学非接触测头 蓝光DVD读取头 触发器 聚焦误差信号
Keywords
optical non-contact probe blue-ray DVD reader trigger focus error signal
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH711
[机械工程—测试计量技术及仪器]
题名 光学低频测振系统的伺服补偿研究
5
作者
孙承文 张辉
机构
合肥工业大学
出处
《工具技术》
2009年第6期115-118,共4页
文摘
介绍了基于DVD光读取头的低频振动测量原理和方法。利用光读取头中的音圈马达,驱动物镜跟踪被测面的振动,使振动面保持在物镜焦点位置,记录音圈马达的驱动电压信号,经分析后即可获得被测振动参数。分析了音圈马达和测量系统的传递函数特性,采用最优二阶阻尼系统函数,反推出音圈马达的驱动补偿函数,以扩大测振系统的频响范围,提高动态测量性能。
关键词
低频振动测量 DVD光读取头 聚焦误差信号 音圈马达 伺服补偿
Keywords
low-frequency vibration measurement, DVD pickup, focus error signal, voice coil motor, servo compensation
分类号
TP216
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TK268.1
[动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
题名 光学记录、存储与器件
6
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第2期62-63,共2页
文摘
TP333.4 2002021250准线性区光盘聚焦自动预搜索机制的研究=Investi-gation on automatic search mechanism in quasi-linear - region for optical disk focusing[刊,中]/蔡忠平,徐端颐,潘龙法(清华大学光盘国家工程研究中心.北京(100084))∥光电工程.—2001,28(1).—16-18。
关键词
自动预搜索 准线性区 光盘存储技术 国家工程研究中心 光学记录 光电工程 清华大学 最新进展 聚焦误差信号 机制
分类号
TP333.4
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
