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基于划痕曲线模糊特征分析法确定硬质薄膜临界载荷
被引量：
3
1
作者
朱强
袁峰
秦东晨
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1015-1018,共4页
由于划痕实验曲线包含有大量无规则波动和跳跃,文中提出从划痕曲线的模糊特征分析角度,获取硬质薄膜的临界载荷值。针对氮化钛(TiN)硬质薄膜的纳米划痕实验结果曲线,文中进行较为深入的模糊特征分析,定义压头垂直位移相对变化率RV和摩...
由于划痕实验曲线包含有大量无规则波动和跳跃,文中提出从划痕曲线的模糊特征分析角度,获取硬质薄膜的临界载荷值。针对氮化钛(TiN)硬质薄膜的纳米划痕实验结果曲线,文中进行较为深入的模糊特征分析,定义压头垂直位移相对变化率RV和摩擦因数相对变化率RF两个特征量,利用模糊逻辑的方法,确定临界载荷的大小。结果表明,划痕曲线模糊特征分析是一种有效的方法,能方便实现临界载荷的判别,进而为评价膜基界面结合强度提供一定依据。
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关键词
纳米划痕法
临界载荷
模糊特征
隶属函数
氮化钛薄膜
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职称材料
单晶蓝宝石的延性研磨加工
被引量：
10
2
作者
戴欣平
赵萍
文东辉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1316-1324,共9页
为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝...
为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝石进行了延性研磨加工试验,采用NT9800白光干涉仪、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法分析了单晶蓝宝石的延性研磨表面特征。试验结果表明:采用纳米压痕和划痕法可以为单晶蓝宝石的延性研磨加工提供工艺参数,单晶蓝宝石的延性堆积的极限深度为100nm,金刚石磨粒的嵌入及在适当载荷下可以实现蓝宝石的延性研磨加工,实验条件下的最佳载荷为21kPa,延性研磨后单晶蓝宝石表面划痕深度的分布情况较好,分散性小,研磨后的表面发生了位错滑移变形。
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关键词
单晶蓝宝石
金刚石磨粒
延性研磨
纳米
压痕
法
纳米划痕法
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职称材料
声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备
被引量：
1
3
作者
谢强
刘伟
杨晓波
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期704-707,共4页
针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子...
针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,制备了附着力牢靠、光谱透射率满足使用要求的TeO2晶体400-1 000nm宽带增透膜。
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关键词
声光可调滤光器
宽带增透膜
附着力
纳米划痕法
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职称材料
题名
基于划痕曲线模糊特征分析法确定硬质薄膜临界载荷
被引量：
3
1
作者
朱强
袁峰
秦东晨
机构
郑州大学机械工程学院
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1015-1018,共4页
文摘
由于划痕实验曲线包含有大量无规则波动和跳跃,文中提出从划痕曲线的模糊特征分析角度,获取硬质薄膜的临界载荷值。针对氮化钛(TiN)硬质薄膜的纳米划痕实验结果曲线,文中进行较为深入的模糊特征分析,定义压头垂直位移相对变化率RV和摩擦因数相对变化率RF两个特征量,利用模糊逻辑的方法,确定临界载荷的大小。结果表明,划痕曲线模糊特征分析是一种有效的方法,能方便实现临界载荷的判别,进而为评价膜基界面结合强度提供一定依据。
关键词
纳米划痕法
临界载荷
模糊特征
隶属函数
氮化钛薄膜
Keywords
Nanoscratch test
Critical load
Fuzzy feature
Membership function
TiN films
分类号
TG113.25 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
单晶蓝宝石的延性研磨加工
被引量：
10
2
作者
戴欣平
赵萍
文东辉
机构
浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
金华职业技术学院机电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1316-1324,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50705088)
教育部科学技术研究重点项目(No.210088)
浙江省新世纪151人才工程资助项目(No.Z18102004)
文摘
为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝石进行了延性研磨加工试验,采用NT9800白光干涉仪、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法分析了单晶蓝宝石的延性研磨表面特征。试验结果表明:采用纳米压痕和划痕法可以为单晶蓝宝石的延性研磨加工提供工艺参数,单晶蓝宝石的延性堆积的极限深度为100nm,金刚石磨粒的嵌入及在适当载荷下可以实现蓝宝石的延性研磨加工,实验条件下的最佳载荷为21kPa,延性研磨后单晶蓝宝石表面划痕深度的分布情况较好,分散性小,研磨后的表面发生了位错滑移变形。
关键词
单晶蓝宝石
金刚石磨粒
延性研磨
纳米
压痕
法
纳米划痕法
Keywords
single crystal sapphire diamond abrasive grain ~ ductile lapping
nanoindentation method nanoscratch method
分类号
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备
被引量：
1
3
作者
谢强
刘伟
杨晓波
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
中国电子科技集团公司第四十四研究所
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期704-707,共4页
文摘
针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,制备了附着力牢靠、光谱透射率满足使用要求的TeO2晶体400-1 000nm宽带增透膜。
关键词
声光可调滤光器
宽带增透膜
附着力
纳米划痕法
Keywords
acousto-optic tunable filter
broadband anti-reflection film
adhesion
nano-scratch
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于划痕曲线模糊特征分析法确定硬质薄膜临界载荷
朱强
袁峰
秦东晨
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
单晶蓝宝石的延性研磨加工
戴欣平
赵萍
文东辉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备
谢强
刘伟
杨晓波
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
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