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等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化被引量：10: 1; 作者黄永宪田修波 +3 位作者杨士勤黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页; 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了... 展开更多; 关键词等离子体浸没离子注入离子注人鞘层子阵 pⅲ 物理量 poisson方程材料表面改性 Newton 时空演化规律离子流密度脉冲偏压数值模拟粒子模型求解空间运动方程离子浓度靶体电势一维电子动能; 在线阅读下载PDF 职称材料

9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究被引量：5: 2; 作者刘洪喜汤宝寅 +3 位作者王小峰王浪平于永澔孙韬《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期167-171,共5页; 采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射... 展开更多; 关键词等离子体浸没离子注入(pⅲ) 等离子体浸没离子注入与沉积(pⅲD) 9Cr18轴承钢摩擦磨损性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

LY12CZ铝合金表面等离子浸没离子注入氮层的摩擦磨损性能研究被引量：11: 3; 作者刘洪喜王浪平 +1 位作者王小峰汤宝寅《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期417-421,共5页; 对LY12CZ(2024)铝合金进行了氮等离子体浸没离子注入(PIII)处理,分析比较了不同工艺参数下离子注入前后试样的化学组成、各元素的化学价态及其摩擦磨损性能.结果表明:铝合金表面改性层中形成了弥散强化的氮化铝(A lN)相;与基体相比,铝... 展开更多; 关键词等离子体浸没离子注入(pⅲ) LY12CZ铝合金摩擦磨损性能耐腐蚀性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于PIII技术的高真空洁净环境中润滑问题被引量：1: 4; 作者曹永智卢礼华 +3 位作者于福利陈家轩张庆春梁迎春《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2371-2374,共4页; 针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高... 展开更多; 关键词等离子体浸没离子注人高真空摩擦磨损 pⅲ技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

PIII方法制备的TiN膜的性能被引量：6: 5; 作者王钧石《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期19-21,共3页; 用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3。对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕。结果表明:TiN膜具有高的硬度和优... 展开更多; 关键词等离子体浸没式离子注入 TIN膜显微硬度摩擦性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

立方氮化硼表面硬化层的制备及性能被引量：2: 6; 作者王钧石柳襄怀 +1 位作者王曦陈元儒《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期31-33,共3页; 用渗硼和新型的等离子体浸没式氮离子注入技术(PⅢ)对Cr12MoV钢进行复合处理,制备出了含有立方氮化硼的表面硬化层。经X光电子能谱和X射线衍射分析发现硬化层中的组织主要是立方氮化硼(c BN)、六方氮化硼(h BN)、FeB和Fe2B。在与单独渗... 展开更多; 关键词立方氮化硼表面硬化层渗硼等离子体浸没式离子注入(pⅲ) 显微硬度摩擦性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化被引量：10: 1; 作者黄永宪田修波杨士勤黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu; 机构哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室香港城市大学物理及材料科学系; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页; 基金国家自然科学基金(10345003和50373007)资助; 文摘等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了一维粒子模型(PIC)对其进行了数值模拟,该模型通过求解空间电势的Poisson方程,电子的Bolzmann分布以及离子在网格中受力运动的Newton运动方程来完成。本文重点研究了一个初始离子阵鞘层内电势、离子浓度、离子注入靶体的速度和动能以及离子流密度的时空演化规律。; 关键词等离子体浸没离子注入离子注人鞘层子阵 pⅲ 物理量 poisson方程材料表面改性 Newton 时空演化规律离子流密度脉冲偏压数值模拟粒子模型求解空间运动方程离子浓度靶体电势一维电子动能; Keywords plasma immersion ion implantation(pIII) Sheath particle-in-cell(pIC) planar target; 分类号 O53 [理学—等离子体物理] TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究被引量：5: 2; 作者刘洪喜汤宝寅王小峰王浪平于永澔孙韬; 机构哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期167-171,共5页; 基金国防预研基金资助项目; 文摘采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、俄歇电子能谱 (AES)和拉曼光谱 (Raman)分析 ;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数。结果表明 :处理后试样表面均形成了不同的改性层 ,且改性层中化学组成和各元素的浓度深度分布随处理工艺的不同而变化 ;处理后试样的显微硬度都有较大提高 ,最大增幅达 77.7% ;表面摩擦系数由 0 .8下降到0 .16 ;磨痕宽度减少了 2 3倍 ;与PIII工艺相比 ,相同参数下 ,PIIID处理后的试样表面综合性能更加优异。; 关键词等离子体浸没离子注入(pⅲ) 等离子体浸没离子注入与沉积(pⅲD) 9Cr18轴承钢摩擦磨损性能; Keywords plasma immersion ion implantation (pIII) plasma immersion ion implantation deposition (pIII) 9Cr18 bearing steel friction and wear behavior; 分类号 TG172.44 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LY12CZ铝合金表面等离子浸没离子注入氮层的摩擦磨损性能研究被引量：11: 3; 作者刘洪喜王浪平王小峰汤宝寅; 机构哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室; 出处《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期417-421,共5页; 基金国防预研基金资助项目(7001028); 文摘对LY12CZ(2024)铝合金进行了氮等离子体浸没离子注入(PIII)处理,分析比较了不同工艺参数下离子注入前后试样的化学组成、各元素的化学价态及其摩擦磨损性能.结果表明:铝合金表面改性层中形成了弥散强化的氮化铝(A lN)相;与基体相比,铝合金试样在不同条件下处理后的表面显微硬度均有所提高,最大增幅达1.4倍;铝合金的磨损质量损失减少了75%,摩擦系数显著降低,表面综合性能得到了显著改善.; 关键词等离子体浸没离子注入(pⅲ) LY12CZ铝合金摩擦磨损性能耐腐蚀性能; Keywords plasma Immersion Ion Implantation （pIII）, LY12CZ （2024） aluminum alloys, friction and wear behavior, microhardness; 分类号 TG172.44 [金属学及工艺—金属表面处理] TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于PIII技术的高真空洁净环境中润滑问题被引量：1: 4; 作者曹永智卢礼华于福利陈家轩张庆春梁迎春; 机构哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨工业大学机电学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2371-2374,共4页; 基金国家高技术发展计划项目国家自然科学基金项目(51075088) +1 种基金黑龙江省基金项目(E201019); 文摘针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性,并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好,充分证明了PIII技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下,提高运动部件抗摩擦磨损性能,延长微驱动机构的运动精度寿命,是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径。; 关键词等离子体浸没离子注人高真空摩擦磨损 pⅲ技术; Keywords plasma immersion ion implantation high vacuum frictional wear pⅲ technology; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PIII方法制备的TiN膜的性能被引量：6: 5; 作者王钧石; 机构西南交通大学材料科学与工程学院; 出处《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期19-21,共3页; 基金中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室应用基础研究基金资助项目(100027); 文摘用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3。对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕。结果表明:TiN膜具有高的硬度和优良的抗摩擦性能。; 关键词等离子体浸没式离子注入 TIN膜显微硬度摩擦性能; Keywords pIII TiN film microhardness tribological property; 分类号 TG156.8 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名立方氮化硼表面硬化层的制备及性能被引量：2: 6; 作者王钧石柳襄怀王曦陈元儒; 机构西南交通大学材料科学与工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室; 出处《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期31-33,共3页; 基金中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室基金资助项目(100027); 文摘用渗硼和新型的等离子体浸没式氮离子注入技术(PⅢ)对Cr12MoV钢进行复合处理,制备出了含有立方氮化硼的表面硬化层。经X光电子能谱和X射线衍射分析发现硬化层中的组织主要是立方氮化硼(c BN)、六方氮化硼(h BN)、FeB和Fe2B。在与单独渗硼处理的Cr12MoV钢试样进行对比时,对立方氮化硼表面硬化层进行了维氏显微硬度和滑动摩擦试验。结果表明:硬化层具有高达48GPa的高硬度和优良的摩擦性能。; 关键词立方氮化硼表面硬化层渗硼等离子体浸没式离子注入(pⅲ) 显微硬度摩擦性能; Keywords hardened surface layer containing cubic boron nitride(c-BN) boronizing plasma immersion ion implantation (pⅲ) microhardness tribological property; 分类号 TG156.8 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化	黄永宪田修波杨士勤黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	10	在线阅读下载PDF 职称材料
2	9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究	刘洪喜汤宝寅王小峰王浪平于永澔孙韬	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	LY12CZ铝合金表面等离子浸没离子注入氮层的摩擦磨损性能研究	刘洪喜王浪平王小峰汤宝寅	《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	11	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于PIII技术的高真空洁净环境中润滑问题	曹永智卢礼华于福利陈家轩张庆春梁迎春	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	PIII方法制备的TiN膜的性能	王钧石	《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心	2004	6	在线阅读下载PDF 职称材料
6	立方氮化硼表面硬化层的制备及性能	王钧石柳襄怀王曦陈元儒	《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料