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基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
被引量：
6
1
作者
徐哲
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第1期114-119,共6页
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因...
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
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关键词
硅微梳齿式加速度计
温漂
闭环点位置
滞环
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职称材料
题名
基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
被引量：
6
1
作者
徐哲
刘云峰
董景新
机构
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
总参陆航研究所
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第1期114-119,共6页
基金
总装"十二五"预研项目(513090203**)
文摘
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
关键词
硅微梳齿式加速度计
温漂
闭环点位置
滞环
Keywords
comb-finger micromechanical silicon accelerometer
thermal drift
close-loop position
hysteresis
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
徐哲
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014
6
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