新型高量程冲击硅微机械加速度传感器的设计与制造 被引量：5

1

作者 董健 计时鸣 张立彬 《浙江工业大学学报》 CAS 北大核心 2009年第1期105-109,114,共6页

给出了一种测量高量程冲击加速度的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法．加速度传感器采用整体式悬臂梁结构，在硅片平面内设计了两个分布方向相反结构相同的悬臂梁，每个悬臂梁顶端通过硼扩散形成两个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠... 给出了一种测量高量程冲击加速度的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法．加速度传感器采用整体式悬臂梁结构，在硅片平面内设计了两个分布方向相反结构相同的悬臂梁，每个悬臂梁顶端通过硼扩散形成两个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接．悬臂梁两侧面和过载保护曲面采用DRIE技术加工，过载保护曲面设计成近似于冲击加速度传感器承受最大加速度时悬臂梁弯曲曲面的形状，一方面提高了悬臂梁过载保护能力，另一方面可以调节加速度传感器的工作阻尼至临界阻尼，有效提高了加速度传感器的工作频率带宽．分析和测试结果表明，加速度传感器的灵敏度达到3．024μV／g，工作频率带宽达到O～81kHz，量程达到0～50000g．加速度传感器的性能能够满足测号冲击过程的要求． 展开更多

关键词 冲击 硅微机械加速度传感器drie技术 过载保护曲面 工作频率带宽

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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计 被引量：10

2

作者 董健 李昕欣 +2 位作者 王跃林 张鲲 宋朝晖 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期148-150,214,共4页

给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全... 给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ;悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面 ,一方面有效地提高悬臂梁的过载保护能力 ,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼 ,使之接近临界阻尼 ,有效抑制自由振动模态 ,提高测量精度。 展开更多

关键词 曲面过载保护 冲击 硅微机械加速度传感器 压膜阻尼

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冲击硅微机械加速度传感器的封装与封装性能分析 被引量：7

3

作者 董健 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期959-963,共5页

给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析。加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳,采用环氧粘合剂将芯片粘结在金属基板上,采用金丝连接芯片铝焊点和管脚,使用环氧灌封胶充填管壳内空余的区... 给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析。加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳,采用环氧粘合剂将芯片粘结在金属基板上,采用金丝连接芯片铝焊点和管脚,使用环氧灌封胶充填管壳内空余的区域,来缓冲芯片受到冲击时承受的冲击应力。用ANSYS软件对封装后的器件进行了模态分析。分析结果表明,封装后加速度传感器敏感结构—悬臂梁敏感方向上的模态频率与封装前基本相同,封装后器件管壳三个破坏方向上的模态频率足够大。因此,封装不影响加速度传感器的测试性能并有良好的抗冲击能力。用霍普金森杆对封装后器件进行了冲击破坏实验。实验结果表明,引线从芯片铝焊点处脱落是冲击破坏的主要形式。 展开更多

关键词 冲击硅微机械加速度传感器 封装 可伐合金 模态频率 破坏

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基于厚膜混合集成的硅微机械加速度传感器

4

作者 王存超 苏岩 王寿荣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第1期1-2,13,共3页

采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机。介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工... 采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机。介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工程样机。实验结果表明:该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性。 展开更多

关键词 厚膜技术 硅微机械 加速度传感器 单片

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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 被引量：2

5

作者 魏长征 周伟 李昕欣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第11期4-7,共4页

文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工... 文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工艺相兼容的压阻式加速度传感器。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的灵敏度。利用金属质量块和衬底形成的一对电极,实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感器测试结果表明,加速度输出灵敏度为25.1μV/g,-3 dB频率带宽为1.3 kHz. 展开更多

关键词 压阻式加速度传感器 表面微机械技术 片上静电自检测功能

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降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法 被引量：4

6

作者 费龙 钟先信 +2 位作者 温志渝 刘桂雄 高扬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第1期64-68,共5页

本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。

关键词 硅微机械 横向灵敏度 加速度传感器

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侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计 被引量：1

7

作者 董健 《浙江工业大学学报》 CAS 2008年第3期326-329,共4页

给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工,在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻,四个压敏电... 给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工,在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻,四个压敏电阻构成惠斯痛全桥连接,在悬臂梁的根部采用DRIE工艺形成电隔离窄沟槽,并淀积二氧化硅薄膜来填充隔离沟槽,形成电阻与其它区域间的电绝缘.计算结果表明,这种结构的加速度传感器的灵敏度比常规设计的加速度传感器灵敏度要高77%.工艺可行性试验表明,电隔离窄沟槽的制作工艺稳定可靠.因此,这是一种先进的压阻式硅微机械加速度传感器设计和制造方法. 展开更多

关键词 侧面扩散电阻 硅微机械加速度传感器 双悬臂梁 电隔离窄沟槽

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硅微机械传感器的技术特点及发展趋势 被引量：8

8

作者 刘月明 刘君华 张少君 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第2期1-3,20,共4页

基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 。

关键词 硅 微机械 传感器 技术特点 发展趋势 微型化

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新结构的硅一体化微加速度传感器

9

作者 王跃林 徐义刚 +1 位作者 陈锋 胡鑫松 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第8期36-40,共5页

本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别适合制作谐振传感器。

关键词 硅 微机械结构 加速度 传感器

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硅微机械与光纤组合式列阵传感器 被引量：4

10

作者 温志渝 钟先信 +1 位作者 孙晓松 黄友恕 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期336-341,共6页

本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组... 本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。 展开更多

关键词 硅微机械 硅悬臂梁 光纤组合 硅微悬臂梁 固有频率 光电探测器 硅的各向异性腐蚀 光纤传感器 实验系统 微细加工技术

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利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究

11

作者 王跃林 金仲和 +1 位作者 丁纯 徐义刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期331-335,共5页

本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。

关键词 集成光学 微谐振器 微机械技术 激励电压 悬臂梁 品质因素 硅微机械 谐振传感器 脊形波导 加热电阻

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微机械传感器计算机辅助设计系统 被引量：1

12

作者 费龙 钟先信 +1 位作者 温志渝 徐涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期223-226,244,共5页

微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。

关键词 微机械传感器 计算机辅助设计 敏感元件 设计系统 微机械结构 硅微加速度传感器 传感单元 数据库 工艺条件 传感器阵列

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MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器 被引量：1

13

作者 毛超民 王政平 +1 位作者 王冰 任峰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期178-179,198,共3页

文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽... 文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。 展开更多

关键词 微机械加工技术 硅压阻 智能校准补偿技术 汽车压力传感器

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几种新型集成硅微（型）传感器系统

14

作者 温志渝 费龙 +1 位作者 胡松 钟先信 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第1期25-28,共4页

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．

关键词 微机械技术 微型 传感器系统 集成光学 硅

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抗高过载微机械陀螺仪研究综述 被引量：12

15

作者 曹慧亮 张英杰 +3 位作者 寇志伟 石云波 唐军 刘俊 《河北科技大学学报》 CAS 2018年第4期289-298,共10页

惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用,其中,微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先,对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化,概括了微机械陀螺结构的高过... 惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用,其中,微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先,对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化,概括了微机械陀螺结构的高过载失效机理。其次,结合国内外相关机构公开发表的研究成果,从微机械陀螺仪的抗高过载特性的角度出发,介绍了不同测控方式、不同结构形式、不同结构材料、不同工作原理的微机械陀螺仪的抗冲击能力。最后,对相关报道和论文进行了总结和归纳,提出应从驱动-检测方式、合理的吸能释能结构配置、工作原理、新型结构材料、多级系统缓冲等方面设计和改进高过载微机械陀螺结构,以提高陀螺的抗高过载能力。 展开更多

关键词 传感器技术 高过载 微机械陀螺 梳齿电容 四波腹振动 硅材料

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微机械光学进展

16

作者 王跃林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期51-54,共4页

本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因，讨论了其发展方向，列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义，最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。

关键词 微机械技术 干涉仪 斩光器 机械运动 光学平台 微光学元件 压力的传感器 硅微机械 微透镜 光波导

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传感器

17

《中国光学》 EI CAS 1996年第1期69-70,共2页

TN366 96010483集成硅微机械光压力传感器=Integrated micro—mechanical silicon optical pressure sensor[刊,中]/温志渝,费龙(重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室,重庆大学)∥半导体光电。—1995,16(3)。—245—247介绍了一... TN366 96010483集成硅微机械光压力传感器=Integrated micro—mechanical silicon optical pressure sensor[刊,中]/温志渝,费龙(重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室,重庆大学)∥半导体光电。—1995,16(3)。—245—247介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。 展开更多

关键词 重庆大学 压力传感器 固体图象传感器 硅微机械 开放实验室 工作原理 光电技术 位移传感器 光纤电流传感器 实验结果

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