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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用被引量：1: 1; 作者孙屹群汤彦骐《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页; 叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。; 关键词离子束辅助蒸发冷阴极离子源真空镀膜技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题被引量：4: 2; 作者尤大伟任荆学 +1 位作者黄小刚武建军《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期279-282,共4页; 本文目的在于改进霍尔源的设计 ,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源。; 关键词光学镀膜离子束辅助镀膜等离子体加速器霍尔离子源; 在线阅读下载PDF 职称材料

高功率CO_2激光薄膜的离子辅助镀工艺进展: 3; 作者迟晓丽夏文建《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期4-7,共4页; 真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年 ,随着激光技术的发展 ,人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高 ,离子辅助沉积薄膜技术已被广泛用来作为一种改善光学薄膜特性的工艺手段。本文简单地介绍了这项技术的原理及国内外研... 展开更多; 关键词高功率光学薄膜离子辅助镀二氧化碳激光器真空蒸发镀膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

金刚石表面离子束改性: 4; 作者廖道达陆德强 +1 位作者刘文燕邱君苑《航空制造技术》北大核心 2004年第z1期249-251,共3页; 介绍了采用离子束技术对金刚石进行表面改性的试验研究,包括试验装置、试验方法及改性效果分析.试验结果表明,与未改性金刚石相比,改性金刚石具有很好的浸润性和结合力,其抗压强度、自锐性和使用寿命也得到了显著改善.; 关键词金刚石表面改性离子注入离子束混合辅助镀膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

制备光学薄膜的离子源技术概述被引量：21: 5; 作者尤大伟《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期107-113,共7页; 随着工业技术的发展及市场的需求,低能宽束离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料改性的离子束注入混合技术和光学薄膜制备的离子束辅助镀膜技术。本文在多年该技术的实践与发展基础上,总结了制备光学薄膜的各种常用辅助镀... 展开更多; 关键词光学薄膜镀膜辅助镀膜离子源离子束辅助镀膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

二氧化硅镀膜的特性研究及其对内皮细胞活性的影响被引量：2: 6; 作者李新娟魏江南薛建华《河北科技大学学报》 CAS 2003年第4期19-23,66,共6页; 研究了沉积在玻璃基体上二氧化硅薄膜表面改性对内皮细胞生长的影响。二氧化硅薄膜的制备采用了离子束辅助沉积法,薄膜的厚度为2000 左右,薄膜成分利用X射线光电子谱仪进行分析,分析结果表明薄膜成分为纯二氧化硅。在二氧化硅薄膜上进... 展开更多; 关键词二氧化硅镀膜内皮细胞活性玻璃基体离子束辅助沉积法细胞培养冠状动脉腔内成型术厚度分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

镀膜技术及设备: 7; 《中国光学》 EI CAS 1996年第5期71-74,共4页; TN304.054 96053317MOCVD方法生长二氧化钛膜研究=The researchabout thin TiO<sub>2</sub> films prepared by MOCVD[刊,中]/金海岩（复旦大学材料系.上海（200437））∥光子学报.—1995,24（Z3）.—45—51通过对各种实验... 展开更多; 关键词薄膜技术镀膜技术张家界学术研讨会超导薄膜离子束辅助光子学光学湖南制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究被引量：10: 8; 作者白秀琴李健严新平《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期19-21,共3页; 以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜... 展开更多; 关键词 DLC薄膜真空蒸发离子束辅助镀膜表面形貌摩擦学性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

锗基底3～5μm和8～12μm双波段红外增透膜研究被引量：10: 9; 作者潘永强朱昌 +1 位作者杭凌侠宋俊杰《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期372-374,共3页; 文中简要叙述了双波段(3～5μm和8～12μm)红外增透膜的膜料选择以及锗基底上红外双波段增透膜的设计与镀制,介绍了离子束辅助沉积技术制备该薄膜的过程。提出了采用脉冲真空电弧离子镀技术镀制无氢类金刚石膜作为红外增透膜的保护膜,... 展开更多; 关键词红外双波段红外增透膜光谱特性镀膜离子束辅助沉积保护膜薄膜类金刚石膜基底; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用被引量：1: 1; 作者孙屹群汤彦骐; 机构云南光学仪器厂; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页; 文摘叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。; 关键词离子束辅助蒸发冷阴极离子源真空镀膜技术; Keywords ion beam auxiliary deposition(IAD) cold cathode ion source; 分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题被引量：4: 2; 作者尤大伟任荆学黄小刚武建军; 机构中科院空间科学与应用研究中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期279-282,共4页; 文摘本文目的在于改进霍尔源的设计 ,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源。; 关键词光学镀膜离子束辅助镀膜等离子体加速器霍尔离子源; Keywords Optical cating,Ion beam assisted deposition,plasma accelerator; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高功率CO_2激光薄膜的离子辅助镀工艺进展: 3; 作者迟晓丽夏文建; 机构华中科技大学激光技术国家重点实验室; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期4-7,共4页; 文摘真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年 ,随着激光技术的发展 ,人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高 ,离子辅助沉积薄膜技术已被广泛用来作为一种改善光学薄膜特性的工艺手段。本文简单地介绍了这项技术的原理及国内外研究现状 ;总结了该技术的优、缺点 ;客观评价了该技术的应用前景 ;对该技术今后的研究方向提出了建议。; 关键词高功率光学薄膜离子辅助镀二氧化碳激光器真空蒸发镀膜; Keywords optical film,ion-assisted deposition(IAD),survey; 分类号 TQ153 [化学工程—电化学工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金刚石表面离子束改性: 4; 作者廖道达陆德强刘文燕邱君苑; 出处《航空制造技术》北大核心 2004年第z1期249-251,共3页; 文摘介绍了采用离子束技术对金刚石进行表面改性的试验研究,包括试验装置、试验方法及改性效果分析.试验结果表明,与未改性金刚石相比,改性金刚石具有很好的浸润性和结合力,其抗压强度、自锐性和使用寿命也得到了显著改善.; 关键词金刚石表面改性离子注入离子束混合辅助镀膜; 分类号 V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名制备光学薄膜的离子源技术概述被引量：21: 5; 作者尤大伟; 机构中科院空间中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期107-113,共7页; 文摘随着工业技术的发展及市场的需求,低能宽束离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料改性的离子束注入混合技术和光学薄膜制备的离子束辅助镀膜技术。本文在多年该技术的实践与发展基础上,总结了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源,其中包括考夫曼离子源、霍耳离子源、射频离子源、无栅离子源、阳极层离子源(均由我们实验室制造)的工作原理,设计要点,分析了使用时可能出现的问题及解决办法,最后从各种离子源的工作机制、工作特点、性价比、优缺点上予以比较。相信会有益于从事薄膜的工作者。; 关键词光学薄膜镀膜辅助镀膜离子源离子束辅助镀膜; Keywords Optical film costing, Ion beam sources, Ion assisted deposition; 分类号 TL503.3 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名二氧化硅镀膜的特性研究及其对内皮细胞活性的影响被引量：2: 6; 作者李新娟魏江南薛建华; 机构河北科技大学理学院; 出处《河北科技大学学报》 CAS 2003年第4期19-23,66,共6页; 文摘研究了沉积在玻璃基体上二氧化硅薄膜表面改性对内皮细胞生长的影响。二氧化硅薄膜的制备采用了离子束辅助沉积法,薄膜的厚度为2000 左右,薄膜成分利用X射线光电子谱仪进行分析,分析结果表明薄膜成分为纯二氧化硅。在二氧化硅薄膜上进行牛主动脉内皮细胞培养,观察细胞突起生长情况,并用MTT方法检验细胞活力。结果发现对照组细胞突起生长明显,而在二氧化硅薄膜作用下,样品组细胞突起生长不那么明显,OD值由0 574下降到了0 465(p<0 001),说明氧化硅薄膜对内皮细胞生长有明显的抑制作用。; 关键词二氧化硅镀膜内皮细胞活性玻璃基体离子束辅助沉积法细胞培养冠状动脉腔内成型术厚度分析; Keywords the auxiliary deposit of ion beam silica dioxide film the stand in the coromary artery cell culture; 分类号 Q813.11 [生物学—生物工程] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名镀膜技术及设备: 7; 出处《中国光学》 EI CAS 1996年第5期71-74,共4页; 文摘 TN304.054 96053317MOCVD方法生长二氧化钛膜研究=The researchabout thin TiO<sub>2</sub> films prepared by MOCVD[刊,中]/金海岩（复旦大学材料系.上海（200437））∥光子学报.—1995,24（Z3）.—45—51通过对各种实验数据的分析,提出了生长速率,折射率与源温、衬底温度的关系。; 关键词薄膜技术镀膜技术张家界学术研讨会超导薄膜离子束辅助光子学光学湖南制备; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究被引量：10: 8; 作者白秀琴李健严新平; 机构武汉理工大学可靠性工程研究所武汉材料保护研究所; 出处《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期19-21,共3页; 基金国家自然科学基金项目资助(50175041).; 文摘以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善。; 关键词 DLC薄膜真空蒸发离子束辅助镀膜表面形貌摩擦学性能; Keywords Amorphous films Ion beams Surface roughness Surface topography Vapor deposition; 分类号 TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名锗基底3～5μm和8～12μm双波段红外增透膜研究被引量：10: 9; 作者潘永强朱昌杭凌侠宋俊杰; 机构西安工业学院光电工程学院; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期372-374,共3页; 文摘文中简要叙述了双波段(3～5μm和8～12μm)红外增透膜的膜料选择以及锗基底上红外双波段增透膜的设计与镀制,介绍了离子束辅助沉积技术制备该薄膜的过程。提出了采用脉冲真空电弧离子镀技术镀制无氢类金刚石膜作为红外增透膜的保护膜,并讨论了镀制类金刚石膜后,镀膜元件的光谱特性。; 关键词红外双波段红外增透膜光谱特性镀膜离子束辅助沉积保护膜薄膜类金刚石膜基底; Keywords double waveband infrared antireflection(IR AR) ion beam assisted deposition(IBAD) diamond-like carbon film(DLC); 分类号 TN219 [电子电信—物理电子学] O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用	孙屹群汤彦骐	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	1997	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题	尤大伟任荆学黄小刚武建军	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	高功率CO_2激光薄膜的离子辅助镀工艺进展	迟晓丽夏文建	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	金刚石表面离子束改性	廖道达陆德强刘文燕邱君苑	《航空制造技术》北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	制备光学薄膜的离子源技术概述	尤大伟	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	21	在线阅读下载PDF 职称材料
6	二氧化硅镀膜的特性研究及其对内皮细胞活性的影响	李新娟魏江南薛建华	《河北科技大学学报》 CAS	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	镀膜技术及设备		《中国光学》 EI CAS	1996	0	在线阅读下载PDF 职称材料
8	DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究	白秀琴李健严新平	《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	10	在线阅读下载PDF 职称材料
9	锗基底3～5μm和8～12μm双波段红外增透膜研究	潘永强朱昌杭凌侠宋俊杰	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2004	10	在线阅读下载PDF 职称材料