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题名单晶硅微构件力学特性片上测试系统
被引量：4
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作者
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
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机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
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出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期456-459,共4页
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基金
国家自然科学基金(50135040)
中国基础研究基金(2003CB716205)
清华大学基础研究基金(Jc2003013)资助~~
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文摘
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。
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关键词
微电子机械系统
单晶硅
片上测试
静电梳状驱动器
疲劳
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Keywords
Micro-electro-mechanical system
Single-crystal silicon
On-chip testing
Electrostatic comb actuator
Fa-tigue
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分类号
TB302.3
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名MEMS片上绝缘性能测试高阻标准件研制
被引量：3
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作者
乔玉娥
刘岩
丁晨
翟玉卫
梁法国
郑世棋
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《中国测试》
北大核心
2017年第7期88-91,共4页
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文摘
针对MEMS圆片测试系统中绝缘性能测试的准确测量问题,利用Ga As半导体材料硼离子注入后的高绝缘特性,研究制作片上高值电阻标准件的方案,研制出一种基于Ga As衬底的由2个金属电极构成的1 GΩ片上高阻标准件。组建能有效溯源至国家最高标准的定标装置,使用与标准件探针压点坐标匹配的探针卡作为测试夹具,考核出年稳定性优于0.1%的在片标准件。经试验表明:该标准件携带方便、性能稳定,对开展MEMS片上绝缘性能测试提供有效的现场校准方案,有效解决其溯源问题。
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关键词
MEMS片上测试系统
绝缘性能
片上高阻标准件
标定
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Keywords
MEMS on-wafer test system
insulation performance
on-wafer high resistance standard
evaluation
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分类号
TN304.7
[电子电信—物理电子学]
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