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巨量转移设备热误差补偿技术研究进展
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作者 刘正勇 陈友东 +3 位作者 张鹏举 王广炎 薛芮 韩江 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第7期889-897,共9页
巨量转移设备在高速、高频运行工况下将产生大量的热,导致零部件热变形,严重影响巨量转移工艺的精度。对巨量转移设备的热误差进行合理建模,并实现热误差补偿对保障转移精度非常关键。文章介绍设备高速进给机构的热误差补偿技术研究进展... 巨量转移设备在高速、高频运行工况下将产生大量的热,导致零部件热变形,严重影响巨量转移工艺的精度。对巨量转移设备的热误差进行合理建模,并实现热误差补偿对保障转移精度非常关键。文章介绍设备高速进给机构的热误差补偿技术研究进展,从高速机构热特性分析与建模、热误差建模技术、高速进给机构热误差建模与补偿等方面对国内外研究现状进行总结。首先介绍了直线运动机构热特性,其次系统阐述了热误差建模过程中温度测量、热误差测量、温度测点优化选取、热误差建模方法,最后对巨量转移设备热误差补偿研究进行总结与展望,为相关的技术研究提供借鉴和参考。 展开更多
关键词 巨量转移设备 高速进给机构 直线电机 热误差机理 误差补偿
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