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离子辅助沉积中离子束流密度的作用
被引量:
17
1
作者
张大伟
洪瑞金
+3 位作者
范树海
王英剑
邵建达
范正修
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期477-480,共4页
测量了EndHall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了Ar离子辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度对薄膜折射率、晶相的影响根据动量传递模型分析了离子束流密度对薄膜折射率的作用;
关键词
离子辅助
离子束流密度
热尖峰
晶相
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职称材料
强流脉冲离子束表面改性奥氏体不锈钢分子动力学的研究
被引量:
2
2
作者
武志平
徐芳泓
王岩
《太原理工大学学报》
CAS
北大核心
2019年第4期466-471,共6页
用分子动力学方法(MD)研究了高能离子束辐照奥氏体不锈钢表面,并采用热尖峰模型模拟了辐照条件下的能量传递过程。通过对能量分布和原子运动的分析,确定了能量消耗的机理:一部分能量通过蒸发和热传导被表面的原子消耗,另一部分以激波的...
用分子动力学方法(MD)研究了高能离子束辐照奥氏体不锈钢表面,并采用热尖峰模型模拟了辐照条件下的能量传递过程。通过对能量分布和原子运动的分析,确定了能量消耗的机理:一部分能量通过蒸发和热传导被表面的原子消耗,另一部分以激波的形式在基体中传播。热传导缓慢造成的高强度蒸发和表面原子的再吸附共同作用,导致了表面的光滑过程。
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关键词
奥氏体不锈钢
分子动力学
热尖峰
光滑过程
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职称材料
题名
离子辅助沉积中离子束流密度的作用
被引量:
17
1
作者
张大伟
洪瑞金
范树海
王英剑
邵建达
范正修
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期477-480,共4页
基金
863资助项目(编号8638042)
文摘
测量了EndHall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了Ar离子辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度对薄膜折射率、晶相的影响根据动量传递模型分析了离子束流密度对薄膜折射率的作用;
关键词
离子辅助
离子束流密度
热尖峰
晶相
Keywords
Ion beam assisted
Ion current density
Thermal-spike
Crystal phase
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
强流脉冲离子束表面改性奥氏体不锈钢分子动力学的研究
被引量:
2
2
作者
武志平
徐芳泓
王岩
机构
太原钢铁(集团)有限公司
出处
《太原理工大学学报》
CAS
北大核心
2019年第4期466-471,共6页
基金
山西省应用基础研究资助项目(201801D121077)
文摘
用分子动力学方法(MD)研究了高能离子束辐照奥氏体不锈钢表面,并采用热尖峰模型模拟了辐照条件下的能量传递过程。通过对能量分布和原子运动的分析,确定了能量消耗的机理:一部分能量通过蒸发和热传导被表面的原子消耗,另一部分以激波的形式在基体中传播。热传导缓慢造成的高强度蒸发和表面原子的再吸附共同作用,导致了表面的光滑过程。
关键词
奥氏体不锈钢
分子动力学
热尖峰
光滑过程
Keywords
austenitic stainless steels
molecular dynamics
thermal spike
smooth process
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
离子辅助沉积中离子束流密度的作用
张大伟
洪瑞金
范树海
王英剑
邵建达
范正修
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
17
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职称材料
2
强流脉冲离子束表面改性奥氏体不锈钢分子动力学的研究
武志平
徐芳泓
王岩
《太原理工大学学报》
CAS
北大核心
2019
2
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