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离子辅助沉积中离子束流密度的作用 被引量:17
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作者 张大伟 洪瑞金 +3 位作者 范树海 王英剑 邵建达 范正修 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期477-480,共4页
测量了EndHall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了Ar离子辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度对薄膜折射率、晶相的影响根据动量传递模型分析了离子束流密度对薄膜折射率的作用;
关键词 离子辅助 离子束流密度 热尖峰 晶相
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强流脉冲离子束表面改性奥氏体不锈钢分子动力学的研究 被引量:2
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作者 武志平 徐芳泓 王岩 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2019年第4期466-471,共6页
用分子动力学方法(MD)研究了高能离子束辐照奥氏体不锈钢表面,并采用热尖峰模型模拟了辐照条件下的能量传递过程。通过对能量分布和原子运动的分析,确定了能量消耗的机理:一部分能量通过蒸发和热传导被表面的原子消耗,另一部分以激波的... 用分子动力学方法(MD)研究了高能离子束辐照奥氏体不锈钢表面,并采用热尖峰模型模拟了辐照条件下的能量传递过程。通过对能量分布和原子运动的分析,确定了能量消耗的机理:一部分能量通过蒸发和热传导被表面的原子消耗,另一部分以激波的形式在基体中传播。热传导缓慢造成的高强度蒸发和表面原子的再吸附共同作用,导致了表面的光滑过程。 展开更多
关键词 奥氏体不锈钢 分子动力学 热尖峰 光滑过程
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