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CCD激光微位移测量头在应用中的问题及对策
被引量：
2
1
作者
石成英
姜勤波
+1 位作者
王少龙
林辉
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期78-79,共2页
CCD激光微位移测量头是利用三角法原理设计的一种高精度非接触激光微位移传感器。由于CCD激光微位移测量头的特定结构和工作原理所决定 ,要使得其达到设计精度 ,在实际使用中必须满足几个重要条件。
关键词
CCD
激光微位移测量
头
三角法
传感器
测量
精度
在线阅读
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职称材料
基于PSD的高精度激光校准仪的设计
被引量：
5
2
作者
焦国华
李育林
胡宝文
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第6期64-66,共3页
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了...
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。
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关键词
激光微位移测量
激光
校准
位置敏感探测器
轴系校准
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职称材料
题名
CCD激光微位移测量头在应用中的问题及对策
被引量：
2
1
作者
石成英
姜勤波
王少龙
林辉
机构
西北工业大学控制系
第二炮兵工程学院一系
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期78-79,共2页
文摘
CCD激光微位移测量头是利用三角法原理设计的一种高精度非接触激光微位移传感器。由于CCD激光微位移测量头的特定结构和工作原理所决定 ,要使得其达到设计精度 ,在实际使用中必须满足几个重要条件。
关键词
CCD
激光微位移测量
头
三角法
传感器
测量
精度
Keywords
trigonometry measurement
CCD chip
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于PSD的高精度激光校准仪的设计
被引量：
5
2
作者
焦国华
李育林
胡宝文
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第6期64-66,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60337030)
文摘
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。
关键词
激光微位移测量
激光
校准
位置敏感探测器
轴系校准
Keywords
laser micro-displacement measurement
laser alignment
position sensing detector （PSD）
shaft alignment
分类号
TH741.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CCD激光微位移测量头在应用中的问题及对策
石成英
姜勤波
王少龙
林辉
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于PSD的高精度激光校准仪的设计
焦国华
李育林
胡宝文
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
5
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