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微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
被引量：
4
1
作者
陈德勇
崔大付
+1 位作者
于中尧
王利
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期543-547,共5页
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ...
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,灵敏度 2 3.8Hz kPa。
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关键词
微电子机械加工技术
氮化硅梁
谐振式压力传感器
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职称材料
题名
微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
被引量：
4
1
作者
陈德勇
崔大付
于中尧
王利
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期543-547,共5页
文摘
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,灵敏度 2 3.8Hz kPa。
关键词
微电子机械加工技术
氮化硅梁
谐振式压力传感器
Keywords
MEMS technology
SiN beam
Resonant pressure sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
陈德勇
崔大付
于中尧
王利
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
4
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