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题名激光横向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究
被引量：4
- 1
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作者
王志娟
汤建华
于前洋
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期35-36,共2页
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文摘
激光在片式电阻上的横向切割长度对阻值影响较大 ,合理设计其长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。通过实验数据分析得出激光横向切割的长度变化率与阻值变化率之间的定量结论 ,并拟合了有效横向切割长度的阻值变化率与切割长度变化率之间的关系函数 ,二者能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据。
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关键词
激光调阻
横向切割
长度变化率
阻值变化率
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Keywords
laser trimming,transverse cutting,cutting-length varying-ratio,resistance varying-ratio
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分类号
TN2
[电子电信—物理电子学]
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题名适用于深沟槽结构观测的TEM样品制备技术
被引量：1
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作者
张启华
高强
李明
牛崇实
简维廷
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机构
中芯国际集成电路制造有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期169-171,共3页
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文摘
对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种"FIB横向切割"技术,适用于对这类结构的观测。它与传统FIB制样方法的主要区别在于,切割方向由纵向切割改为横向切割。用这种方法制备的TEM样品,可以完整地观测同一个深沟槽DRAM电容结构的所有细微结构。制样过程比较简单、速度快、成功率高。以一个实例分析、比较了传统制样方法和新的制样方法,突显了"FIB横向切割"技术的优点。
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关键词
透射电子显微镜
样品制备技术
聚焦离子束
动态随机存储器电容
横向切割
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Keywords
TEM
specimen preparation technique
FIB
DRAM capacitor
transverse cut
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名异形全剪力墙结构危楼定向爆破拆除技术
被引量：6
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作者
易克
李高锋
张文杰
李星
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机构
河南省现代爆破技术有限公司
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出处
《工程爆破》
2015年第4期29-32,53,共5页
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文摘
介绍了横向切割与定向爆破综合技术在威海市香威大酒店危楼爆破拆除工程中的应用。通过合理布置横向切割缝,达到了采用较小的爆破切口成功爆破拆除小高宽比楼房的目的。灵活设置飞石防护措施和振动控制措施,确保了周围建筑设施的安全。爆破取得了良好的效果,可为类似工程提供借鉴。
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关键词
横向切割
定向爆破
安全防护
排危
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Keywords
Lateral incision
Directional blasting
Safety protection
Dangerous clearance
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分类号
TU746.5
[建筑科学—建筑技术科学]
TD235
[矿业工程—矿井建设]
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