期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
被引量：
6
1
作者
徐哲
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第1期114-119,共6页
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因...
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
展开更多
关键词
硅微
梳齿式加速度计
温漂
闭环点位置
滞环
在线阅读
下载PDF
职称材料
梳齿式微机械力平衡加速度计
被引量：
12
2
作者
马欣龙
王永梁
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2002年第3期55-60,共6页
讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,...
讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。
展开更多
关键词
微机械系统
梳齿式加速度计
力平衡
惯性仪表
传感器
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
被引量：
6
1
作者
徐哲
刘云峰
董景新
机构
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
总参陆航研究所
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第1期114-119,共6页
基金
总装"十二五"预研项目(513090203**)
文摘
环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
关键词
硅微
梳齿式加速度计
温漂
闭环点位置
滞环
Keywords
comb-finger micromechanical silicon accelerometer
thermal drift
close-loop position
hysteresis
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
梳齿式微机械力平衡加速度计
被引量：
12
2
作者
马欣龙
王永梁
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2002年第3期55-60,共6页
文摘
讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。
关键词
微机械系统
梳齿式加速度计
力平衡
惯性仪表
传感器
Keywords
MEMS
multi-finger microaccelerometer
force balance
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
U666.122 [交通运输工程—船舶及航道工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法
徐哲
刘云峰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
梳齿式微机械力平衡加速度计
马欣龙
王永梁
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2002
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
