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硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析
被引量：
12
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作者
阮爱武
冯培德
郭秀中
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1998年第2期67-72,共6页
介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。
关键词
微机械陀螺仪
梳状静电驱动
压电
驱动
电磁
驱动
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职称材料
单晶硅微构件力学特性片上测试系统
被引量：
4
2
作者
苏才钧
吴昊
+2 位作者
郭占社
孟永钢
温诗铸
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期456-459,共4页
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromec...
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。
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关键词
微电子机械系统
单晶硅
片上测试
静电
梳
状
驱动
器
疲劳
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职称材料
题名
硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析
被引量：
12
1
作者
阮爱武
冯培德
郭秀中
机构
西北工业大学
飞行自动控制研究所
南京航空航天大学
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1998年第2期67-72,共6页
文摘
介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。
关键词
微机械陀螺仪
梳状静电驱动
压电
驱动
电磁
驱动
Keywords
micromachined gyro electrostatic combdrive piezoelectric drive eletromagnetic drive
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
单晶硅微构件力学特性片上测试系统
被引量：
4
2
作者
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期456-459,共4页
基金
国家自然科学基金(50135040)
中国基础研究基金(2003CB716205)
清华大学基础研究基金(Jc2003013)资助~~
文摘
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。
关键词
微电子机械系统
单晶硅
片上测试
静电
梳
状
驱动
器
疲劳
Keywords
Micro-electro-mechanical system
Single-crystal silicon
On-chip testing
Electrostatic comb actuator
Fa-tigue
分类号
TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析
阮爱武
冯培德
郭秀中
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
1998
12
在线阅读
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职称材料
2
单晶硅微构件力学特性片上测试系统
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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职称材料
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