透射电镜强磁场原位样品台的研发及其应用 被引量：1

1

作者 孙鑫 覃家转 +4 位作者 白天 赵之赫 夏卫星 陈仁杰 闫阿儒 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期346-353,共8页

本文介绍了一种可施加水平强磁场的透射电镜样品台。通过降低磁场发生端面沿电子束方向的厚度,实现了增加磁场强度时较小的电子束偏折角度,在施加较强水平磁场的情况下仍然可以清晰地成像。在加速电压为200 kV的透射电镜中能够施加的最... 本文介绍了一种可施加水平强磁场的透射电镜样品台。通过降低磁场发生端面沿电子束方向的厚度,实现了增加磁场强度时较小的电子束偏折角度,在施加较强水平磁场的情况下仍然可以清晰地成像。在加速电压为200 kV的透射电镜中能够施加的最大磁场数值为075 T,远高于国际上现有装置的数值。利用该样品台成功观察了饱和磁场为06 T的AlNiCo磁体样品的磁化过程。 展开更多

关键词 原位磁场样品台 洛伦兹透射电镜 磁畴 铝镍钴

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电子探针的样品台扫描成像技术 被引量：5

2

作者 田地 李艳平 +2 位作者 范国传 王微 于前洋 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期743-746,共4页

用微型计算机与电子探针控制机通讯 ,实现对各道波谱仪和样品台的实时控制 ,以及对各道定标器的数据采集 ;在选定的样品区域上设定采样步长和时间 ,边移动样品台边采集各道 X射线强度 ;用伪彩色、三维视图和内插放大等方式显示图像 ,解... 用微型计算机与电子探针控制机通讯 ,实现对各道波谱仪和样品台的实时控制 ,以及对各道定标器的数据采集 ;在选定的样品区域上设定采样步长和时间 ,边移动样品台边采集各道 X射线强度 ;用伪彩色、三维视图和内插放大等方式显示图像 ,解决了低倍 X射线像失真问题 ,观察到了辉石的隐环带等现象。 展开更多

关键词 电子探针 图像采集 计算机 样品台 扫描成像技术

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高分辨二次离子质谱超高真空样品台的研制 被引量：2

3

作者 杨之青 刘敦一 +2 位作者 房建国 S.W.Clement 单勤 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期408-413,共6页

目前,微束类分析仪器的一次离子束斑越来越精细,直径已达到微米级甚至亚微米级,仪器真空度也已达到稳定的超高真空水平,因此,亟需研制一种与之相匹配的高分辨样品台,提高在超高真空环境下的分辨力及定位精度。新研制的样品台,通过置于... 目前,微束类分析仪器的一次离子束斑越来越精细,直径已达到微米级甚至亚微米级,仪器真空度也已达到稳定的超高真空水平,因此,亟需研制一种与之相匹配的高分辨样品台,提高在超高真空环境下的分辨力及定位精度。新研制的样品台,通过置于真空腔体外部的高精度滑台驱动小型焊接波纹管的伸缩传递三维运动,解决了大尺寸焊接波纹管表面放气及承受较大大气压力的问题;通过使用适用于超高真空的材料和固体润滑、无动态密封,解决了高真空中摩擦偶件的润滑问题。实验数据表明:在40mm行程范围内,运动平台三轴定位重复性为0.94、1.83、0.38μm,分辨力为0.10μm,并已成功地应用在1.19×10-6 Pa超真空环境下。外置的高精度滑台不仅克服了真空电机在真空腔体内发热及绝缘材料放气的问题,而且不需要引入任何电子电气元件及导线,不会在分析腔室内产生电磁干扰,行程不受装置本身的限制。这些特性不仅可满足二次离子质谱仪的要求,也适用于具有高分辨、超高真空环境、无污染要求的其他分析测试仪器。 展开更多

关键词 二次离子探针质谱 三维样品台 超高真空 真空电机 固体润滑

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中子谱仪样品台几何误差建模和灵敏度分析 被引量：2

4

作者 李杨 吴运新 +1 位作者 龚海 刘磊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期2305-2310,共6页

介绍了中子衍射残余应力测试谱仪样品台的结构和基于标准探针的定位测量方法;利用多体运动学和齐次变换矩阵建立了基于标准探针定位测量方法的样品台定位误差模型;最后分别对模型中涉及的42个误差分量进行了定位误差的灵敏度分析。分析... 介绍了中子衍射残余应力测试谱仪样品台的结构和基于标准探针的定位测量方法;利用多体运动学和齐次变换矩阵建立了基于标准探针定位测量方法的样品台定位误差模型;最后分别对模型中涉及的42个误差分量进行了定位误差的灵敏度分析。分析结果对中子衍射残余应力测试谱仪样品台的精度设计具有参考作用。 展开更多

关键词 中子谱仪样品台 定位测量方法 多体动力学 定位误差模型 灵敏度分析

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昆虫专用扫描电镜样品台的制作与应用 被引量：1

5

作者 郭志红 胡加付 +1 位作者 孙玉剑 李海燕 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期667-667,共1页

关键词 昆虫专用扫描电镜样品台 特征部位 特定角度 常规制样方法 昆虫样品 石蜡 制作方法

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样品台热误差的稳健RBF建模方法 被引量：1

6

作者 王凯 李群明 徐舟 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第2期110-115,121,共7页

为提高中子衍射谱仪在残余应力测量过程中的样品定位精度,考虑样品台热误差对定位精度的影响,提出了样品台热误差的稳健RBF建模方法。首先通过热结构有限元仿真分析了样品台温度场及热变形的特点;然后根据样品台运动位置、测量点位置、... 为提高中子衍射谱仪在残余应力测量过程中的样品定位精度,考虑样品台热误差对定位精度的影响,提出了样品台热误差的稳健RBF建模方法。首先通过热结构有限元仿真分析了样品台温度场及热变形的特点;然后根据样品台运动位置、测量点位置、测温点温度变化和测量点热变形的有限元仿真数据,建立了未训练的RBF网络模型;针对建模所用温度数据中存在干扰的问题,在网络训练中以稳健损失函数为目标函数,采用梯度下降法调节隐节点的宽度和权值,最终建立了样品台热误差稳健RBF解析预测模型。仿真结果表明,该建模方法可减少训练样本中温度数据受干扰的影响,提高模型的稳健性,能准确地预测样品台热误差,预测精度小于3μm。 展开更多

关键词 中子谱仪样品台 热误差 建模 有限元仿真 稳健径向基神经网络

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透射电镜样品台移动的自动化设计

7

作者 张兴堂 万绍明 +3 位作者 孙成风 党智强 蒋晓红 郭新勇 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期485-485,共1页

关键词 透射电子显微镜 样品台移动 自动化设计 电路设计

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电子束感生电流样品台

8

作者 赵永生 《电子显微学报》 CAS CSCD 1991年第3期297-300,共4页

我们曾对普通样品台进行了改造,使得电子束感生电流信号(EBIC)的观察简易可行,此方法有四个自由度移动样品,“R”旋钮起开关作用,p—n结的引线接于样品台上。本文在上述研究的基础上加以改进,提出一种实用的电子束感生电流样品台,它解... 我们曾对普通样品台进行了改造,使得电子束感生电流信号(EBIC)的观察简易可行,此方法有四个自由度移动样品,“R”旋钮起开关作用,p—n结的引线接于样品台上。本文在上述研究的基础上加以改进,提出一种实用的电子束感生电流样品台,它解决了前者EBIC信号引出方法的弊端,不需接引线,样品移动不受限制。 展开更多

关键词 电子显微镜 电子流 样品台 改造

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聚焦离子束技术制备超薄TEM样品—X^2样品台的应用 被引量：5

9

作者 贾佳琦 邢远 +1 位作者 史为 贾志宏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期70-74,共5页

聚焦离子束技术在制备TEM样品方面得到了广泛的应用。普通传统的制样减薄方法存在远端薄区极易弯曲和薄区厚度不均匀的问题。针对存在的这些问题本文使用Zeiss公司的X2样品台采取交叉减薄的方法制备一个具有均匀的极薄的TEM样品。本文... 聚焦离子束技术在制备TEM样品方面得到了广泛的应用。普通传统的制样减薄方法存在远端薄区极易弯曲和薄区厚度不均匀的问题。针对存在的这些问题本文使用Zeiss公司的X2样品台采取交叉减薄的方法制备一个具有均匀的极薄的TEM样品。本文主要介绍X2样品台的工作原理和交叉减薄的实验过程,并分析了该方法在制备TEM样品时存在的优缺点以及其独特的适用性。 展开更多

关键词 FIB TEM样品制备 X2样品台

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一种新型冷冻扫描电镜专用样品台的研制及其在小球藻微观形貌表征中应用 被引量：6

10

作者 莫家媚 张少鸿 +1 位作者 苏秋成 刘芬 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期294-300,共7页

本文研制了一种能同时放置多个液体、半液体或粘稠类样品的新型冷冻扫描电镜专用样品台;利用研制的样品台开展了水溶液体系中小球藻微观形貌扫描电子显微学研究,比较了混合膜法和铆钉法两种制样方式对冷冻扫描电镜(Cryo-SEM)法直接观察... 本文研制了一种能同时放置多个液体、半液体或粘稠类样品的新型冷冻扫描电镜专用样品台;利用研制的样品台开展了水溶液体系中小球藻微观形貌扫描电子显微学研究,比较了混合膜法和铆钉法两种制样方式对冷冻扫描电镜(Cryo-SEM)法直接观察水溶液中小球藻形貌的不同效果。结果表明:混合膜法是小球藻以吸附在膜表面的形式后冷冻观察,在-90℃升华10 min,即可将覆盖在小球藻表面的冰晶除去,取得满意的观察效果。铆钉法是小球藻以游离在水溶液的状态下冷冻固定观察,在-90℃升华10 min,小球藻表面皱缩变形,出现细胞脱水现象;在-100℃升华10 min甚至60 min,逐渐显露出更多由玻璃态冰包裹的小球藻,且小球藻形态依然饱满、无塌陷皱缩。本文所研制的样品台不仅可以应用于微藻样品的表面形态和内部结构分析,也可以应用于其它如乳液、凝胶、泡沫等样品进行冷冻扫描电镜分析研究,实用性广。 展开更多

关键词 冷冻扫描电镜 专用样品台 混合膜 铆钉 小球藻

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中子应力谱仪样品台升降机构多柔体力学特性研究 被引量：1

11

作者 李永勃 吴运新 +1 位作者 龚海 李杨 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期127-133,共7页

首先对中子应力谱仪样品台升降机构进行了结构设计;然后用Ansys和Adams联合仿真,建立了样品台升降运动各部件的单独柔性化整机模型和多柔体模型;最后针对升降机构升至最高点、工作台中心沿X轴或Y轴平移时,对单独柔性化整机模型和多柔体... 首先对中子应力谱仪样品台升降机构进行了结构设计;然后用Ansys和Adams联合仿真,建立了样品台升降运动各部件的单独柔性化整机模型和多柔体模型;最后针对升降机构升至最高点、工作台中心沿X轴或Y轴平移时,对单独柔性化整机模型和多柔体模型进行仿真分析。分析结果表明,在滑台中心沿X、Y、Z方向变形量中,Z方向的平均变形量最大,为30.12μm;各方向变形量的主要影响部件各不相同,X方向外圆筒影响最大,占75.8%,Y方向中圆筒影响最大,占91.32%,Z方向内圆筒影响最大,占89.36%;在样品台的8根导轨中,内圆筒与中圆筒间4根导轨受力均匀,中圆筒与外圆筒间4根导轨受力不均匀。为样品台的优化设计改进提供了依据,旨在研制大承重高精度中子应力谱仪样品台,并实现样品台的稳定可靠。 展开更多

关键词 中子应力谱仪样品台 升降机构 多柔体模型 有限元分析

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一种新型冷冻样品台的构建及其在植物样品扫描电镜观测中的应用 被引量：1

12

作者 涂牧东 黄俊峰 +3 位作者 周保范 张军伟 邓霞 李华 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2022年第8期28-32,37,共6页

扫描电子显微镜(SEM)目前广泛应用于各种类型样品的观测,但在含有水分的植物样品的观测上还存在许多问题,比如植物中的水分会蒸发到电镜中,损坏电子枪;而且植物样品在高真空环境下直接观测,或采用干燥法来去除样品中的水分,都会使样品... 扫描电子显微镜(SEM)目前广泛应用于各种类型样品的观测,但在含有水分的植物样品的观测上还存在许多问题,比如植物中的水分会蒸发到电镜中,损坏电子枪;而且植物样品在高真空环境下直接观测,或采用干燥法来去除样品中的水分,都会使样品或多或少发生变形,从而无法得到原始形貌。该文研制了适用于各种常规SEM的新型冷冻样品台,并对其在植物细胞的SEM观测性能进行了研究探讨。对比采用生物样品常规制样方法(临界点干燥法)获得的拟南芥侧根细胞SEM图像,结果发现使用该样品台观测所获得的图像更加准确,避免了临界点干燥法制样引起的样品个别部位的收缩和细胞变形;并且使用该样品台,在高真空、高加速电压下对欧洲千里光幼茎皮层细胞进行观测,样品也表现出了足够的稳定性,没有因高电压发生损害,可满足植物样品较高分辨率的观察需求;使用该样品台,无需对现有常规SEM进行改装,制样简单快速,能有效地提高常规SEM对含有水分的有机生物样的测试能力。 展开更多

关键词 扫描电子显微镜 样品台 植物样品 蓄冷材料

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CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响 被引量：2

13

作者 邓福铭 薄祥 +4 位作者 许晨阳 郝岑 王双 郭振海 解亚娟 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第10期1879-1885,共7页

以CH 3 COCH 3和H 2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用X射线衍射分析YG6硬质合金表面沉积金刚石涂层物相,通过扫描电子显微镜和压痕试验机分析... 以CH 3 COCH 3和H 2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用X射线衍射分析YG6硬质合金表面沉积金刚石涂层物相,通过扫描电子显微镜和压痕试验机分析金刚石涂层的表面形貌、沉积厚度和膜基结合性能,考察了样品台旋转频率对沉积金刚石涂层结构与性能的影响,以确定最佳的样品台旋转频率。结果表明,在固定沉积工艺参数条件下,当样品台的旋转频率为2次/h时,在YG6硬质合金基体上沉积的金刚石涂层具有较优的晶粒和更均匀致密的聚晶结构以及更高的膜-基结合力。 展开更多

关键词 热丝化学气相沉积 金刚石涂层 硬质合金基体 样品台 旋转频率

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扫描电镜自动样品台控制系统 被引量：2

14

作者 刘其武 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第1期76-80,共5页

本文主要从自动样品台控制系统的功能分析、设计原理以及运作过程的角度阐述其开发设计的基本思想与所采用方案,并通过对其性能、结构特点等的介绍表明系统具有相对独立性和扩展性,可对不同的电镜样品台进行改造。

关键词 扫描电子显微镜 样品台控制系统 功能分析

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基于遗传算法的中子谱仪样品台精度分配方法

15

作者 刘香苗 吴运新 龚海 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第12期14-18,共5页

提出了一种基于遗传算法的中子谱仪样品台精度分配方法。首先,对中子谱仪样品台的结构及误差元素进行分析,利用多体系统理论和齐次坐标变换原理建立样品台的几何误差模型;其次,对误差模型中的27项误差项分别进行灵敏度分析及计算;最后,... 提出了一种基于遗传算法的中子谱仪样品台精度分配方法。首先,对中子谱仪样品台的结构及误差元素进行分析,利用多体系统理论和齐次坐标变换原理建立样品台的几何误差模型;其次,对误差模型中的27项误差项分别进行灵敏度分析及计算;最后,基于灵敏度计算结果,通过采用MATLAB软件中的遗传算法工具箱,以制造成本最小为优化目标,对中子谱仪样品台进行精度分配,并且利用蒙特卡洛模拟法验证了精度分配方案的合理性,为中子谱仪样品台的结构及加工工艺设计提供理论依据。 展开更多

关键词 中子谱仪样品台 灵敏度分析 精度分配 遗传算法

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凹面磨坑机样品台的改造

16

作者 王锋 邵贝羚 《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第5期440-442,共3页

在利用电子显微镜进行陶瓷,半导体等材料(包括横断面)的研究工作中,使用凹面磨坑机配合离子减薄仪,制备电镜样品,可以大大缩短制样时间,而且能得到高质量的电镜样品。一般电镜试样制备时,首先将块状样品用金刚石锯或机械方法切成厚度为... 在利用电子显微镜进行陶瓷,半导体等材料(包括横断面)的研究工作中,使用凹面磨坑机配合离子减薄仪,制备电镜样品,可以大大缩短制样时间,而且能得到高质量的电镜样品。一般电镜试样制备时,首先将块状样品用金刚石锯或机械方法切成厚度为200～300μm的薄片,然后,将薄片用胶或腊粘在玻璃片或金属托盘上,用氧化铝或金刚石磨料在平玻璃板上磨到100μm左右,将这样的试样用超声波钻切成Φ3mm的圆形薄片,放入离子减薄仪中减薄,上述的样品一般需减薄20～25小时以上。如果将上述磨好的试样,在放入离子减薄仪之前,用凹面磨坑机,在100μm厚的试样上,磨出凹坑,其坑的底部剩余厚度为20～30μ,如图1所示,对于硬试样。 展开更多

关键词 凹面磨坑机 样品台 电子显微镜

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扫描电镜用于防样品氧化样品台的设计及制备 被引量：1

17

作者 陈茜 李少杰 +2 位作者 丛铁 刘峰 魏丽娟 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期352-357,共6页

扫描电镜是表征材料表面形貌特征的重要分析仪器。部分样品化学活性高,在空气中易氧化影响样品表面微观形貌。本文设计并制备了一种扫描电镜用防样品氧化样品台,使样品从手套箱转移至扫描电镜腔体中不暴露在空气中,有效地保护了样品。... 扫描电镜是表征材料表面形貌特征的重要分析仪器。部分样品化学活性高,在空气中易氧化影响样品表面微观形貌。本文设计并制备了一种扫描电镜用防样品氧化样品台,使样品从手套箱转移至扫描电镜腔体中不暴露在空气中,有效地保护了样品。使用防样品氧化样品台获得的锂电极和钠电极表面形貌明显改善,能谱分析样品表面的氧含量减少。该样品台的制备简单易操作,有效的减缓易氧化样品的氧化速度,且可以根据研究者实验需求更换不同尺寸的样品台。 展开更多

关键词 扫描电镜 易氧化样品 防样品氧化样品台

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从样品台取走被静电吸附的样品的方法和装置

18

《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期70-70,共1页

关键词 专利 株式会社日立制作所 日本 东京 样品台 样品取走方法 装置 静电吸附电压

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中子应力谱仪样品承重台回转支承载荷分析 被引量：2

19

作者 李杨 吴运新 +1 位作者 龚海 张宇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1434-1441,共8页

针对中子应力谱仪样品承重台(简称"中子谱仪样品台")旋转运动机构用三排圆柱滚子回转支承的特殊结构和受载情况,基于Hertz理论,实现了力学分析模型的建立和求解,在此基础上通过有限元法分析了中子谱仪样品台极限工况下滚子与... 针对中子应力谱仪样品承重台(简称"中子谱仪样品台")旋转运动机构用三排圆柱滚子回转支承的特殊结构和受载情况,基于Hertz理论,实现了力学分析模型的建立和求解,在此基础上通过有限元法分析了中子谱仪样品台极限工况下滚子与滚道之间的接触特性,然后分析了轴向载荷、径向载荷、滚子数量对回转支承刚度的影响。研究结果表明:在中子谱仪样品台极限工况下,上排滚子与滚道的接触区域等效应力最大,为76.98MPa,外圈滚道的最大等效应力为14.82MPa,内圈滚道最大等效应力为11.26MPa;刚度分别随轴向载荷、径向载荷和滚子数目的增大而增大,且均成非线性关系,当轴向载荷增至1200kN、径向载荷增至300kN时,轴向刚度和径向刚度增长趋势明显减慢,当上排与下排滚子数量增至170时,轴向刚度的增大趋势明显加快。研究结果为中子谱仪样品台旋转运动机构的设计提供了参考。 展开更多

关键词 中子谱仪样品台 三排圆柱滚子回转支承 Hertz理论 有限元方法

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第五代SHRIMP锆石微区原位氧同位素分析测试方法 被引量：1

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作者 尉鹏飞 耿科 +6 位作者 刘建辉 张岩 李大鹏 蔡娜 张超 刘强 谢伟 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期723-733,共11页

氧同位素分析能够为岩石、热液及矿床形成演化提供重要的成因信息,是岩石学与矿床学研究的强有力工具。二次离子质谱仪(SIMS)以其独特的微区原位优势,广泛应用于锆石等矿物氧同位素分析,往代型号SHRIMP存在三维机械样品台在移动过程中... 氧同位素分析能够为岩石、热液及矿床形成演化提供重要的成因信息,是岩石学与矿床学研究的强有力工具。二次离子质谱仪(SIMS)以其独特的微区原位优势,广泛应用于锆石等矿物氧同位素分析,往代型号SHRIMP存在三维机械样品台在移动过程中发热甚至放气破坏样品腔真空的风险。为了维持样品腔稳定的高真空,保证氧同位素测试精度,本次研究首次利用升级压电陶瓷驱动高真空样品台的第五代高灵敏度、高分辨率二次离子质谱仪(SHRIMPⅤ),建立了氧同位素微区原位分析测试方法。在一次离子强度为3nA,电子枪能量为−1.9keV,束斑大小为25μm,入射狭缝宽度为120μm,^(18)O−和^(16)O−两个接收器狭缝宽度均为300μm的条件下,用锆石标样Temora 2和Qinghu对系统进行调试,获得^(16)O信号强度约为1.2×10^(9)cps,并对标样R33、FC1和Tanz进行了测试。结果表明,标样氧同位素δ^(18)O分析结果与其参考值在误差范围内一致,δ^(18)O单点内在分析精度优于0.30‰(2SE),外在精度优于0.50‰(2SD),测试精度整体与国内外原有SHRIMP相当,验证了仪器准确度、精密度和稳定性。升级高真空样品台后,SHRIMPⅤ样品腔真空度优于2.5×10^(−8)torr(原有SHRIMP为4.0×10^(−8)torr),进一步提高了极限真空及重复定位能力和分辨力,更有利于氧等稳定同位素分析,并为今后传统无水矿物水含量的测试提供了可能。 展开更多

关键词 氧同位素 SHRIMPⅤ 高真空样品台 锆石 微区原位分析方法

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