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MEMS中变截面梁弯曲数学模型的建立
被引量：
6
1
作者
孙江宏
易源霖
+1 位作者
赵秋玲
刘旭
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第22期3061-3065,共5页
在MEMS结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度Kφ和最大挠度尺寸刚度KW表达式...
在MEMS结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度Kφ和最大挠度尺寸刚度KW表达式;对比原设计参数的尺寸刚度,创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式,从而为MEMS结构中梁的设计提供了理论支撑。
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关键词
变截面梁
最大转角
尺寸
刚度
最大挠度尺寸刚度
数学模型
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职称材料
MEMS中变截面梁优化数学模型的建立
被引量：
4
2
作者
易源霖
孙江宏
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期889-893,共5页
MEMS结构中采用变截面梁来降低应力集中的影响。建立变截面梁弯曲和振动的数学模型,对MEMS器件加工工艺提供可靠的理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角、最大挠度和基频不变作为前提条件,分别构建最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸...
MEMS结构中采用变截面梁来降低应力集中的影响。建立变截面梁弯曲和振动的数学模型,对MEMS器件加工工艺提供可靠的理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角、最大挠度和基频不变作为前提条件,分别构建最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸刚度表达式和基频关系式,并结合有限元分析,构建对原设计方案的优化思路,为MEMS中类似结构的设计提供优化方法。
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关键词
MEMS
变截面梁
最大转角
尺寸
刚度
最大挠度尺寸刚度
基频
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职称材料
题名
MEMS中变截面梁弯曲数学模型的建立
被引量：
6
1
作者
孙江宏
易源霖
赵秋玲
刘旭
机构
北京信息科技大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第22期3061-3065,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51275052)
北京市自然科学基金资助重点项目(3131002)
北京市教委科研计划资助重点项目(KZ201311232036)
文摘
在MEMS结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度Kφ和最大挠度尺寸刚度KW表达式;对比原设计参数的尺寸刚度,创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式,从而为MEMS结构中梁的设计提供了理论支撑。
关键词
变截面梁
最大转角
尺寸
刚度
最大挠度尺寸刚度
数学模型
Keywords
micro-electro mechanical system（MEMS）
variable cross-section beam
maximumangle dimension stiffness
maximum deflection dimension sti{fness
mathematical model
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
MEMS中变截面梁优化数学模型的建立
被引量：
4
2
作者
易源霖
孙江宏
机构
北京信息科技大学机电工程学院
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期889-893,共5页
基金
国家自然科学基金(51275052)
北京市自然科学基金重点项目(3131002)
北京市教委科研计划重点项目(KX201311232036)~~
文摘
MEMS结构中采用变截面梁来降低应力集中的影响。建立变截面梁弯曲和振动的数学模型,对MEMS器件加工工艺提供可靠的理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角、最大挠度和基频不变作为前提条件,分别构建最大转角尺寸刚度、最大挠度尺寸刚度表达式和基频关系式,并结合有限元分析,构建对原设计方案的优化思路,为MEMS中类似结构的设计提供优化方法。
关键词
MEMS
变截面梁
最大转角
尺寸
刚度
最大挠度尺寸刚度
基频
Keywords
MEMS
Variable non-uniform beam
Maximum angle dimensions stiffness
Maximum deflection dimensions stiffness
Fundamental frequency
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
MEMS中变截面梁弯曲数学模型的建立
孙江宏
易源霖
赵秋玲
刘旭
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
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职称材料
2
MEMS中变截面梁优化数学模型的建立
易源霖
孙江宏
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
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