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低介电多孔薄膜的制备及形成机制研究被引量：9: 1; 作者徐洪耀王献彪吴振玉《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期104-107,共4页; 利用硅烷偶联剂KH-570(γ-甲基丙烯酰氧基甲氧基硅烷)水解缩合生成的多面低聚倍半硅氧烷(POSS)溶胶为模板剂,经热解制备低介电多孔薄膜材料.使用FTIR对材料制备过程及形成机制进行动态研究,通过29S i NMR、椭偏仪、氮气吸脱附曲线和TEM... 展开更多; 关键词多孔薄膜低介电常数旋转涂布; 在线阅读下载PDF 职称材料

光栅阵列超微粒乳剂涂层厚度控制: 2; 作者喻洪麟陈燕史飞《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期492-493,共2页; 对光栅阵列超微粒乳剂涂布中的涂层厚度控制问题进行了讨论。在大量实验的基础上,提出了一种有效的圆光栅阵列超微粒乳剂涂布新方法。; 关键词光栅阵列超微粒乳剂涂层厚度控制动态旋转涂布方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

金属栅回刻平坦化技术被引量：1: 3; 作者孟令款殷华湘 +2 位作者徐秋霞陈大鹏叶甜春《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期793-797,共5页; 随着CMOS集成电路技术节点缩减到45 nm及以下,高K金属栅(HK/MG)的后栅集成工艺已逐渐成为先进集成电路制造中的主流技术。其中金属栅(假栅)集成结构的平坦化是实现后栅集成的关键技术之一。本文通过特色开发的SOG两步等离子体回刻结合O... 展开更多; 关键词金属栅假栅旋转涂布玻璃等离子回刻平坦化; 在线阅读下载PDF 职称材料

镁合金表面铈多层膜的抗腐蚀性及细胞相容性研究被引量：3: 4; 作者睢晓静蔡开勇《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期53-56,共4页; 利用旋转涂布法在镁合金表面构建了由聚乙烯亚胺(Polyethyleneimine,PEI)、明胶(Gelatin,Gel)和硝酸铈(Cerium nitrate)组成的抗腐蚀性铈多层膜。采用接触角测试仪表征了铈多层膜在镁合金表面的组装过程;利用电化学交流阻抗图谱和极化... 展开更多; 关键词镁合金旋转涂布法铈多层膜抗腐蚀性能细胞相容性; 在线阅读下载PDF 职称材料

防止光盘级聚碳酸酯老化技术的研究被引量：1: 5; 作者高晓霏张立任圣平《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期38-40,44,共4页; 聚碳酸酯材料广泛应用在光盘制造业中。为了提高光盘级聚碳酸酯的耐老化性能,研究了两种表面覆盖层技术,即旋转涂覆薄膜技术和磁控溅射镀膜技术,通过调整试验参数,找到最佳的试验方案,分别在聚碳酸酯表面制备出紫外光固化保护膜和SiO2... 展开更多; 关键词光盘级聚碳酸酯覆盖层技术旋转涂布磁控溅射; 在线阅读下载PDF 职称材料

薄膜光学理论与膜系设计: 6; 《中国光学》 EI CAS 1999年第6期41-43,共3页; O484.1 99063774旋转涂布法制备MoO3变色薄膜的研究=Pho-tochromic behavior of spin coated MoO3 thinfilms[刊,中]/纪学海,杨永安,姚建年（中科院感光化学所.北京（100101））∥感光... 展开更多; 关键词纳米硅薄膜感光化学感光科学多层膜光栅旋转涂布法中科院光致发光谱物理学报真空蒸镀制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低介电多孔薄膜的制备及形成机制研究被引量：9: 1; 作者徐洪耀王献彪吴振玉; 机构安徽大学化学化工学院安徽省绿色高分子材料重点实验室; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期104-107,共4页; 基金国家自然科学基金(批准号:90206014 50472038) +2 种基金安微省高层次优秀人才研究奖励基金(批准号:2004Z027); 文摘利用硅烷偶联剂KH-570(γ-甲基丙烯酰氧基甲氧基硅烷)水解缩合生成的多面低聚倍半硅氧烷(POSS)溶胶为模板剂,经热解制备低介电多孔薄膜材料.使用FTIR对材料制备过程及形成机制进行动态研究,通过29S i NMR、椭偏仪、氮气吸脱附曲线和TEM等对材料的介电性质、孔洞大小和分布情况进行表征.制备的介电多孔薄膜材料孔洞分布均匀、孔径约1 nm,比表面积为384.1 m2/g,介电常数为2.5的低.; 关键词多孔薄膜低介电常数旋转涂布; Keywords POSS Porous film Low dielectric constant Rotary coating; 分类号 O647 [理学—物理化学] O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光栅阵列超微粒乳剂涂层厚度控制: 2; 作者喻洪麟陈燕史飞; 机构重庆大学光电工程学院; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期492-493,共2页; 基金国家自然科学基金资助项目(50079032); 文摘对光栅阵列超微粒乳剂涂布中的涂层厚度控制问题进行了讨论。在大量实验的基础上,提出了一种有效的圆光栅阵列超微粒乳剂涂布新方法。; 关键词光栅阵列超微粒乳剂涂层厚度控制动态旋转涂布方法; Keywords ultramicron emulsion rubberizing method of kineticspinning grating arrays; 分类号 TQ575.23 [化学工程—精细化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属栅回刻平坦化技术被引量：1: 3; 作者孟令款殷华湘徐秋霞陈大鹏叶甜春; 机构中国科学院微电子研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期793-797,共5页; 基金极大规模集成电路制造技术及成套工艺(02专项)(No.2009ZX02035) 国家自然科学基金项目(No.60776030) 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室课题资金资助; 文摘随着CMOS集成电路技术节点缩减到45 nm及以下,高K金属栅(HK/MG)的后栅集成工艺已逐渐成为先进集成电路制造中的主流技术。其中金属栅(假栅)集成结构的平坦化是实现后栅集成的关键技术之一。本文通过特色开发的SOG两步等离子体回刻结合O2原位处理技术,克服了常规反应离子刻蚀中由于聚合物分布不均对刻蚀速度带来的不利影响,实现了隔离绝缘层低达4.19%(边缘去除5 mm)的片内非均匀性。不同稀疏与密集线阵列的亚微米CMOS后栅结构表明良好的平坦化效果并且避免了类似CMP(Chemical Mechanical Polish)工艺中常出现的"碟形效应"问题。所研制成功的无CMP后栅平坦化工艺为制备纳米级高K金属栅CMOS后栅器件打下了重要基础。; 关键词金属栅假栅旋转涂布玻璃等离子回刻平坦化; Keywords Metal gate； Dummy poly； Spin on glass； Plasma etch-back； Planarization; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名镁合金表面铈多层膜的抗腐蚀性及细胞相容性研究被引量：3: 4; 作者睢晓静蔡开勇; 机构重庆大学生物工程学院生物流变科学与技术教育部重点实验室; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期53-56,共4页; 基金重庆市自然科学基金重点项目(CSTC2007BA4004); 文摘利用旋转涂布法在镁合金表面构建了由聚乙烯亚胺(Polyethyleneimine,PEI)、明胶(Gelatin,Gel)和硝酸铈(Cerium nitrate)组成的抗腐蚀性铈多层膜。采用接触角测试仪表征了铈多层膜在镁合金表面的组装过程;利用电化学交流阻抗图谱和极化曲线研究了铈多层膜修饰的镁合金在0.14mol/LNaCl溶液中的抗腐蚀性能;以MTT和碱性磷酸酶考察了铈多层膜修饰镁合金的细胞相容性。结果表明,在镁合金表面形成了铈多层膜结构,铈多层膜表面处理提高了镁合金的抗腐蚀性能和细胞相容性。该表面处理为镁合金植入体的应用提供了新思路。; 关键词镁合金旋转涂布法铈多层膜抗腐蚀性能细胞相容性; Keywords magnesium alloy, spin-assisted layer-by layer（LbL） technique, cerium multilayer, corrosion resistance, cytocompatibility; 分类号 TG146.21 [金属学及工艺—金属材料]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名防止光盘级聚碳酸酯老化技术的研究被引量：1: 5; 作者高晓霏张立任圣平; 机构太原科技大学中国电子科技集团第三十三研究所; 出处《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期38-40,44,共4页; 文摘聚碳酸酯材料广泛应用在光盘制造业中。为了提高光盘级聚碳酸酯的耐老化性能,研究了两种表面覆盖层技术,即旋转涂覆薄膜技术和磁控溅射镀膜技术,通过调整试验参数,找到最佳的试验方案,分别在聚碳酸酯表面制备出紫外光固化保护膜和SiO2保护膜,所制备的两种保护膜表观良好,平滑、致密、有较高的环境适应性能力。覆盖保护膜后的光盘仍能够正常读写和存储信息。; 关键词光盘级聚碳酸酯覆盖层技术旋转涂布磁控溅射; Keywords polycarbonate covering technology lacquer coating magnetron sputtering; 分类号 TQ323.41 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名薄膜光学理论与膜系设计: 6; 出处《中国光学》 EI CAS 1999年第6期41-43,共3页; 文摘 O484.1 99063774旋转涂布法制备MoO3变色薄膜的研究=Pho-tochromic behavior of spin coated MoO3 thinfilms[刊,中]/纪学海,杨永安,姚建年（中科院感光化学所.北京（100101））∥感光科学与光化学.—1998,16（4）.; 关键词纳米硅薄膜感光化学感光科学多层膜光栅旋转涂布法中科院光致发光谱物理学报真空蒸镀制备; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	低介电多孔薄膜的制备及形成机制研究	徐洪耀王献彪吴振玉	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2006	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	光栅阵列超微粒乳剂涂层厚度控制	喻洪麟陈燕史飞	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	金属栅回刻平坦化技术	孟令款殷华湘徐秋霞陈大鹏叶甜春	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	镁合金表面铈多层膜的抗腐蚀性及细胞相容性研究	睢晓静蔡开勇	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	防止光盘级聚碳酸酯老化技术的研究	高晓霏张立任圣平	《塑料》 CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	薄膜光学理论与膜系设计		《中国光学》 EI CAS	1999	0	在线阅读下载PDF 职称材料