数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性

1

作者 曾海峰 李世光 李显杰 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1150-1161,共12页

数字光栅位移测量技术将CMOS相机的像素阵列当作一个“数字化”的光栅,通过构造光学光栅像和数字光栅的周期差,利用微米级的光学光栅像,实现纳米级的位移测量。其可以应用于光刻机的调焦调平传感器中,结合倾斜入射的检测光路,对晶圆表... 数字光栅位移测量技术将CMOS相机的像素阵列当作一个“数字化”的光栅,通过构造光学光栅像和数字光栅的周期差,利用微米级的光学光栅像,实现纳米级的位移测量。其可以应用于光刻机的调焦调平传感器中,结合倾斜入射的检测光路,对晶圆表面高度进行精确测量。在实际测量中,晶圆表面意外出现的图形会干扰光学光栅的反射成像,进而影响图像处理结果。针对上述问题,本文提出一种数字光栅位移测量的工艺适应性方法,以数字光栅周期为单位,对存在干扰图案时的CMOS图像进行光强重建和光强曲线恢复。该方法能在晶圆基底出现较大面积图案时表现出很好的稳定性,且可以适应多种表面缺陷,如划痕、颗粒、污渍和沟槽等。实验结果表明,经图像光强重建后,光强曲线的均方误差大幅减小,修正后的Z向测量误差在±33 nm(±3σ=±41.2 nm)以内。该方法能增强数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性,为调焦调平方法提供技术参考。 展开更多

关键词 调焦调平 数字光栅 位移测量 工艺适应性

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数字光栅地震检波器的若干问题研究 被引量：1

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作者 徐从裕 徐海侠 +1 位作者 罗洋 袁航周 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1048-1052,1,共5页

地震检波器的发展水平已成为衡量油气勘探能力的一个重要标志,以高分辨率和高动态范围著称的光栅地震检波器展示出了强劲的发展前景。针对目前光栅地震波探测研究中发现的影响分辨率和动态范围提高的难点,对数字光栅地震波探测中的若干... 地震检波器的发展水平已成为衡量油气勘探能力的一个重要标志,以高分辨率和高动态范围著称的光栅地震检波器展示出了强劲的发展前景。针对目前光栅地震波探测研究中发现的影响分辨率和动态范围提高的难点,对数字光栅地震波探测中的若干问题进行了研究,提出了数字光栅信号的无失真采样和根据地震波采样数据对数字光栅误差进行同步分离的解决方法。仿真和实验数据均验证了上述方法的有效性,由数字光栅误差引入的地震波探测的谐波失真已经可以忽略不计。 展开更多

关键词 数字光栅 地震波探测 采样方法 误差分离 谐波失真

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数字光栅近红外漫反射法测定复合肥中总磷 被引量：1

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作者 苏彩珠 郑淑云 +3 位作者 陈奕 邱敏敏 陈晓翔 黄文志 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1035-1037,共3页

利用数字光栅近红外漫反射技术快速、简便、穿透能力较强的特点建立复合肥中总磷(五氧化二磷)含量的方法,包括定标、建模、验证和应用试验等。结果表明:(1)检测只需几分钟,而且无需称样和消耗化学试剂。(2)与磷钼酸喹啉重量分析法相比,... 利用数字光栅近红外漫反射技术快速、简便、穿透能力较强的特点建立复合肥中总磷(五氧化二磷)含量的方法,包括定标、建模、验证和应用试验等。结果表明:(1)检测只需几分钟,而且无需称样和消耗化学试剂。(2)与磷钼酸喹啉重量分析法相比,其定标标准偏差为0.13%,定标相关系数为0.995 9;验证标准偏差为0.15,验证相关系数0.994 8;(3)初步应用该法测定52个复合肥样品,预测标准偏差为0.29%,相关系数为0.985 0,与建模和验证结果相近。 展开更多

关键词 近红外漫反射 数字光栅 复合肥 总磷(五氧化二磷)

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数字光栅测振传感器性能分析与测试

4

作者 南忠良 叶声华 +2 位作者 陈宁 李建良 李淑清 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期919-922,共4页

为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动... 为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动态模型.实验证明,光栅测振传感器分辨力可达0.025μm,动态频率误差小于1.5%,振幅误差小于3.8%. 展开更多

关键词 数字光栅测振传感器 性能分析 莫尔条纹 振动测量 数宁信号

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基于数字光栅模板的光变图像形成方法

5

作者 周万根 许忠保 +1 位作者 钟毓宁 苏昊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期822-825,共4页

研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的... 研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形。该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字。 展开更多

关键词 激光直写 数字光栅 空间光调制器 光变图像

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基于改进的自动多曝光和数字光栅投影技术的强反射表面形貌测量 被引量：4

6

作者 雷经发 孙寅 +3 位作者 张淼 李永玲 赵汝海 孙虹 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期138-150,共13页

采用数字光栅投影技术对强反射表面物体进行形貌测量时,由于采集的图像出现局部过明或过暗的现象,造成测量精度下降。基于此,提出一种改进的自动多次曝光图像融合技术,首先通过系统灰度响应曲线确定合适的测量灰度值范围,并根据基准点... 采用数字光栅投影技术对强反射表面物体进行形貌测量时,由于采集的图像出现局部过明或过暗的现象,造成测量精度下降。基于此,提出一种改进的自动多次曝光图像融合技术,首先通过系统灰度响应曲线确定合适的测量灰度值范围,并根据基准点拟合出相机响应函数,计算出所需的曝光时长和次数;其次,将相机采集的不同曝光时长下光栅条纹图像与投射纯白图像下制作的掩膜图像相乘并进行线性变换叠加,采用对数变化提升叠加后光栅条纹图的暗部区域细节;最后通过解相计算出被测物的三维点云数据。实验结果表明,该方法可以准确计算出曝光时长和次数,融合后的图像条纹清晰完整,对于具有强反射表面的标准块、水泵压板护套和回程盘,点云重建率分别达到99.80%、99.20%、99.40%,提高了强反射表面的形貌测量精度。 展开更多

关键词 数字光栅投影 相机响应曲线 图像融合 形貌测量 强反射表面

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数字式光栅测长仪温度测量定标系统 被引量：1

7

作者 孙向荣 聂思敏 陶必修 《工具技术》 北大核心 2007年第11期110-112,共3页

为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高的需要,为数字式光栅测长仪测温系统设计制作了一种高精度多路温度定标系统。根据热传导理论,分析了系统设计的合理性。同时通过实验检测证实了该系统的实用性。该系统具有成本低、精度高、操... 为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高的需要,为数字式光栅测长仪测温系统设计制作了一种高精度多路温度定标系统。根据热传导理论,分析了系统设计的合理性。同时通过实验检测证实了该系统的实用性。该系统具有成本低、精度高、操作方便、易于在现场推广应用等优点。用该系统定标的多路温度测量仪送法定计量部门检定,检定结果表明该系统达到预定的标准。 展开更多

关键词 数字式光栅测长仪 多路温度测量 定标系统 热传导理论

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数字式光栅测长仪温度测量系统 被引量：1

8

作者 孙向荣 聂思敏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第9期24-25,49,共3页

为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高及自动测量的需要,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,对得到的数字量经混频、选频、放大整形后送单... 为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高及自动测量的需要,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,对得到的数字量经混频、选频、放大整形后送单片机处理,处理后送数码管显示,数码管显示的数值即为所测温度值。在保证电路各项性能的条件下,采用尽可能简单的电路,使电路的可靠性得以提高。由于从温度采集到显示都是数字量,所以具有很高的精度及很强的抗干扰能力,且不受电源波动影响。经计量部门检定,测量精度达±0.1℃。在同精度的温度仪中,成本相对很低。 展开更多

关键词 数字式光栅测长仪 温度测量 数字型温度传感器 高精度

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基于光栅式数字测量仪的统计过程控制

9

作者 田茜 茅忠明 王永和 《上海理工大学学报》 CAS 北大核心 2004年第3期262-265,共4页

选用光栅式数字测量仪、工业PC机和数据采集电路组成一个小型系统,对二极管注胶情况进行检测.仪器与计算机之间进行通信,实现数据的传输,PC机采用统计过程控制的方法分析处理数据,做出直方图和均值 极差(x— R)控制图,反映被测对象质量... 选用光栅式数字测量仪、工业PC机和数据采集电路组成一个小型系统,对二极管注胶情况进行检测.仪器与计算机之间进行通信,实现数据的传输,PC机采用统计过程控制的方法分析处理数据,做出直方图和均值 极差(x— R)控制图,反映被测对象质量是否合格的统计规律,不仅实现了对光电二极管注胶的检测功能,而且对改进生产工序、提高产品质量提供了重要的参考信息. 展开更多

关键词 光栅式数字测量仪 统计过程控制 均值-极差控制图

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光栅数字显示装置的原理

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作者 卢柱正 《机电工程》 CAS 1989年第1期24-29,共6页

关键词 光栅数字显示 测长仪

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基于面阵传感技术的圆柱度测量新方法 被引量：3

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作者 郑鹏 张琳娜 +1 位作者 陈明仪 郭红卫 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期771-776,共6页

针对现行圆柱度测量方法的局限性和存在的问题,提出一种基于面阵传感技术的圆柱度测量新方法———多孔径重叠扫描拼接测量。该方法以数字光栅条纹投射技术为单视角测量手段,利用多孔径重叠扫描拼接技术实现各个单视角面形数据的精确融... 针对现行圆柱度测量方法的局限性和存在的问题,提出一种基于面阵传感技术的圆柱度测量新方法———多孔径重叠扫描拼接测量。该方法以数字光栅条纹投射技术为单视角测量手段,利用多孔径重叠扫描拼接技术实现各个单视角面形数据的精确融合拼接,从而获得零件的整个圆柱表面的面阵数据。文中给出圆柱度扫描拼接测量原理、拼接模型及算法,并通过对样品轴实测证明该方法的准确性和可行性。该方法具有非接触、高效、全场的特点,且能够满足新一代GPS(geometrical product specifications,产品几何技术规范)标准的采样要求,从而为圆柱度的精确评定提供可靠的数据信息。 展开更多

关键词 圆柱度 数字光栅投射技术 多孔径拼接技术 GPS(geometrical PRODUCT specifications)标准性

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基于相移原理的便携式岩石三维形貌测量系统 被引量：3

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作者 秦大辉 毛婷 刘建军 《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2012年第4期504-507,共4页

针对岩石表面形貌复杂的特点和测量精度高的要求,提出了一种基于数字光栅相移原理的便携式岩石三维测量技术,该技术由相位移法、外差原理和相位高度映射三部分组成.相位移法和外差原理相结合能够自动完成相位展开,同时保持相移法原有的... 针对岩石表面形貌复杂的特点和测量精度高的要求,提出了一种基于数字光栅相移原理的便携式岩石三维测量技术,该技术由相位移法、外差原理和相位高度映射三部分组成.相位移法和外差原理相结合能够自动完成相位展开,同时保持相移法原有的相位求解精度;然后根据相位展开后的相位图,利用相位高度映射算法来完成岩石的三维形貌测量.利用基于多频外差原理的三维测量技术建立了一套三维测量系统,该系统由一个CCD摄像机和一个数字光栅投影器组成.利用上述系统对一块岩石进行了测量实验,结果表明:该系统能够准确地完成岩石测量. 展开更多

关键词 岩石力学 三维形貌测量 相位移 条纹投影 空间相位展开 时间相位展开 结构光 数字光栅

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基于周期无穷大纵向莫尔条纹的半色调防伪技术研究 被引量：7

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作者 王晓博 王琪 刘萧豪 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期130-134,共5页

目的通过分析莫尔条纹的种类及产生原理,以纵向莫尔条纹效应和半色调加网图像的信息隐藏为理论基础,研究一种半色调图像防伪方法。方法首先对周期无穷大的纵向莫尔条纹的特性及半色调加网图像的网点排列特性进行了分析,结合半色调图像... 目的通过分析莫尔条纹的种类及产生原理,以纵向莫尔条纹效应和半色调加网图像的信息隐藏为理论基础,研究一种半色调图像防伪方法。方法首先对周期无穷大的纵向莫尔条纹的特性及半色调加网图像的网点排列特性进行了分析,结合半色调图像加网参数,得到纵向莫尔条纹参数与数字加网参数之间的匹配关系;再根据各参数之间的关系对半色调加网图像的部分网点进行调整,实现了隐藏信息的嵌入;最后依据上面各参数关系制作数字光栅,对加入防伪信息的半色调图像进行检测,完成了防伪。结果该防伪技术中隐藏信息的隐秘性好,隐藏信息检测再现清晰,防伪效果较好。结论提出了一种半色调图像防伪新方法。 展开更多

关键词 纵向莫尔条纹 半色调 数字光栅 防伪

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基于89C52测温系统在测长仪上的应用 被引量：2

14

作者 孙向荣 聂思敏 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2008年第11期2978-2980,共3页

为满足数字式光栅测长仪测量精度的进一步提高,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,送AT89C52处理。通过AT89C52处理后的温度数值由数码管显示。... 为满足数字式光栅测长仪测量精度的进一步提高,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,送AT89C52处理。通过AT89C52处理后的温度数值由数码管显示。在保证电路各项性能的条件下,采用了尽可能简单的电路,同时提高了温度测量的精度以及抗干扰能力,且不受电源波动影响。经法定计量部门检定,测量精度达±0.1℃。在同精度的测温仪中,成本相对很低。 展开更多

关键词 数字式光栅测长仪 温度测量 数字型温度传感器 精度 单片机

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