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掺钛类金刚石膜的微观结构研究
被引量：
13
1
作者
林松盛
代明江
+3 位作者
侯惠君
李洪武
朱霞高
林凯生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期418-421,共4页
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行...
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。
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关键词
掺钛类金刚石膜
微观结构
离子源
非平衡磁控溅射
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职称材料
题名
掺钛类金刚石膜的微观结构研究
被引量：
13
1
作者
林松盛
代明江
侯惠君
李洪武
朱霞高
林凯生
机构
广州有色金属研究院材料表面工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期418-421,共4页
文摘
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。
关键词
掺钛类金刚石膜
微观结构
离子源
非平衡磁控溅射
Keywords
Ti-DLC, Microstructure, Ion source, Unbalanced magnetron sputtering
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
掺钛类金刚石膜的微观结构研究
林松盛
代明江
侯惠君
李洪武
朱霞高
林凯生
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
13
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