硅微振动轮式陀螺仪的研究 被引量：6

1

作者 罗晓章 张燕娥 +1 位作者 吴本寿 周百令 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1998年第6期146-149,共4页

论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．

关键词 硅微振动轮式陀螺仪 微型惯性器件 误差 灵敏度 测试电路 制作工艺 结构组成

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振动轮式微机械陀螺仪数学模型及工作状况分析 被引量：10

2

作者 谈振藩 罗跃生 李康 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期33-36,共4页

介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简... 介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简化 ,得到了近似解 . 展开更多

关键词 振动轮式微机械陀螺仪 欧拉动力学方程 数学模型 工作状况

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振动轮式微机械陀螺动态特性的光学测试 被引量：6

3

作者 蒋明 何小元 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期295-299,共5页

建立了基于高速摄像技术、显微技术与数字图像处理技术的光学测试系统。配有光学显微镜的高速摄像设备(32000 frame/s)记录并保存被测物瞬时序列图像,根据被测物的角振动特性设计相应的图像处理方法以获得振子各时刻的运动位移,并通过... 建立了基于高速摄像技术、显微技术与数字图像处理技术的光学测试系统。配有光学显微镜的高速摄像设备(32000 frame/s)记录并保存被测物瞬时序列图像,根据被测物的角振动特性设计相应的图像处理方法以获得振子各时刻的运动位移,并通过位移时间曲线分析振子的固有频率、阻尼系数及品质因子等动态特性参数。实验结果显示,频率测量误差<0.01%。高精度地测量了振动轮式微机械陀螺的动态特性,为微结构动态特性的研究提供了一个有效方法。 展开更多

关键词 高速摄像 图像处理 振动轮式微机械陀螺 固有频率 品质因子

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振动轮式微机械陀螺动力学方程、振动模态及其灵敏度分析 被引量：3

4

作者 蒋军彪 冯培德 徐建东 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第3期48-52,共5页

介绍了一种新的振动轮式微机机械陀螺仪的结构及工作原理 ,详细推导了该陀螺的动力学方程 ,分析了其运动规律 ,并建立了该陀螺的三维有限元模型 ,给出了前其四阶模态振型 。

关键词 振动轮式微机械陀螺 动力学方程 三维有限元模型 振动模态 灵敏度

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硅微型两自由度振动轮式陀螺仪原理分析 被引量：2

5

作者 苏岩 王寿荣 周百令 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第6期56-59,共4页

首次提出了２ 种两自由度振动轮式陀螺仪新结构．详细分析了陀螺仪工作原理，推导了陀螺仪动力学方程．介绍了电容信号器和力矩器的工作原理．

关键词 振动轮式陀螺仪 硅微型陀螺仪 二自由度陀螺仪

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硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的研究 被引量：1

6

作者 苏岩 王寿荣 +3 位作者 裘安萍 周百令 杨拥军 李立杰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期55-58,共4页

本文详细介绍了一种利用微电子加工工艺制作的硅微型两自由度振动轮式陀螺仪的新结构 ,分析了该种陀螺仪的工作原理 ,推导了陀螺仪动力学方程 ,并讨论了梳状谐振器的工作机理和陀螺仪模拟力反馈的闭环控制方案 ;

关键词 振动轮式陀螺仪 梳状谐振器 电容信号器 硅微型

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一种振动轮式微机械陀螺仪的特性研究 被引量：2

7

作者 董煜茜 高钟毓 张嵘 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第2期39-45,共7页

微机械惯性仪表具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点，国际上已有许多报导［１］－［５］。我们研制了一种振动轮式微机械陀螺仪［６］。本文主要针对这种微机械陀螺仪的特性进行研究：设计和研究了陀螺的检测系统、检测轴固有... 微机械惯性仪表具有成本低、可靠性高、体积小、重量轻等优点，国际上已有许多报导［１］－［５］。我们研制了一种振动轮式微机械陀螺仪［６］。本文主要针对这种微机械陀螺仪的特性进行研究：设计和研究了陀螺的检测系统、检测轴固有频率补偿回路，推导出了此类陀螺检测输入角速度的灵敏度、开环和闭环传递函数、交流反馈控制提取同相分量和抑制正交分量的原理，以及闭环控制改善动态测量频带的方法。本文的最后给出了该陀螺原理样机的初步试验结果。 展开更多

关键词 微机械陀螺仪 振动轮式速率陀螺 空间角速度传感器 静电力再平衡回路

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振动轮式微机械陀螺频率配置和气压选择 被引量：1

8

作者 陈志勇 高钟毓 张嵘 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2001年第3期53-56,共4页

推导了振动轮式微机械陀螺的输出信号与输入角速度的幅频、相频关系 ,讨论了在不同的频率配置和品质因数下陀螺的灵敏度、带宽和零位稳定性。陀螺振动频率应设计在 2 k Hz左右 ,检测轴自然频率比驱动轴高一个陀螺频带宽度。根据实测陀... 推导了振动轮式微机械陀螺的输出信号与输入角速度的幅频、相频关系 ,讨论了在不同的频率配置和品质因数下陀螺的灵敏度、带宽和零位稳定性。陀螺振动频率应设计在 2 k Hz左右 ,检测轴自然频率比驱动轴高一个陀螺频带宽度。根据实测陀螺振动品质因数与气压的关系曲线 ,振动轮式微机械陀螺合适的工作气压是 1 0 0 Pa～ 1 0 0 0 展开更多

关键词 微机械陀螺 自然频率 品质因数 振动轮式 频率配置 气压选择 振动模态 输出信号 输入角速度 工作气压

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振动轮式微机械陀螺仪微分方程模型的建立 被引量：10

9

作者 罗跃生 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第3期16-19,共4页

介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图。利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的基座与驱动轮之间的夹角θ和驱动轮与... 介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图。利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的基座与驱动轮之间的夹角θ和驱动轮与外框架之间的夹角 φ 的关系的一个微分方程模型 ,并对这个微分方程数学模型进行了简化。 展开更多

关键词 陀螺仪 振动轮式微机械陀螺仪 微分方程 欧拉动力学方程

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振动轮式微机械陀螺仪模态控制方法研究 被引量：1

10

作者 周顺 凌林本 +1 位作者 周百令 王寿荣 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期50-54,共5页

振动轮式微机械陀螺仪存在两个主要的工作模态 :驱动模态和敏感模态。本文研究了敏感模态反馈控制环节对系统工作性能的影响。提出刚度、阻尼组合反馈的模态控制思想 ,探讨了利用刚度反馈控制敏感模态的固有谐振频率 ,利用阻尼反馈控制... 振动轮式微机械陀螺仪存在两个主要的工作模态 :驱动模态和敏感模态。本文研究了敏感模态反馈控制环节对系统工作性能的影响。提出刚度、阻尼组合反馈的模态控制思想 ,探讨了利用刚度反馈控制敏感模态的固有谐振频率 ,利用阻尼反馈控制系统检测范围的多参量控制方法 ;并对敏感模态中刚度反馈校正环节和阻尼反馈的校正环节进行了详细的分析 ,建立了系统对两个校正环节在增益和相位上的要求。 展开更多

关键词 振动轮式 微机械陀螺仪 刚度反馈 模态控制

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改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究 被引量：1

11

作者 周顺 张燕娥 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第4期30-33,共4页

以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。

关键词 微机械陀螺仪 梳状电极驱动 振动轮式 硅 悬浮力

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微机械轮式角振动陀螺气体阻尼特性研究 被引量：2

12

作者 陈奥运 凤瑞 +2 位作者 庄须叶 徐大诚 郭述文 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期54-58,共5页

轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型。利用有限差分算法求解极坐标系下雷诺方程,建立了敏感模态... 轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型。利用有限差分算法求解极坐标系下雷诺方程,建立了敏感模态压膜阻尼简化分析模型。在5 Pa到10~5Pa压强范围内,进行了简化分析模型计算,同时对计算结果进行了与ANSYS仿真结果的比对。理论模型计算与仿真结果表明,敏感模态压膜阻尼是轮式角振动陀螺气体阻尼的主要产生机制。进而,从结构设计和控制电路的角度,给出了减小气体阻尼效应的有效方法。 展开更多

关键词 微机械轮式角振动陀螺 滑膜阻尼 压膜阻尼 品质因数

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微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究 被引量：4

13

作者 曾辉 周百令 +1 位作者 苏岩 夏敦柱 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第3期32-34,共3页

以单自由度硅微振动轮式陀螺仪的检测动极板为控制对象,系统的结构特性决定了只能选择反馈控制方式对其进行控制。为实现这种控制对控制系统进行建模以及设计合适的校正环节。反馈方式控制的应用可以有效地改善系统的动态特性和稳态特... 以单自由度硅微振动轮式陀螺仪的检测动极板为控制对象,系统的结构特性决定了只能选择反馈控制方式对其进行控制。为实现这种控制对控制系统进行建模以及设计合适的校正环节。反馈方式控制的应用可以有效地改善系统的动态特性和稳态特性。加入校正环节后的系统幅值和相角裕度分别达到了17.5dB和57.3°,这为实际的应用提供了指导。 展开更多

关键词 硅微振动轮式陀螺仪 微机械 反馈控制

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