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大亚湾核电站微电子系统的防雷保护 被引量:2
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作者 关建军 《广东电力》 2003年第2期34-36,49,共4页
针对大亚湾核电站计算机、通信和仪表控制系统(统称"微电子系统")的防雷保护问题,从分析雷害侵入途径和防止微电子系统设备雷害事故发生的防护措施入手,通过防雷接地系统的检测结果,对大亚湾核电站微电子系统设备、厂房防雷... 针对大亚湾核电站计算机、通信和仪表控制系统(统称"微电子系统")的防雷保护问题,从分析雷害侵入途径和防止微电子系统设备雷害事故发生的防护措施入手,通过防雷接地系统的检测结果,对大亚湾核电站微电子系统设备、厂房防雷设施等的状况进行了分析和评价。以典型雷害事件为例,分析了大亚湾核电站微电子系统设计、施工等方面存在的问题,并介绍了对系统进行改造的情况。 展开更多
关键词 大亚湾核电站 微电子系统 防雷保护 防雷接地系统 氧化锌避雷器
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汽车、工业和通信电子设备中的微电子系统进一步微型化
2
《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期708-708,共1页
2013年8月21日,研究和开发高度集成的系统级封装解决方案的欧洲最大研究项目已圆满完成。ESiP(高效硅多芯片系统级封装集成)项目合作伙伴已研制出更紧凑、更可靠的未来系统级封装解决方案。项目组还开发出简化分析和试验的方法。在英... 2013年8月21日,研究和开发高度集成的系统级封装解决方案的欧洲最大研究项目已圆满完成。ESiP(高效硅多芯片系统级封装集成)项目合作伙伴已研制出更紧凑、更可靠的未来系统级封装解决方案。项目组还开发出简化分析和试验的方法。在英飞凌的带领下,来自9个欧洲国家的40家合作伙伴——包括微电子企业和研究机构——参与了该合作研究。 展开更多
关键词 通信电子设备 微电子系统 微型化 系统级封装 汽车 工业 合作伙伴 高度集成
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天津大学微波太赫兹波微电子系统实验室启用仪式暨太赫兹测量与应用论坛成功举行
3
《电子测量技术》 2013年第12期131-131,共1页
2013年,11月14日-由天津大学和罗德与施瓦茨公司联合举办的“天津大学微波太赫兹微电子系统实验室启用仪式暨太赫测量与应用论坛”在天津大学会议楼第八会议室成功举办。
关键词 微电子系统 太赫兹波 天津大学 实验室 论坛 应用 测量 微波
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微电子机械系统的力学特性与尺度效应 被引量:25
4
作者 梅涛 孔德义 +1 位作者 张培强 伍小平 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期373-379,共7页
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了... 针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 硅材料 尺度效应 微执行器 微机器人 微机械 力学特性
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基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 被引量:9
5
作者 赵本刚 徐静 +2 位作者 高翔 刘玉菲 吴亚明 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期89-94,共6页
光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置... 光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果,并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明:温度补偿后,温度变化±50K时测试误差为0.2%,400A、2000A电流下的灵敏度分别为0.001dB/A与0.09dB/A,说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。 展开更多
关键词 光学电流传感器 微电子机械系统 扭转微镜 温度补偿 耦合损耗
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微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究 被引量:8
6
作者 王丛舜 张为斌 +3 位作者 方竞 崔云俊 沈健 昌盛 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期503-506,共4页
力电耦合是大多数微电子机械系统 (尤其是以静电驱动的微机械 )的重要特征。文中采用有限元 (FEM )结合边界元 (BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题 ,利用自行研制的程序给出了几种典型构件 (平行板、悬臂梁和固支梁 )的分析结... 力电耦合是大多数微电子机械系统 (尤其是以静电驱动的微机械 )的重要特征。文中采用有限元 (FEM )结合边界元 (BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题 ,利用自行研制的程序给出了几种典型构件 (平行板、悬臂梁和固支梁 )的分析结果 ,并同其他商业软件 (ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较。同时 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 力电耦合 残余应力 阈值电压
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微电子机械系统中微尺度热物性研究进展 被引量:12
7
作者 余隽 唐祯安 魏广芬 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期465-470,共6页
微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 ... 微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 )与常规材料显著不同。设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应 ,并使用合理的热物性参数值 ,才能保证微电子机械系统的热稳定性。本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展。 展开更多
关键词 微尺度 薄膜 热物性参数 微电子机械系统
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微电子机械系统在生物医学领域中的应用 被引量:10
8
作者 马建旭 王立鼎 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第1期1-6,共6页
本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发... 本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景。 展开更多
关键词 微电子机械系统 生物医学 血管检测系统
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一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法 被引量:3
9
作者 贾书海 李以贵 +1 位作者 朱军 孙潇 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期589-592,共4页
提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针.通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方... 提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针.通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性.这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置.文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的.实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造. 展开更多
关键词 微电子机械系统 微针 同步辐射 光刻
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应用于微电子机械系统中多孔硅的研究 被引量:3
10
作者 崔梦 胡明 +2 位作者 雷振坤 窦雁威 田斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1728-1730,共3页
针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐蚀前期阶段基本是一定值(电流密度为80mA/cm2时为1.3μm/min,... 针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐蚀前期阶段基本是一定值(电流密度为80mA/cm2时为1.3μm/min,电流密度为40 mA/cm2时为0.4μm/min),但到腐蚀后期阶段随着孔深的增加有所下降.同时发现对于不同的腐蚀电流密度,多孔硅的孔隙率都有随腐蚀时间的延长先增加后降低的趋势,用Beale模型可以很好的解释这一现象.最后,针对多孔硅在制备后易发生龟裂的现象,用拉曼光谱分析了多孔硅的内部应力情况,结果表明随多孔硅孔隙率的上升其内部残余应力有增加的趋势. 展开更多
关键词 多孔硅 微电子机械系统 腐蚀速率 孔隙率 残余应力
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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术 被引量:3
11
作者 何小元 康新 +1 位作者 衡伟 黄庆安 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期447-451,共5页
介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .... 介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .1微米。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微电子 光测力学
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微电子机械系统 被引量:12
12
作者 王跃林 苏以撒 王文 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期37-42,共6页
本文对国外微电子机械系统(MEMS)的研究现况作了评述。介绍了MEMS的主要技术和它的应用情况,对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析,最后就我国MEMS的发展提出了一些建议。
关键词 微电子机械系统 微机械
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微电子机械系统的尺寸效应 被引量:4
13
作者 韩光平 刘凯 王秀红 《西安理工大学学报》 CAS 2004年第2期145-148,共4页
针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同,阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念,讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理... 针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同,阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念,讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应,提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应,为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点。 展开更多
关键词 微电子机械系统 尺寸效应 相对性 绝对性 微机械
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微电子机械系统尺寸效应的泛函分析 被引量:3
14
作者 韩光平 刘凯 褚金奎 《机械设计》 CSCD 北大核心 2004年第2期17-19,共3页
尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面 ,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上 ,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应 ,建立了一个尺寸效应的基本数学模型 ,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵... 尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面 ,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上 ,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应 ,建立了一个尺寸效应的基本数学模型 ,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 尺寸效应 泛函分析 灵敏度 微器件
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先进制造:将虚拟现实技术与快速原形技术应用于微电子机构系统设计 被引量:2
15
作者 赵新 卢桂章 +1 位作者 李明 陆斌 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1999年第4期15-19,共5页
提出了用虚拟现实技术实现MEMS的快速原形设计的思想,并具体给出了虚拟环境中的实现步骤。核心是在虚拟环境中实现MEMS器件的部件设计,拟实组装,拟实运行。进一步,构建了虚拟现实实验平台;并在此平台上实现了微马达和微泵... 提出了用虚拟现实技术实现MEMS的快速原形设计的思想,并具体给出了虚拟环境中的实现步骤。核心是在虚拟环境中实现MEMS器件的部件设计,拟实组装,拟实运行。进一步,构建了虚拟现实实验平台;并在此平台上实现了微马达和微泵的拟实运行及一个拟实组装的例子。 展开更多
关键词 虚拟现实 快速原形设计 微电子机械系统 组装
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材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象 被引量:1
16
作者 邓忠民 谢季佳 +1 位作者 周承恩 洪友士 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期511-515,共5页
磨损是材料和机械失效的主要原因之一。本文介绍了近年来材料磨损性能研究的进展 ,磨损的几种破坏机制以及相应的磨损理论模型 ,并介绍了MEMS中磨损研究的现状。
关键词 磨损 微电子机械系统 研究现状 材料
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一种微电子机械系统共振器的非线性自由振动 被引量:1
17
作者 陈运生 杨国来 杭燚 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期515-519,共5页
该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,... 该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,这对相应的共振器设计具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 微电子机械系统 共振器 非线性 自由振动
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微/纳米级微电子机械系统制造新技术 被引量:1
18
作者 王振宇 成立 祝俊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期27-33,共7页
论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。
关键词 微电子机械系统 微机械 制造技术 微细加工
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微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究 被引量:1
19
作者 王彤宇 潘毓学 +1 位作者 吴一辉 贾宏光 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期228-230,共3页
本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4~ 10 - 7Nm .同... 本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4~ 10 - 7Nm .同时 ,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪 ,并对其中的两项关键技术—非接触微力制动和微力自动加载进行了论述 。 展开更多
关键词 微致动器 微力矩 非接触测量 微电子机械系统
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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术 被引量:3
20
作者 王渭源 王跃林 《中国工程科学》 2002年第6期56-62,共7页
对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽... 对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。 展开更多
关键词 体硅键合技术 薄膜密封技术 微电子机械系统 封装技术 芯片
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