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微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述 |
宋宇
张海霞
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《太赫兹科学与电子信息学报》
北大核心
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2018 |
9
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2
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浅谈MEMS技术——(微电子机械系统) |
Mike Dale
魏巍
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《汽车维修与保养》
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2002 |
0 |
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X波段Si基片集成脊波导MEMS环行器 |
汪蔚
李志东
田松杰
高纬钊
刘博达
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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4
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X波段MEMS硅腔折叠基片集成波导环行器芯片 |
高纬钊
杨拥军
汪蔚
翟晓飞
周嘉
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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5
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微电子机械系统的研究进展 |
李炳乾
朱长纯
刘君华
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《国外电子元器件》
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2001 |
12
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6
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碳化硅材料在微电子机械系统中的应用 |
刘肃
唐莹
李思渊
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《微纳电子技术》
CAS
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2002 |
1
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7
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微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究 |
钱鸣镝
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《集成电路应用》
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2017 |
1
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8
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硅腔体MEMS环行器的设计与制作 |
李倩
汪蔚
杨拥军
杨志
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《微纳电子技术》
北大核心
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2017 |
5
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9
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Ku频段Si基异质集成MEMS表面贴装型环行器 |
汪蔚
翟晓飞
李倩
杨拥军
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《微纳电子技术》
北大核心
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2019 |
4
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10
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基于MEMS水听器的水下探测系统设计与实现 |
裴嘉裕
张国军
荆博原
柳燕
张文栋
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
1
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11
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一种小体积MEMS传感器数据记录仪 |
尚义航
赵凯明
段俊萍
张斌珍
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《微纳电子技术》
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2025 |
0 |
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12
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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用 |
杨真
陈靖元
张朕泽
祝梦娇
黄家宝
孙学成
雷冲
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《微纳电子技术》
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2025 |
0 |
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用于双极化T/R组件的X~Ku波段MEMS环行隔离组件的设计 |
周嘉
汪蔚
高纬钊
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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MEMS CAD系统IMEE的研究和开发 |
张海霞
郭辉
肖志勇
周荣春
郝一龙
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
5
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15
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基于MEMS技术的三维集成射频收发微系统 |
祁飞
杨拥军
杨志
汪蔚
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《微纳电子技术》
北大核心
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2016 |
10
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16
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基于MEMS工艺的微机械失效分析研究进展 |
王振禄
张九娥
董丽梅
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《半导体技术》
CSCD
北大核心
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2017 |
4
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17
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MEMS振动传感器快速自动标定系统 |
李博
王娟
沈路
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2013 |
1
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L波段硅基多层堆叠MEMS耦合器 |
汪蔚
李志东
王伟强
周嘉
武亚宵
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计 |
马平
唐小萍
杨春利
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《电子工业专用设备》
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2003 |
2
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20
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MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势 |
徐向阳
刘斌
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《汽车电器》
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2003 |
2
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