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1
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微电子机械系统和片式系统 |
王祁
王劲松
迟晓珠
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《传感器技术》
CSCD
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1999 |
0 |
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2
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可调谐MEMS-VCSEL微桥梁制备及其应力的影响 |
朱鲁江
孙玉润
张琪
于淑珍
董建荣
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《半导体技术》
北大核心
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2025 |
0 |
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3
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《微电子机械系统》 |
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《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
0 |
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4
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基于MEMS工艺的微机械失效分析研究进展 |
王振禄
张九娥
董丽梅
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《半导体技术》
CSCD
北大核心
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2017 |
4
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5
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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计 |
刘召军
李坤
李云超
胡旭文
闫树斌
张彦军
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《半导体技术》
CAS
北大核心
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2019 |
1
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6
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基于MEMS技术的三维集成K波段四通道T/R微系统 |
刘星
夏俊颖
薛梅
李晓林
王嘉
赵宇
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《半导体技术》
CAS
北大核心
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2023 |
0 |
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7
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基于硅基MEMS工艺的Ka波段四通道短砖式三维集成T/R微系统 |
杨栋
赵宇
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《半导体技术》
CAS
北大核心
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2023 |
4
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8
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基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展 |
彭杰纲
周兆英
叶雄英
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《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
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2005 |
27
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9
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MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析 |
潘龙丽
石云波
周智君
尚晓亮
刘俊
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
14
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10
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基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片 |
佟建华
刘梦伟
崔岩
王兢
崔天宏
王立鼎
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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2006 |
6
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11
|
国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用 |
亢春梅
曹金名
刘光辉
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《传感器技术》
CSCD
北大核心
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2002 |
17
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12
|
梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析 |
李荣冰
刘建业
林雪原
华冰
刘瑞华
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《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
4
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13
|
SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展 |
崔梦
胡明
严如岳
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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2004 |
7
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14
|
MEMS中薄膜热物性测试方法研究 |
唐祯安
黄正兴
顾毓沁
朱德忠
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《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
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2003 |
3
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15
|
MEMS微针研究 |
贾书海
李以贵
朱军
孙潇
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《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
3
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16
|
通信领域中的MEMS器件及发展动态 |
谌贵辉
张万里
彭斌
蒋洪川
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《电讯技术》
北大核心
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2004 |
5
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17
|
微尺度热科学及其在MEMS中的应用 |
王沫然
李志信
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《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
2002 |
11
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18
|
纳米压入法MEMS材料力学性能测量与评定标准化的初步设想 |
赵则祥
王海容
蒋庄德
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《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2001 |
4
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19
|
串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究 |
侯智昊
刘泽文
胡光伟
刘理天
李志坚
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2008 |
3
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20
|
MEMS薄膜应力研究 |
田文超
贾建援
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《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
7
|
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