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1
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一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法 |
贾书海
李以贵
朱军
孙潇
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《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2007 |
3
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2
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微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述 |
宋宇
张海霞
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《太赫兹科学与电子信息学报》
北大核心
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2018 |
9
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3
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微电子机械系统 |
王跃林
苏以撒
王文
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1995 |
12
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4
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微电子机械系统中的若干固体力学问题 |
张向军
孟永钢
温诗铸
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《力学与实践》
CSCD
北大核心
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2003 |
3
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5
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微电子机械系统的研究进展 |
李炳乾
朱长纯
刘君华
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《国外电子元器件》
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2001 |
12
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6
|
微/纳米级微电子机械系统制造新技术 |
王振宇
成立
祝俊
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
1
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7
|
微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究 |
王彤宇
潘毓学
吴一辉
贾宏光
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《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
1
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8
|
碳化硅材料在微电子机械系统中的应用 |
刘肃
唐莹
李思渊
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《微纳电子技术》
CAS
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2002 |
1
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9
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微电子机械系统(MEMS)在光通信中的应用及其研究动态 |
胡军武
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《电信科学》
北大核心
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1999 |
6
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10
|
微电子机械系统键合强度检测方法研究进展 |
李仁锋
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2009 |
2
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11
|
微电子机械系统在相控阵天线中的应用 |
张光义
赵玉洁
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《电子机械工程》
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2004 |
12
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12
|
微电子机械系统及硅微机械加工工艺 |
洪永强
蒋红霞
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《电子工艺技术》
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2003 |
9
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13
|
晶圆键合技术与微电子机械系统新进展 |
葛劢冲
赵晓东
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《电子工业专用设备》
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2004 |
4
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14
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基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺 |
王权岱
段玉岗
丁玉成
卢秉恒
张亚军
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《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
0 |
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15
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下世纪初微电子机械系统的发展 |
李栓庆
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《半导体情报》
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1997 |
3
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16
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微电子机械系统的发展与应用 |
胡雪梅
王宏颖
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《西安航空技术高等专科学校学报》
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2006 |
0 |
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17
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微电子机械系统及其应用 |
陈佳品
吴智政
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《电子机械工程》
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1996 |
0 |
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18
|
微电子机械系统 |
李拴庆
付士萍
|
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
4
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19
|
射频微电子机械系统的发展与展望 |
袁明文
|
《半导体情报》
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2001 |
0 |
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20
|
微电子机械系统的发展及未来 |
乔希竹
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《光电子技术》
CAS
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2000 |
1
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