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聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法被引量：2: 1; 作者王哲邢汝博 +1 位作者韩艳春李滨耀《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期946-948,共3页; 光刻蚀技术[1]是微电子加工技术中最成功的一种, 但由于受到光学衍射等的限制, 100 nm是光刻蚀的极限, 为此人们探索了许多先进的刻蚀技术[2,3], 如超紫外线刻蚀(EUV)、软X射线刻蚀、电子束刻蚀和聚焦离子束刻蚀(FIB)等, 可制作尺寸小于... 展开更多; 关键词转移微模塑弹性软模板聚合物三维微图案加工光刻蚀技术微电子加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型硅谐振式压力传感器的研制被引量：7: 2; 作者陈德勇崔大付 +2 位作者王利于中尧韩泾鸿《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期49-51,共3页; 利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,线性相关... 展开更多; 关键词微电子机械加工技术硅谐振梁压力传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械氮化硅梁谐振式压力传感器被引量：4: 3; 作者陈德勇崔大付 +1 位作者于中尧王利《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期543-547,共5页; 报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ... 展开更多; 关键词微电子机械加工技术氮化硅梁谐振式压力传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型的光寻址电位传感器研究被引量：2: 4; 作者韩泾鸿徐磊 +1 位作者张虹顾丽波《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1385-1388,共4页; 依据光寻址电位传感器 (LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论 ,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计 ,在正面光照方式的测量池、插件式芯片和硅尖阵列芯片等方面具有创新性 .新型LAPS的光电流信号比背面照射的提高了 4倍 ;在检... 展开更多; 关键词光寻址电位传感器(LAPS) 微电子机械加工技术(MEMS) 阵列芯片光电流; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景被引量：7: 5; 作者许国祯《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1998年第1期60-68,共9页; 本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。; 关键词惯性仪表微米/纳米技术微电子机械加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

建在硅片上的微型燃料电池: 6; 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期64-65,共2页; 关键词硅片微型燃料电池集成电路微电子加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法被引量：2: 1; 作者王哲邢汝博韩艳春李滨耀; 机构中国科学院长春应用化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期946-948,共3页; 基金中国科学院"百人计划" 中国科学院知识创新工程方向性项目(批准号:KGCX2-205-03) +2 种基金吉林省杰出青年科学基金(批准号:20010101)资助; 文摘光刻蚀技术[1]是微电子加工技术中最成功的一种, 但由于受到光学衍射等的限制, 100 nm是光刻蚀的极限, 为此人们探索了许多先进的刻蚀技术[2,3], 如超紫外线刻蚀(EUV)、软X射线刻蚀、电子束刻蚀和聚焦离子束刻蚀(FIB)等, 可制作尺寸小于100 nm的图形, 但普遍存在加工速度慢及成本高等缺点.; 关键词转移微模塑弹性软模板聚合物三维微图案加工光刻蚀技术微电子加工技术; Keywords Microtransfer molding Micropatterning Elastomeric stamp; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型硅谐振式压力传感器的研制被引量：7: 2; 作者陈德勇崔大付王利于中尧韩泾鸿; 机构中国科学院电子学研究所; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期49-51,共3页; 文摘利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,线性相关系数 0 .9999,测试精度优于 0 .1%FS。; 关键词微电子机械加工技术硅谐振梁压力传感器; Keywords MEMS technology silicon resonant beam pressure sensor; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械氮化硅梁谐振式压力传感器被引量：4: 3; 作者陈德勇崔大付于中尧王利; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期543-547,共5页; 文摘报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,灵敏度 2 3.8Hz kPa。; 关键词微电子机械加工技术氮化硅梁谐振式压力传感器; Keywords MEMS technology SiN beam Resonant pressure sensor; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH－39 [机械工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型的光寻址电位传感器研究被引量：2: 4; 作者韩泾鸿徐磊张虹顾丽波; 机构中国科学院电子学研究所; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1385-1388,共4页; 基金国家自然科学基金 (No .60 30 2 0 0 2 No .699360 1 0 No .90 30 70 1 4 ); 文摘依据光寻址电位传感器 (LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论 ,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计 ,在正面光照方式的测量池、插件式芯片和硅尖阵列芯片等方面具有创新性 .新型LAPS的光电流信号比背面照射的提高了 4倍 ;在检测标准缓冲溶液pH4 0 0、pH6 86、pH9 18的pH值时 ,线性相关系数 0 9999,灵敏度为 5 0 1mV/pH .重复检测pH9 18标准缓冲溶液四次的标准偏差和变异系数分别为 0 5 7mV、0 0 4 8% .最后 ,分析讨论了三电极测量方法和新型LAPS结构特色、以及LAPS电解质电导对光电流的影响等 .; 关键词光寻址电位传感器(LAPS) 微电子机械加工技术(MEMS) 阵列芯片光电流; Keywords LAPS MEMS array chip photocurrent; 分类号 TN29 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景被引量：7: 5; 作者许国祯; 机构中国航空信息中心研究部; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1998年第1期60-68,共9页; 文摘本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。; 关键词惯性仪表微米/纳米技术微电子机械加工技术; Keywords inertial sensor micro/nano technology MEMT(Micro Electro Mechannical Technology); 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名建在硅片上的微型燃料电池: 6; 出处《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期64-65,共2页; 关键词硅片微型燃料电池集成电路微电子加工技术; 分类号 TM911.4 [电气工程—电力电子与电力传动] TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法	王哲邢汝博韩艳春李滨耀	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微型硅谐振式压力传感器的研制	陈德勇崔大付王利于中尧韩泾鸿	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2001	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微机械氮化硅梁谐振式压力传感器	陈德勇崔大付于中尧王利	《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种新型的光寻址电位传感器研究	韩泾鸿徐磊张虹顾丽波	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景	许国祯	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	1998	7	在线阅读下载PDF 职称材料
6	建在硅片上的微型燃料电池		《现代化工》 CAS CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料