MEMS矢量水听器定位误差分析与测试 被引量：2

1

作者 宋小鹏 张丛 +3 位作者 赵玉林 尹彦梅 石归雄 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期930-934,共5页

针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛... 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试,测出x向灵敏度为0.683mV/g(其中g为重力加速度),y向灵敏度为0.755mV/g,两个方向上灵敏度相对误差为9.5%,与仿真结果接近。 展开更多

关键词 矢量水听器 微机械电子(mems) 误差 纤毛

在线阅读 下载PDF 职称材料

面向MEMS的微细加工技术 被引量：18

2

作者 罗均 谢少荣 龚振邦 《电加工与模具》 2001年第5期1-6,共6页

MEMS技术将是 2 1世纪科技与产业的制高点之一 ,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上 ,又发展了灰调光刻、Lift Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术。本文综述了目前国内... MEMS技术将是 2 1世纪科技与产业的制高点之一 ,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上 ,又发展了灰调光刻、Lift Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术。本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况 。 展开更多

关键词 微机械 mems 微细加工技术 微电子机械系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MEMS与Android智能手机融合的室内个人导航算法 被引量：3

3

作者 张会清 许潇民 代汝勇 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期729-735,共7页

针对微机电系统(micro-electro mechanical system,MEMS)惯性器件在导航解算中存在较大的累积误差问题,提出了一种基于MEMS惯性器件与Android智能手机融合的室内个人导航算法.导航算法在捷联惯性导航算法的基础上,根据人行走时的运动特... 针对微机电系统(micro-electro mechanical system,MEMS)惯性器件在导航解算中存在较大的累积误差问题,提出了一种基于MEMS惯性器件与Android智能手机融合的室内个人导航算法.导航算法在捷联惯性导航算法的基础上,根据人行走时的运动特点,引入了零速度检测与修正算法来检测人行走过程中的静止状态,并对行人静止时刻的速度和位置信息进行校正,以降低累积误差.导航解算中由于陀螺仪漂移导致获得的行人运动方向角误差较大,故采用MEMS陀螺仪输出姿态信息与Android智能手机中的电子罗盘方向角融合的行人运动方向校正算法来获取行人运动方向,并结合滑动均值滤波算法来进一步校正行人的运动方向,提高导航精度.最后通过实验结果验证了导航累积误差修正算法的可行性和有效性. 展开更多

关键词 微机电系统(mems) 室内定位 智能手机电子罗盘 零速度修正 方向角融合

在线阅读 下载PDF 职称材料

Smart Sensor与MEMS

4

作者 向勇 李玲霞 +1 位作者 胡明 谢道华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期4-6,共3页

讨论了SmartSensor与MEMS的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。

关键词 传感器 智能化 集成化 mems 微机械电子系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作

5

作者 韩励想 滑伟 +1 位作者 马建设 苏萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3107-3113,共7页

通过微电子机械技术(MEMS)在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的步进投影式拼接光刻,适合石英基材的专用等离子耦合刻蚀(ICP)干法刻蚀技术,特殊的物理清洗方法,以及相... 通过微电子机械技术(MEMS)在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的步进投影式拼接光刻,适合石英基材的专用等离子耦合刻蚀(ICP)干法刻蚀技术,特殊的物理清洗方法,以及相关的多项辅助工艺。透镜理想面形横截面曲线为分段抛物线,每一片由23个柱状结构单元周期横向排列构成,采用等深度不等宽度的4台阶结构拟合,单元宽度约为2.966mm。在4in(10.16cm)圆片上,获得了单片尺寸为68mm×68mm的方形透镜。采用接触式台阶仪,扫描电子显微镜(SEM),高倍光学显微镜等方法进行不同阶段检测。结果显示:台阶平面精度为0.4μm,垂直精度为30nm,有非常好的立墙陡直度和刻蚀均匀性。此工艺方案可实现小规模批量生产,成本适中,可以直接用于制作6in(15.24cm)以上同等级要求的石英透镜,经适当改进也可用于蓝宝石等基底材料的制作。 展开更多

关键词 微电子工艺 光刻 全息透镜 等离子耦合干法刻蚀 微机电系统(mems)

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS光开关的控制 被引量：3

6

作者 何锋 何海 王航 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期24-25,31,共3页

从实际应用角度出发,首先简要介绍了MEMS光开关的构造与驱动方式,然后着重描述了如何通过软硬件的设计对MEMS光开关实施控制以达到对光路进行任意切换的目的。

关键词 mems 光开关 光通信 光电子系统 微机电系统 控制原理

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于DSP和MEMS的人体动作识别系统

7

作者 李懿 羊彦 《科学技术与工程》 2011年第2期257-260,273,共5页

为解决现有虚拟训练软件的人体动作输入设备沉浸感和训练效果不足的问题,采用DSP和微机电系统(MEMS)构建人体动作识别系统。该系统应用MEMS器件为核心构建微惯性测量单元(MIMU)模块,模块的DSP芯片完成传感器数据采集和人体姿态解算。实... 为解决现有虚拟训练软件的人体动作输入设备沉浸感和训练效果不足的问题,采用DSP和微机电系统(MEMS)构建人体动作识别系统。该系统应用MEMS器件为核心构建微惯性测量单元(MIMU)模块,模块的DSP芯片完成传感器数据采集和人体姿态解算。实验结果表明系统样机在动态活动测试中运行稳定可靠,动态解算精度在1°以内,可准确测量人体动作,满足虚拟训练要求。该研究提供了一种新型的虚拟训练软件的硬件输入设备,具有一定的市场价值。 展开更多

关键词 虚拟训练软件 动作识别 微机电子位(mems) 数字信号处理(Digital SIGNAL Processing DSP)

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于EMD的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法 被引量：17

8

作者 李文华 汪立新 +1 位作者 沈强 李成 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1927-1932,共6页

为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用... 为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用模态集合选择标准将IMF分为噪声IMF、噪声与信号混合IMF和信号IMF三类;然后,对混合IMF进行重构、时间序列建模及自适应卡尔曼滤波(AKF);最后,将3类信号重构,实现MEMS陀螺仪信号去噪。实验表明:所提方法有更好的去噪效果和实时性,提高了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多

关键词 微机械电子系统(mems)陀螺仪 自适应卡尔曼滤波(AKF) 时间序列模型 ALLAN方差 经验模态分解(EMD)

在线阅读 下载PDF 职称材料

微机械加工技术在微传感器中的应用 被引量：7

9

作者 胡明 马家志 +1 位作者 邹俊 张之圣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第4期268-270,302,共4页

随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。

关键词 微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 mems 各向异性腐蚀 多晶硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

微机械陀螺的发展现状 被引量：37

10

作者 李新刚 袁建平 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期289-301,共13页

随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸... 随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点,其精度正不断得到提高,应用领域也随之不断扩大.本文首先简要介绍了微机械陀螺的定义及特征、性能指标、工作原理、分类以及加工技术,随后对己出现的不同类型微机械陀螺的结构、加工方式、工作原理以及性能进行了综述,最后对微机械陀螺的商业化现状以及发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 微机械陀螺 发展现状 微电子机械系统 mems 结构特点 工作原理 加工方法 哥氏加速度 汽车

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于铝基含能配合物及CL-20含能微芯片的制备及表征

11

作者 孟珂娟 马小霞 +1 位作者 李宇翔 张开黎 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期438-444,I0004,共8页

为提高含能微芯片的能量特性和燃烧特性,推进其在微推进器、微驱动器、微毁伤器等装置中的应用,通过在铜箔上原位生长含能配位聚合物(ECP)、电子束沉积n-Al及重结晶CL-20的方法制备了ECP@Al@CL-20的含能阵列,采用SEM、XRD、TG/DSC及高... 为提高含能微芯片的能量特性和燃烧特性,推进其在微推进器、微驱动器、微毁伤器等装置中的应用,通过在铜箔上原位生长含能配位聚合物(ECP)、电子束沉积n-Al及重结晶CL-20的方法制备了ECP@Al@CL-20的含能阵列,采用SEM、XRD、TG/DSC及高速摄影等表征方法对其微观形貌、物相组成、热分解特性、燃烧性能及贮存寿命进行了测试与分析。在此基础上,将其与微机电系统(MEMS)集成制得了功能性的ECP@Al@CL-20含能微芯片,并对含能微芯片进行了电容点火测试。结果表明,由于ECP的导热系数低,使ECP@Al@CL-20含能阵列从外到内的传热效率降低,导致放热峰温相比纯CL-20提高了8.5℃,从而提高了ECP@Al@CL-20的热稳定性;ECP@Al@CL-20含能阵列具有优异的燃烧性能,自持燃烧时间(340 ms)远大于ECP@Al的自持燃烧时间(120 ms),含能微芯片可在15 mJ的输入能量下激发。 展开更多

关键词 含能配位聚合物 微机电系统 纳米铝 CL-20 微加热器 含能微芯片 ECP mems

在线阅读 下载PDF 职称材料

汽车轮胎压力监控传感器研究 被引量：4

12

作者 张兆华 岳瑞峰 +1 位作者 谭智敏 刘理天 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期191-192,共2页

轮胎压力监视系统TPMS是一种重要的汽车安全用电子信息系统,它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测,在轮胎漏气或者轮胎气压值过低过高时进行报警,提示驾驶人员及早采取必要的措施,以保障行车安全.分析了轮胎压力监控... 轮胎压力监视系统TPMS是一种重要的汽车安全用电子信息系统,它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测,在轮胎漏气或者轮胎气压值过低过高时进行报警,提示驾驶人员及早采取必要的措施,以保障行车安全.分析了轮胎压力监控系统的原理及各种不同的解决方案,研究并分析了一种新型的轮胎压力监控传感器. 展开更多

关键词 汽车电子 轮胎压力监控系统(TPMS) 压力传感器 微机电系统(mems)

在线阅读 下载PDF 职称材料

纳米功能材料的进展和趋势 被引量：11

13

作者 张立德 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期1-4,共4页

最近报道纳米材料在纳米科学技术领域取得了令人瞩目的新成就，预示了纳米材料和技术在信息、医药、环境、能源和生物技术等领域的应用存在着巨大的潜力。

关键词 纳米功能材料 微机械电子系统 mems 微囊诊断探测器 纳米芯片

在线阅读 下载PDF 职称材料

微器件装配系统与关键技术 被引量：5

14

作者 李云平 龙志峰 +2 位作者 李庆祥 王晓晔 薛实福 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第3期1-6,共6页

微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。

关键词 微系统 微装配 mems 微机械电子学

在线阅读 下载PDF 职称材料

微通道塑料薄膜的挤出工艺及应用前景 被引量：2

15

作者 曹佳培 郑素霞 许忠斌 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期114-116,122,共4页

为了加工内含平行中空的微米级直径通道的塑料薄膜,通过塑料薄膜、中空纤维和泡沫塑料相结合的方法,研究了微通道塑料薄膜的挤出工艺与设备,设计了装有气体或液体夹带器的特殊缝隙口模。分析了特殊结构塑料薄膜的性能与应用前景,该产品... 为了加工内含平行中空的微米级直径通道的塑料薄膜,通过塑料薄膜、中空纤维和泡沫塑料相结合的方法,研究了微通道塑料薄膜的挤出工艺与设备,设计了装有气体或液体夹带器的特殊缝隙口模。分析了特殊结构塑料薄膜的性能与应用前景,该产品在微型换热器、微型反应器等微机械、传感器、生物医学以及包装等诸多领域具有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 微通道薄膜 MCF 挤出成型 微机械 微电子机械系统(mems)

在线阅读 下载PDF 职称材料