微机械加工技术在微传感器中的应用 被引量：7

1

作者 胡明 马家志 +1 位作者 邹俊 张之圣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第4期268-270,302,共4页

随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。

关键词 微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 MEMS 各向异性腐蚀 多晶硅

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GaAs基微机械加工技术 被引量：6

2

作者 张斌珍 李科杰 +2 位作者 张文栋 薛晨阳 陈建军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期481-484,共4页

为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性。概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工... 为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性。概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工工艺进行了举例分析,并介绍了国内首次制作的GaAs基MEMS微结构,为GaAsMEMS的进一步发展奠定了基础。 展开更多

关键词 微电子机械系统 微机械加工技术 砷化镓

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微机械加工技术在传感器制作中的应用 被引量：5

3

作者 张巧云 吕志清 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第2期140-144,F004,共6页

讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性、必然性。介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。

关键词 微机械加工技术 传感器 制作 微电子电路

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硅基微机械加工技术 被引量：5

4

作者 袁明权 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期6-10,共5页

阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。

关键词 硅基 微机电系统 微机械加工技术 陀螺仪

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日本用表面微机械加工技术制备成功集成热释电红外传感器阵列 被引量：1

5

作者 高国龙 《红外》 CAS 2010年第7期48-48,共1页

日本丰桥理工大学的研究人员利用表面微机械加工技术首次在外延γ-Al_2O_3/Si衬底上制备出一种带有nMOS/nJFET器件的集成热释电红外传感器阵列。由于热释电和铁电薄膜的取向及结晶度控制对获取高灵敏度热释电红外探测器非常重要,为了把... 日本丰桥理工大学的研究人员利用表面微机械加工技术首次在外延γ-Al_2O_3/Si衬底上制备出一种带有nMOS/nJFET器件的集成热释电红外传感器阵列。由于热释电和铁电薄膜的取向及结晶度控制对获取高灵敏度热释电红外探测器非常重要,为了把它们控制好, 展开更多

关键词 热释电红外探测器 传感器阵列 微机械加工技术 集成 制备 表面 日本 SI衬底

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新的用于微系统的硅微机械加工技术(下)

6

作者 P.J.French 贡树行 《红外》 CAS 2000年第6期34-40,共7页

2.5 MELO(合并外延横向过度生长法) 标准的外延沉积将在单晶和非单晶的两种衬底上形成一层硅膜。附加的沉积气体HCl对沉积生长的硅有腐蚀作用。如果一块晶片包含硅和氧化物两个区域,那么沉积的硅在硅片区域将生长成一层单晶硅,而在氧化... 2.5 MELO(合并外延横向过度生长法) 标准的外延沉积将在单晶和非单晶的两种衬底上形成一层硅膜。附加的沉积气体HCl对沉积生长的硅有腐蚀作用。如果一块晶片包含硅和氧化物两个区域,那么沉积的硅在硅片区域将生长成一层单晶硅,而在氧化物上将生长成非均匀的多晶硅晶粒。由于氧化物上的这种多晶晶粒的表面积很大,因此它们很容易被HCl腐蚀而去除掉。 展开更多

关键词 微系统 硅微机械加工技术 MELO 多孔硅

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微机械加工技术及其在传感器中的应用

7

作者 齐向前 《河南科技》 2013年第4期113-113,共1页

作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术,微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性,受到了社会的普遍关注和重视,包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此,本文对微机械加工... 作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术,微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性,受到了社会的普遍关注和重视,包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此,本文对微机械加工技术及其在传感器中的应用问题进行了研究,希望通过本文的工作为这一技术的应用提供一定的可供借鉴的信息。 展开更多

关键词 微机械加工技术 传感器 应用

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硅微机械加工技术

8

《中国集成电路》 2007年第2期94-94,共1页

本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀，硅片键合，表面微机械加工，硅的各向同性湿法化学腐蚀，

关键词 硅微机械加工技术 湿法化学腐蚀 表面微机械加工 微加工技术 各向异性 硅片键合 各向同性

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硅微机械加工技术

9

《电子工程师》 2006年第12期57-57,共1页

微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿... 微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。 展开更多

关键词 硅微机械加工技术 湿法化学腐蚀 微电子机械系统 表面微机械加工 微加工技术 等离子腐蚀 微电子技术 加工方法

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微机电系统的加工技术及其研究进展 被引量：6

10

作者 黄良甫 贾付云 《真空与低温》 2003年第1期1-5,共5页

简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况。

关键词 微机电系统 微机械加工技术 微机械

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跨世纪的新技术——微机械

11

作者 张薇 贾智 《职业技术教育》 北大核心 1998年第8期48-49,共2页

关键词 微机械加工技术 微电机 微型机械 微细加工技术 制作技术 微机械学 微处理器 结构设计 新技术 研究机构

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一种新型微机械陀螺的研究 被引量：2

12

作者 熊斌 黄小振 +1 位作者 王跃林 王渭源 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第9期38-41,共4页

设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺。这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联。计算结果表明 ,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为 14 0。同时 ... 设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺。这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联。计算结果表明 ,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为 14 0。同时 ,计算结果还表明可以获得比较平坦的较大带宽。采用硅 玻璃键合和深反应离子刻蚀技术制作了这种器件。 展开更多

关键词 硅 微机械陀螺 微机械加工技术 深反应粒子刻蚀 玻璃 键合

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热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响 被引量：1

13

作者 董良 岳瑞峰 +2 位作者 刘理天 徐扬 李志坚 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期508-513,共6页

将 CMOS工艺和微机械加工技术相结合 ,制作出悬空式微桥支撑、薄膜支撑以及无悬空结构的微机械多晶硅薄膜电阻。通过对样品的电阻温度系数 ( TCR)和电流 ( I) -电压 ( V)特性的测量 ,研究了热隔离程度。

关键词 热环境 微机械多晶硅薄膜电阻 CMOS工艺 微机械加工技术 电阻温度系数 电学特性

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硅电容压力传感器敏感器件的研究 被引量：7

14

作者 张治国 褚斌 +6 位作者 李颖 孙海玮 祝永峰 林洪 刘沁 匡石 陈信琦 《微纳电子技术》 CAS 2004年第11期39-42,共4页

研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。

关键词 压力传感器 电容 升级 通用 批量 器件 微机械加工技术 封装 量化 基座

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电容式微传声器的制备研究新进展 被引量：3

15

作者 宁瑾 刘忠立 赵慧 《电子器件》 CAS 2002年第1期9-13,共5页

本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具... 本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具体情况优化电极形状和尺寸 。 展开更多

关键词 电容式微传声器 微机械加工技术 制备

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微型传感器及纳米传感器 被引量：4

16

作者 武俊齐 《半导体情报》 1998年第3期22-28,共7页

综述了微型传感器及纳米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。

关键词 微型传感器 纳米传感器 微机械加工技术

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MEMS加速度传感器的原理及分析 被引量：44

17

作者 张海涛 阎贵平 《电子工艺技术》 2003年第6期260-262,265,共4页

主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速... 主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。 展开更多

关键词 硅微机械加工技术 加速度传感器 封装

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