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硅微振动陀螺仪设计与性能测试被引量：14: 1; 作者贾方秀裘安萍 +1 位作者施芹苏岩《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1272-1281,共10页; 介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测。利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构。为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空... 展开更多; 关键词硅微振动陀螺仪真空封装自激驱动温度补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微振动陀螺仪驱动器自激驱动研究被引量：14: 2; 作者王存超苏岩王寿荣《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期364-366,370,共4页; 为了提高硅微机械陀螺仪的检测精度,稳定驱动振动速度的幅度和频率,采用了硅微机械陀螺仪自激驱动方式。该方式能够使驱动振动自动稳定在陀螺仪驱动模态的谐振频率上。同时,采用自动增益控制(AGC)保持恒定的驱动振动幅度。根据自激驱动... 展开更多; 关键词硅微振动陀螺仪自激驱动模态; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于新颖自适应方法的微振动陀螺仪研究被引量：1: 3; 作者杨玉正费峻涛《控制工程》 CSCD 北大核心 2011年第4期576-579,共4页; 针对微振动陀螺仪存在的制造误差以及本身参数易受环境影响,从而导致输入角速率难以测量的问题,提出了一种新颖的自适应方法来获取输入的角速率以及微陀螺仪的各项参数。该方法通过对微陀螺仪的数学模型进行变换,设计出一种新型的自适... 展开更多; 关键词微振动陀螺仪自适应在线辨识李雅普诺夫方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微振动轮式陀螺仪的研究被引量：6: 4; 作者罗晓章张燕娥 +1 位作者吴本寿周百令《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1998年第6期146-149,共4页; 论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．; 关键词硅微振动轮式陀螺仪微型惯性器件误差灵敏度测试电路制作工艺结构组成; 在线阅读下载PDF 职称材料

壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响被引量：1: 5; 作者王寿荣《传感器技术》 CSCD 1999年第1期13-15,共3页; 分析了壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响，导出并分析了不平衡摆性误差和正交不平衡误差。; 关键词硅微机械微角振动陀螺仪加速度壳体陀螺仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微角振动陀螺仪温度特性补偿方法研究被引量：5: 6; 作者余磊徐大诚郭述文《传感器与微系统》 CSCD 2015年第11期26-29,共4页; 在研究硅微角振动陀螺结构和温度特性的基础上,创建了二元高阶多项式补偿模型,并设计了基于STM32F405的硬件补偿电路,实现该陀螺仪实时温度补偿。实验结果表明:温度补偿后的标度因数温度系数和全温零偏稳定性分别由344×10-6/℃和44... 展开更多; 关键词硅微角振动陀螺仪温度补偿标度因数温度系数全温零偏稳定性; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电驱动下振梁微陀螺仪的性能分析被引量：2: 7; 作者李伟杨晓东张伟《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第4期742-749,共8页; 研究了一种末端带有检测质量块的单轴静电悬臂梁式微陀螺仪。检测质量块受到两个固定电极的耦合作用,这两个电极均连接直流电压以使质量块产生较大的静态变形。在驱动方向上的电极还受到交流电压的作用,驱动质量块产生主振动。当有旋转... 展开更多; 关键词振动微陀螺仪悬臂梁动态分析固有频率校正曲线; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究被引量：4: 8; 作者曾辉周百令 +1 位作者苏岩夏敦柱《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第3期32-34,共3页; 以单自由度硅微振动轮式陀螺仪的检测动极板为控制对象,系统的结构特性决定了只能选择反馈控制方式对其进行控制。为实现这种控制对控制系统进行建模以及设计合适的校正环节。反馈方式控制的应用可以有效地改善系统的动态特性和稳态特... 展开更多; 关键词硅微振动轮式陀螺仪微机械反馈控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振动陀螺仪设计与性能测试被引量：14: 1; 作者贾方秀裘安萍施芹苏岩; 机构南京理工大学MEMS惯性技术研究中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1272-1281,共10页; 基金国家自然科学青年基金资助项目(No.61201391) 中国人民解放军总装备部预研基金资助项目(No.9140A09022309BQ02); 文摘介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测。利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构。为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空封装技术实现了器件级真空封装,并消除了轴向加速度等共模干扰的影响。陀螺电路采用自激闭环驱动、开环检测的方式,简化了电路。为了降低环境温度对陀螺零偏的影响,研究了既定范围内陀螺的输出特性,建立了陀螺输出与温度之间的关系模型,设计了温度补偿电路,降低了陀螺整表的功耗和体积。对采用上述技术的硅微陀螺仪进行了性能测试,测试结果表明,陀螺Q值>100 000,量程为±500(°)/s,标度为21.453mV.(°)-1s-1,非线性和对称性分别为36.905×10-6和184.125×10-6。常温下陀螺零偏稳定性为7.714 3(°)/h,带宽为100Hz,整表体积为31mm×31mm×12mm,功耗为288mW。该陀螺仪性能好、体积小、功耗低,在中等精度的惯性导航系统中有较好的应用前景。; 关键词硅微振动陀螺仪真空封装自激驱动温度补偿; Keywords micro machined vibratory gyroscope vacuum packaging self-oscillation-driven temperature compensation; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计] V666.123 [航空宇航科学技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振动陀螺仪驱动器自激驱动研究被引量：14: 2; 作者王存超苏岩王寿荣; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期364-366,370,共4页; 文摘为了提高硅微机械陀螺仪的检测精度,稳定驱动振动速度的幅度和频率,采用了硅微机械陀螺仪自激驱动方式。该方式能够使驱动振动自动稳定在陀螺仪驱动模态的谐振频率上。同时,采用自动增益控制(AGC)保持恒定的驱动振动幅度。根据自激驱动电路原理和现有的陀螺样品,建立了陀螺仪驱动动力学方程的等效电路模型。设计、制作了自激驱动电路,仿真和实验结果表明该方法切实可行。; 关键词硅微振动陀螺仪自激驱动模态; Keywords silicon micromachined vibratory gyroscope self-excited driving mode; 分类号 TP371 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于新颖自适应方法的微振动陀螺仪研究被引量：1: 3; 作者杨玉正费峻涛; 机构河海大学计算机与信息学院; 出处《控制工程》 CSCD 北大核心 2011年第4期576-579,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(61074056) 江苏省自然科学基金资助项目(BK2010201); 文摘针对微振动陀螺仪存在的制造误差以及本身参数易受环境影响,从而导致输入角速率难以测量的问题,提出了一种新颖的自适应方法来获取输入的角速率以及微陀螺仪的各项参数。该方法通过对微陀螺仪的数学模型进行变换,设计出一种新型的自适应辨识器,在线实时更新微陀螺仪角速率估计值。估计值的自适应律基于李雅普诺夫方法设计,保证了辨识器的全局渐近稳定性。在控制输入包含2个不同频率分量的的条件下,辨识器的各项估计值输出都能够渐近收敛到各自的真值。采用M atlab/simu link来搭建仿真模型,仿真实验的结果验证了该自适应方法对微陀螺仪角速率等各项参数测量的有效性和可靠性。; 关键词微振动陀螺仪自适应在线辨识李雅普诺夫方法; Keywords vibratory gyroscope adaptive on-line identifier Lyapunov methods; 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振动轮式陀螺仪的研究被引量：6: 4; 作者罗晓章张燕娥吴本寿周百令; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1998年第6期146-149,共4页; 基金国防科技预研基金; 文摘论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．; 关键词硅微振动轮式陀螺仪微型惯性器件误差灵敏度测试电路制作工艺结构组成; Keywords vibrating wheel micromechanical gyro miniature inertial instrument error sensitivity; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程] V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响被引量：1: 5; 作者王寿荣; 机构东南大学仪器系; 出处《传感器技术》 CSCD 1999年第1期13-15,共3页; 文摘分析了壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响，导出并分析了不平衡摆性误差和正交不平衡误差。; 关键词硅微机械微角振动陀螺仪加速度壳体陀螺仪; Keywords Silicon micromechanical angular vibrating gyroscope Acceleration Error; 分类号 V241.554 [航空宇航科学与技术—飞行器设计] TH824.401 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微角振动陀螺仪温度特性补偿方法研究被引量：5: 6; 作者余磊徐大诚郭述文; 机构苏州大学微纳传感技术研究中心; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2015年第11期26-29,共4页; 基金国家自然基金重点资助项目(61434003); 文摘在研究硅微角振动陀螺结构和温度特性的基础上,创建了二元高阶多项式补偿模型,并设计了基于STM32F405的硬件补偿电路,实现该陀螺仪实时温度补偿。实验结果表明:温度补偿后的标度因数温度系数和全温零偏稳定性分别由344×10-6/℃和441°/h减小为12.6×10-6/℃和40.6°/h,使得该陀螺仪的温度特性有明显改善,验证了该补偿方法的有效性和可行性。; 关键词硅微角振动陀螺仪温度补偿标度因数温度系数全温零偏稳定性; Keywords silicon micro angular vibration gyroscope temperature compensation temperature coefficients of scale factor stability of full-temperature zero bias; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电驱动下振梁微陀螺仪的性能分析被引量：2: 7; 作者李伟杨晓东张伟; 机构北京工业大学机电学院机械结构非线性振动与强度北京市重点实验室; 出处《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第4期742-749,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(11672007) 北京市自然科学基金资助项目(3172003)。; 文摘研究了一种末端带有检测质量块的单轴静电悬臂梁式微陀螺仪。检测质量块受到两个固定电极的耦合作用,这两个电极均连接直流电压以使质量块产生较大的静态变形。在驱动方向上的电极还受到交流电压的作用,驱动质量块产生主振动。当有旋转发生时,在垂直于主振动的敏感方向上质量块会受到科氏力而产生1个二次振动,通过测得二次振动的幅值大小便可以测得角速度。首先,依据Hamilton原理建立了振梁微陀螺仪的控制方程,研究了旋转悬臂梁的两个横向耦合振动。其次,分析了多种参数对微陀螺仪静态变形的影响,并求得了系统前2阶固有频率。研究发现不同参数对系统固有频率的影响规律,并讨论了系统驱动和敏感方向上的动力学放大效应及其校正曲线。; 关键词振动微陀螺仪悬臂梁动态分析固有频率校正曲线; Keywords vibrating micro-gyroscope cantilever beam dynamic analysis natural frequency calibration curve; 分类号 O326 [理学—一般力学与力学基础]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究被引量：4: 8; 作者曾辉周百令苏岩夏敦柱; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第3期32-34,共3页; 文摘以单自由度硅微振动轮式陀螺仪的检测动极板为控制对象,系统的结构特性决定了只能选择反馈控制方式对其进行控制。为实现这种控制对控制系统进行建模以及设计合适的校正环节。反馈方式控制的应用可以有效地改善系统的动态特性和稳态特性。加入校正环节后的系统幅值和相角裕度分别达到了17.5dB和57.3°,这为实际的应用提供了指导。; 关键词硅微振动轮式陀螺仪微机械反馈控制; Keywords silicon micromachined vibratory gyroscope MEMS(microelectromechanical system) feedback control; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	硅微振动陀螺仪设计与性能测试	贾方秀裘安萍施芹苏岩	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	14	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅微振动陀螺仪驱动器自激驱动研究	王存超苏岩王寿荣	《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	14	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于新颖自适应方法的微振动陀螺仪研究	杨玉正费峻涛	《控制工程》 CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅微振动轮式陀螺仪的研究	罗晓章张燕娥吴本寿周百令	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD	1998	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响	王寿荣	《传感器技术》 CSCD	1999	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	硅微角振动陀螺仪温度特性补偿方法研究	余磊徐大诚郭述文	《传感器与微系统》 CSCD	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	静电驱动下振梁微陀螺仪的性能分析	李伟杨晓东张伟	《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心	2020	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究	曾辉周百令苏岩夏敦柱	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料