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微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究 被引量:1
1
作者 王彤宇 潘毓学 +1 位作者 吴一辉 贾宏光 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期228-230,共3页
本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4~ 10 - 7Nm .同... 本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4~ 10 - 7Nm .同时 ,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪 ,并对其中的两项关键技术—非接触微力制动和微力自动加载进行了论述 。 展开更多
关键词 致动 力矩 非接触测量 电子机械系统
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超磁致伸缩微致动器车削系统的动力学分析 被引量:3
2
作者 李莹 袁惠群 吴文波 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1616-1619,共4页
考虑温度及预应力的影响,建立了应用于车削加工系统的超磁致伸缩微致动器动力学模型,并讨论了温度及预应力对其振动响应的影响.预应力对磁滞及理想磁化模型的超磁致伸缩微致动器模型输出位移的影响变化趋势相同,都出现"翻转"... 考虑温度及预应力的影响,建立了应用于车削加工系统的超磁致伸缩微致动器动力学模型,并讨论了温度及预应力对其振动响应的影响.预应力对磁滞及理想磁化模型的超磁致伸缩微致动器模型输出位移的影响变化趋势相同,都出现"翻转"现象,在激励磁场小幅值范围内,系统的输出位移随着预应力的增加而减小,随着激励幅值的增加而增加;当激励磁场幅值较小时,温度对输出位移的影响较小,但是当激励磁场幅值较大时,输出位移随着温度的升高而明显减小.该结果对如何处理预应力、温度、超磁致伸缩材料的滞回的影响提供了理论依据. 展开更多
关键词 滞回模型 超磁致伸缩致动 车削系统 力学模型 响应
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基于稀土超磁致伸缩材料的微致动器设计 被引量:10
3
作者 余佩琼 梅德庆 陈子辰 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期105-108,共4页
选择 Terfenol- D作为微致动器主要材料 ,采用弹簧对 GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变 ,采用偏置磁场消除 GMM棒的倍频现象并使之工作在线性段 ,对磁路进行了分析和优化设计。针对电磁线圈工作发热及涡流损耗引起的 GMM... 选择 Terfenol- D作为微致动器主要材料 ,采用弹簧对 GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变 ,采用偏置磁场消除 GMM棒的倍频现象并使之工作在线性段 ,对磁路进行了分析和优化设计。针对电磁线圈工作发热及涡流损耗引起的 GMM棒温升 。 展开更多
关键词 稀土 超磁致伸缩材料 致动 设计 机电系统技术
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基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究 被引量:9
4
作者 曲东升 孙立宁 +1 位作者 王建国 秦昌 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期506-509,共4页
利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和... 利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元,最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明,本系统具有较好的控制品质和优异的动态性能,在对10μm×10μm两自由度工作台的控制中,闭环控制精度达10nm,阶跃响应的稳定时间小于8ms。 展开更多
关键词 压电驱 米级 精密定位系统 压电陶瓷致动 闭环控制 位移机构
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纳米致动器研究现状与工程应用的进展 被引量:2
5
作者 张永宇 陈晓阳 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期150-157,共8页
纳米致动器是能够以0.1-100mm的步距驱动或移动被控对象的各种装置或器件.根据特征尺寸分为毫米尺度以上的宏机械纳米致动器、制作在芯片上的微米尺度纳米致动器及分子尺度的纳机械致动器,它们的共同特征是可以实现纳米级精度的机械... 纳米致动器是能够以0.1-100mm的步距驱动或移动被控对象的各种装置或器件.根据特征尺寸分为毫米尺度以上的宏机械纳米致动器、制作在芯片上的微米尺度纳米致动器及分子尺度的纳机械致动器,它们的共同特征是可以实现纳米级精度的机械驱动和定位.该文综述了纳米致动器国内外研究状况和主要研究成果,特别对近几年出现的典型的微机械纳米致动器的驱动机理进行了分析,讨论了纳米致动器在工程实际中的应用,指出了其发展的关键技术、存在问题及未来发展前景和趋势. 展开更多
关键词 致动 机械致动 尺度 机电系统 机械
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斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验 被引量:2
6
作者 王振禄 沈雪瑾 陈晓阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3080-3086,共7页
为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出... 为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出位移的理论值,得到了一致性很好的结果。最后,分析了微致动器输出位移的保持性和重复性,以及结构参数和工艺对微致动器输出位移的影响。分析表明:斜梁的长宽比和倾角是影响微致动器输出位移的主要参数,工艺对输出位移有影响。实验结果表明:9V和18V电压下,微致动器的最大位移分别为0.85μm和2.3μm,与理论计算结果相对误差为2.2%和12.8%,实测值与理论值误差较小,表明本文推导的斜梁型电热微致动器的输出位移计算公式合理,能够为该类微致动器的设计和计算提供理论依据。 展开更多
关键词 电热致动 电-热-结构模型 输出位移 机电系统
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微机电系统磁流体压力微传感器 被引量:1
7
作者 徐军民 王瑞金 杨娅君 《机电工程》 CAS 2007年第4期75-77,共3页
由于磁流体具有磁性,如果在磁场作用下力的平衡发生变化,会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中,可以获得1~1000mbar数量级的压力值。在试验装置中,用压阻式压力传感器得到了40mbar的压力。试验结果表明,磁流体和... 由于磁流体具有磁性,如果在磁场作用下力的平衡发生变化,会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中,可以获得1~1000mbar数量级的压力值。在试验装置中,用压阻式压力传感器得到了40mbar的压力。试验结果表明,磁流体和微系统的结合具有很大的潜能,为其应用于新的场合提供了研究基础。 展开更多
关键词 机电系统 磁流体 致动 磁压 压力传感
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基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制 被引量:1
8
作者 张志凯 滑晓欣 +1 位作者 高赛 Konrad Herrmann 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第4期303-307,共5页
阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器,可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要,该致动器基于微机电系统,以静电侧向梳齿为基本结构,采用变间隙设计结构,实现小芯片尺... 阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器,可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要,该致动器基于微机电系统,以静电侧向梳齿为基本结构,采用变间隙设计结构,实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率(nN量级)和大输出力(大于1mN),并介绍了该测试系统的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。 展开更多
关键词 计量学 机电系统 牛力致动 /纳牛拉伸测试 原子力显 静电侧向梳齿
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计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性
9
作者 周丽军 郭建刚 亢一澜 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期391-395,共5页
建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正。研究没有外加电... 建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正。研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度。 展开更多
关键词 微/纳电子机械系统致动器 吸合 稳定性 毛细力
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微泵驱动方式比较研究 被引量:6
10
作者 罗玉元 张国贤 《液压与气动》 北大核心 2003年第7期43-46,共4页
介绍了国内外微流体系统中微泵的致动原理和结构 ,分析了各种致动方法的优缺点 ,对微泵的发展方向做出了展望。
关键词 致动 机械电子系统 流体系统 方式
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热致动硅微夹钳实验研究 被引量:1
11
作者 张永宇 沈雪瑾 +1 位作者 赵江铭 陈晓阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期132-134,共3页
利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试... 利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7~4μm之间. 展开更多
关键词 致动 夹钳 多晶硅 机电系统
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日本的微型机械研究开发 被引量:2
12
作者 周兆英 李勇 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期85-91,共7页
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一,并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心,丰田中央研究所、日立机械研究所、NTT境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大... 日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一,并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心,丰田中央研究所、日立机械研究所、NTT境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大学工学部等从事微型机械研究的现状。 展开更多
关键词 机械 研究开发 致动 研究机构 电子机械系统 日本 细加工技术 机械技术 细电火花加工 研究室
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计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究
13
作者 郭建刚 赵亚溥 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1645-1648,1651,共5页
分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.... 分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象. 展开更多
关键词 旋转式电子机械致动Casimir力 吸合 稳定性 分叉 相图
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微制造平台微振动的H_2/H_∞混合控制 被引量:7
14
作者 张春良 梅德庆 陈子辰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期298-301,305,共5页
基于啄木鸟头部生物构造及其仿生隔振机理 ,采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统。该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器作为主动隔振元件。针对 H2 最优控制和 H∞ 鲁棒控制的优缺点 ,主动控制器采用H2 ... 基于啄木鸟头部生物构造及其仿生隔振机理 ,采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统。该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器作为主动隔振元件。针对 H2 最优控制和 H∞ 鲁棒控制的优缺点 ,主动控制器采用H2 / H∞ 混合控制进行设计 ,并通过 L MI凸优化方法求解 H2 / H∞ 混合控制器。仿真结果表明所设计的 H2 / H∞ 混合控制器具有良好的鲁棒稳定性和时域性能 ,可在非常宽的频率范围对基础干扰和由微制造设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动进行有效的控制 ,其振动控制效果明显优于 H∞ 展开更多
关键词 制造平台 混合隔振 H2/H∞混合控制 仿生学 超磁致伸缩致动 隔振元件 机电系统
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Laccase biosensor using magnetic multiwalled carbon nanotubes and chitosan/silica hybrid membrane modified magnetic carbon paste electrode 被引量:1
15
作者 庞娅 曾光明 +3 位作者 汤琳 章毅 李贞 陈丽娟 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2011年第6期1849-1856,共8页
A simple and rapid strategy to construct laccase biosensor for determination of catechol was investigated. Magnetic multiwalled carbon nanotubes (MMCNT) which possess excellent capability of electron transfer were pre... A simple and rapid strategy to construct laccase biosensor for determination of catechol was investigated. Magnetic multiwalled carbon nanotubes (MMCNT) which possess excellent capability of electron transfer were prepared by chemical coprecipitation method. Scanning electron microscope (SEM) and vibrating sample magnetometer (VSM) were used to identify its surfacetopography and magnetization, respectively. Laccase was immobilized on the MMCNT modified magnetic carbon paste electrode by the aid of chitosan/silica (CS) hybrid membrane. Using current-time detection method, the biosensor shows a linear response related to the concentration of catechol in the range from 10-7 to 0.165×10-3 mol/L. The corresponding detection limit is 3.34×10-8 mol/L based on signal-to-noise ratios (S/N) ≥3 under the optimized conditions. In addition, its response current retains 90% of the original after being stored for 45 d. The results indicate that this proposed strategy can be expected to develop other enzyme-based biosensors. 展开更多
关键词 magnetic multiwalled carbon nanotubes PARAMAGNETISM chitosan/silica sol laccase biosensor catechol
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