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三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究 被引量:7
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作者 丁洪斌 刘佳宏 +1 位作者 宋志民 杨学锋 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第2期128-133,共6页
研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N... 研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N+ 2 的“原位” 展开更多
关键词 原位取样 离子检测 分子束质谱 三级差分抽气
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等离子体气相凝聚技术制备铜纳米团簇薄膜的沉积速率研究
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作者 黄江磊 罗江山 +4 位作者 李喜波 王雅丽 张建波 易勇 唐永建 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期921-926,共6页
采用等离子体气相凝聚技术并结合差分抽气技术产生铜纳米团簇束流,然后在衬底上沉积铜纳米团簇薄膜,研究了溅射电流、氩气流量和结露区长度对其沉积速率的影响。利用X射线衍射仪和透射电子显微镜对薄膜微结构进行了表征。结果表明:保持... 采用等离子体气相凝聚技术并结合差分抽气技术产生铜纳米团簇束流,然后在衬底上沉积铜纳米团簇薄膜,研究了溅射电流、氩气流量和结露区长度对其沉积速率的影响。利用X射线衍射仪和透射电子显微镜对薄膜微结构进行了表征。结果表明:保持其他参数不变的情况下,增加溅射电流和氩气流量,铜纳米团簇薄膜的沉积速率均呈现先增大后减小的趋势,而结露区长度对沉积速率的影响无明显规律,这主要归因于铜纳米团簇粒子的平均自由程变化。铜纳米团簇薄膜主要由粒径约为几纳米的团簇颗粒组成,其结晶程度较低。 展开更多
关键词 等离子体相凝聚技术 差分抽气技术 铜纳米团簇薄膜 沉积速率
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EAST排灰气成分及燃料气体提纯研究
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作者 沈国清 余耀伟 胡建生 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期466-470,共5页
介绍了一套可用于定量分析EAST托卡马克排灰气所需要的差分抽气测量系统的设计和搭建,在测试过程中该系统可以在10^(-)3~10~5Pa范围内正常工作;利用该系统研究了EAST排灰气的气体成分,结果显示EAST正常等离子体一天放电中,外置低温泵所... 介绍了一套可用于定量分析EAST托卡马克排灰气所需要的差分抽气测量系统的设计和搭建,在测试过程中该系统可以在10^(-)3~10~5Pa范围内正常工作;利用该系统研究了EAST排灰气的气体成分,结果显示EAST正常等离子体一天放电中,外置低温泵所吸附的气体总量约为1371.8 Pa·m^3,其中氢及其同位素氘占91.5%,其他的杂质气体主要包括:6.6%H_2O、0.83%N_2/CO、0.39%O_2、0.34%CO_2以及0.059%油;实验还发现外置低温泵回温再生到120 K时,解吸的气体中燃料气体H+D所占比例大于99.9%,而其他杂质的解吸主要发生在150 K之后。因此可以通过在低温泵回温过程中将<120 K之前的气体单独分离出来,即可完成燃料气体与杂质的分离,获得纯度>99.9%的燃料气体。该研究结果对进一步实现燃料气体提纯和回收提供了一种简单、可行的方法。 展开更多
关键词 差分抽气系统 排灰 体提纯 EAST托克马克
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非真空电子束焊接关键技术 被引量:3
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作者 韦寿祺 刘胜 岳庆功 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第9期933-938,共6页
电子束焊接(EBW)对机械工业具有重要意义,传统的EBW受制于庞大真空工作室,导致无法进行大规模的工业应用。非真空电子束焊接(NV-EBW)破除了真空机制,使EBW焊接效率、应用范围以及机动性能得到提升。简述了NVEBW关键技术在国内外的发展... 电子束焊接(EBW)对机械工业具有重要意义,传统的EBW受制于庞大真空工作室,导致无法进行大规模的工业应用。非真空电子束焊接(NV-EBW)破除了真空机制,使EBW焊接效率、应用范围以及机动性能得到提升。简述了NVEBW关键技术在国内外的发展现状及NV-EBW应用,介绍了NV-EBW关键技术的原理以及几种NV-EBW关键技术:差分抽气、纵向引射式气动窗口、等离子窗,总结了各种技术的优缺点以及有待进一步解决的问题,并展望了NV-EBW关键技术的发展方向。 展开更多
关键词 非真空电子束焊接 差分抽气 等离子窗 纵向引射式动窗口
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非真空电子束钢轨焊接装置的设计 被引量:1
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作者 邱泽浩 车军 刘潇潇 《热加工工艺》 北大核心 2022年第7期137-140,共4页
随着我国高速铁路事业的快速发展,为保证钢轨良好的焊接质量并提高焊接效率,需改进目前钢轨焊接技术并研究有效的新型焊接技术。非真空电子束焊接技术可破除真空室约束,提高钢轨焊接效率与焊接质量。简述了差分抽气技术与等离子引出窗技... 随着我国高速铁路事业的快速发展,为保证钢轨良好的焊接质量并提高焊接效率,需改进目前钢轨焊接技术并研究有效的新型焊接技术。非真空电子束焊接技术可破除真空室约束,提高钢轨焊接效率与焊接质量。简述了差分抽气技术与等离子引出窗技术,设计了非真空电子枪结构与钢轨装夹及检测装置,设计了非真空电子束钢轨焊接装置,对钢轨焊接技术提供有价值的参考。 展开更多
关键词 非真空电子束焊接 电子枪 差分抽气 等离子窗 钢轨装夹检测
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