较薄坡莫合金薄膜的磁性能和结构 被引量：8

1

作者 于广华 赵洪辰 +1 位作者 朱逢吾 夏洋 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期419-422,共4页

基于辉光放电原理在不同的溅射气压下制备的NiFe薄膜 ,发现较低溅射气压下比较高溅射气压下制备的NiFe薄膜的磁性能要好得多。较低溅射气压下制备的NiFe(12nm)薄膜 ,各向异性磁电阻 (AMR)值达到 1 2 % ,而其矫顽力却只有12 7 4A/m。结... 基于辉光放电原理在不同的溅射气压下制备的NiFe薄膜 ,发现较低溅射气压下比较高溅射气压下制备的NiFe薄膜的磁性能要好得多。较低溅射气压下制备的NiFe(12nm)薄膜 ,各向异性磁电阻 (AMR)值达到 1 2 % ,而其矫顽力却只有12 7 4A/m。结构分析表明 :较低溅射气压下制备的NiFe薄膜结构缺陷较少 ,内应力小 ;而较高溅射气压下制备的NiFe薄膜结构缺陷较多 。 展开更多

关键词 NiFe薄膜 各向异性磁电阻 矫顽力 内应力 坡莫合金薄膜 溅射 镍铁合金薄膜 结构

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基片温度对坡莫合金薄膜结构和磁电阻的影响 被引量：2

2

作者 王凤平 刘还平 +4 位作者 吴平 潘礼庆 邱宏 田跃 罗胜 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期435-437,共3页

用磁控溅射方法制备了系列坡莫合金Ni80Fe20薄膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜分析了薄膜的结构、晶粒取向、薄膜厚度、截面结构和表面形态。用4点探测技术测量了薄膜的电阻和磁电阻。结果表明:随衬底温度的升高,晶粒... 用磁控溅射方法制备了系列坡莫合金Ni80Fe20薄膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜分析了薄膜的结构、晶粒取向、薄膜厚度、截面结构和表面形态。用4点探测技术测量了薄膜的电阻和磁电阻。结果表明:随衬底温度的升高,晶粒明显长大,膜内的缺陷和应力显著减小,而且增强了薄膜晶粒的[111]择优取向。结果表明,薄膜电阻率显著减小,而磁电阻显著增大。 展开更多

关键词 坡莫合金薄膜 结构 磁电阻 基片温度 磁控溅射

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NiFeNb缓冲层和NiO插层对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 被引量：1

3

作者 王书运 张慧 +2 位作者 高垣梅 高铁军 姚远 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期847-851,共5页

采用NiFeNb材料为坡莫合金薄膜的缓冲层,利用磁控溅射系统制备了一系列(Ni81Fe19)80.7Nb19.3(x)/NiO(y)/Ni81Fe19(20 nm)/NiO(y)/Nb(3 nm)坡莫合金薄膜样品,研究了(Ni81Fe19)80.7Nb19.3缓冲层厚度、NiO插层厚度和基片温度对坡莫合金薄... 采用NiFeNb材料为坡莫合金薄膜的缓冲层,利用磁控溅射系统制备了一系列(Ni81Fe19)80.7Nb19.3(x)/NiO(y)/Ni81Fe19(20 nm)/NiO(y)/Nb(3 nm)坡莫合金薄膜样品,研究了(Ni81Fe19)80.7Nb19.3缓冲层厚度、NiO插层厚度和基片温度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻和微结构的影响。用非共线四探针法测量薄膜样品的各向异性磁电阻值(AMR),用X射线衍射仪分析样品的微结构,用FD-SMOKE-A表面磁光克尔效应实验系统测量不同基片温度下制备的薄膜的磁滞回线。结果表明:(Ni81Fe19)80.7Nb19.3缓冲层及NiO插层都可有效的提高坡莫合金薄膜的AMR值;对于厚度为20 nm的Ni81Fe19坡莫合金薄膜,在NiFeNb缓冲层厚度为2 nm,NiO层厚度为4 nm,基片温度为450℃的条件下,其AMR值最大达到5.25%,比以Ta为缓冲层的薄膜的AMR值提高了60.6%。此时的坡莫合金薄膜出现了较好的(111)织构和大晶粒现象,减少了晶界对传导电子的散射,导致薄膜的AMR值提高。 展开更多

关键词 坡莫合金薄膜 NiFeNb缓冲层 NiO插层 各向异性磁电阻

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ZnO插层对超薄坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响 被引量：1

4

作者 王存涛 王书运 +1 位作者 高垣梅 张慧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1124-1127,共4页

利用多靶磁控溅射系统制备了一系列坡莫合金薄膜样品Ta(4 nm)/ZnO(t)/Ni81Fe19(20 nm)/ZnO(t)/Ta(3nm),研究了ZnO插层厚度、基片温度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻(AMR)和微结构的影响。利用四探针法测量薄膜样品的AMR值,利用X射线衍射... 利用多靶磁控溅射系统制备了一系列坡莫合金薄膜样品Ta(4 nm)/ZnO(t)/Ni81Fe19(20 nm)/ZnO(t)/Ta(3nm),研究了ZnO插层厚度、基片温度对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻(AMR)和微结构的影响。利用四探针法测量薄膜样品的AMR值,利用X射线衍射仪分析样品的微结构。结果表明:由于ZnO插层的"镜面反射"作用,选择适当厚度的ZnO插层能够大幅度提高坡莫合金薄膜AMR值,对于厚度为20 nm的Ni81Fe19薄膜,在基片温度为400℃时,通过插入2 nm厚的ZnO插层使得AMR值较不加插层提高了11%。 展开更多

关键词 坡莫合金薄膜 各向异性磁电阻 ZnO插层 基片温度

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氩离子入射角度对坡莫合金刻蚀速率影响研究 被引量：2

5

作者 李华 郭党委 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第6期51-54,共4页

利用磁控溅射法在单晶硅基底上制备了200nm厚的坡莫合金薄膜,然后利用能量为500eV、束流密度为1mA/cm2的氩离子束分别以不同的入射角度对薄膜进行刻蚀。采用电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)、多晶X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电... 利用磁控溅射法在单晶硅基底上制备了200nm厚的坡莫合金薄膜,然后利用能量为500eV、束流密度为1mA/cm2的氩离子束分别以不同的入射角度对薄膜进行刻蚀。采用电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)、多晶X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)对沉积薄膜的成分、晶体结构和微观形貌进行了测试和分析。利用探针式表面轮廓分析仪测量研究坡莫合金(Ni81Fe19)薄膜刻蚀速率与离子入射角度的关系。实验结果发现:随着氩离子束入射角度变大,坡莫合金薄膜的刻蚀速率逐渐变大;当氩离子束入射角度为50°时,刻蚀速率达到最大值(60nm/min);随着氩离子束入射角度进一步增大到80°,刻蚀速率迅速降低到极小值。 展开更多

关键词 坡莫合金 离子束 刻蚀速率 入射角影响

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0.1级坡莫合金微型电流互感器的设计 被引量：4

6

作者 贺小艳 兰雄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第11期52-54,共3页

文中通过对电流互感器的误差分析,得出误差与电流互感器铁心材料的磁性能有关,进而提出选用磁导率高的坡莫合金铁心材料设计电流互感器,经测试能达到0.1级测量精度。

关键词 微型电流互感器 铁心材料 坡莫合金 比差 角差

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电沉积坡莫合金薄膜的结构和纵向磁阻抗效应(英文)

7

作者 宫峰飞 凯木尔 +3 位作者 沈国土 袁望治 阮建中 杨燮龙 《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期63-67,共5页

采用电沉积法制备了厚度为1.1μm到6.9μm的坡莫合金薄膜.经X-射线衍射分析.其结构为fcc 结构,其中NiFe(111)衍射峰的强度明显增强.该薄膜的磁滞回线测量结果表明:其矫顽力随着薄膜厚度的增加而减小.在交流I(?)=6 mA,频率范围在0.05 kHz... 采用电沉积法制备了厚度为1.1μm到6.9μm的坡莫合金薄膜.经X-射线衍射分析.其结构为fcc 结构,其中NiFe(111)衍射峰的强度明显增强.该薄膜的磁滞回线测量结果表明:其矫顽力随着薄膜厚度的增加而减小.在交流I(?)=6 mA,频率范围在0.05 kHz到600 kHz的条件下,纵向磁阻抗比随着薄膜厚度的增加而增加,其最小值可达-52%. 展开更多

关键词 结构 磁阻抗 坡莫合金 电沉积

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一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型

8

作者 李雪萍 丁桂甫 +2 位作者 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1595-1598,共4页

坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制... 坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成:坡莫合金拉伸试件以光刻和电镀技术成型,其余的加载机构以湿法蚀刻制成.实验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础. 展开更多

关键词 微机电系统 机械性能 坡莫合金 拉伸试验

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基于坡莫合金磁芯的电流互感器宽量程实现 被引量：5

9

作者 谌洪江 江智军 +1 位作者 靳绍平 刘见 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2016年第7期43-47,共5页

针对JJG1021-2007《电力互感器检定规程》规定的磁饱和裕度的直接测量方法存在标准电流互感器过电流问题,通过对影响电流互感器误差的参数进行分析,确定了用坡莫合金磁芯以及适当增加电流互感器二次绕组的导线截面积、磁芯截面积来实现... 针对JJG1021-2007《电力互感器检定规程》规定的磁饱和裕度的直接测量方法存在标准电流互感器过电流问题,通过对影响电流互感器误差的参数进行分析,确定了用坡莫合金磁芯以及适当增加电流互感器二次绕组的导线截面积、磁芯截面积来实现标准电流互感器宽量程,测量准确度等级较原设计提高了一个等级,测量精度达到0.02级,解决了电流互感器磁饱和裕度的直接测量中标准电流互感器过电流的问题。 展开更多

关键词 电流互感器 坡莫合金 磁饱和裕度 宽量程 比差

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缺陷对坡莫合金薄膜磁畴翻转钉扎影响的洛伦兹透射电镜显微研究 被引量：1

10

作者 马传生 朱晓强 +4 位作者 李兴华 齐阔 王建波 薛德胜 彭勇 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第4期294-300,共7页

利用磁控溅射法,在具有孔洞缺陷的铜网碳膜上成功地溅射了一层厚度100 nm,具有圆形缺陷的坡莫合金薄膜。结合常规透射电镜分析测试,研究了此类缺陷的形成机理及结构性质。利用洛伦兹透射电镜观察缺陷对周围磁矩的影响,以及在磁化反转过... 利用磁控溅射法,在具有孔洞缺陷的铜网碳膜上成功地溅射了一层厚度100 nm,具有圆形缺陷的坡莫合金薄膜。结合常规透射电镜分析测试,研究了此类缺陷的形成机理及结构性质。利用洛伦兹透射电镜观察缺陷对周围磁矩的影响,以及在磁化反转过程中,缺陷对畴壁运动的影响。结果表明,此类缺陷是不同于膜本身的第二相弱磁性材料,它对畴壁的运动有着先排斥后吸引的钉扎作用。 展开更多

关键词 洛伦兹透射电子显微镜 坡莫合金 缺陷 磁矩翻转 钉扎 畴壁运动

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坡莫合金/铜磁性多层膜微观力学性能的研究

11

作者 艾家和 高阳 +2 位作者 耿魁伟 曾飞 潘峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期42-45,49,共5页

本文用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了具有不同坡莫合金层厚度的坡莫合金/铜磁性多层膜,并采用纳米力学系统分别以压痕法、划痕法测定了坡莫合金层厚度对多层膜显微硬度、弹性模量以及划痕的临界载荷、宽度和深度等的影响.研究结... 本文用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了具有不同坡莫合金层厚度的坡莫合金/铜磁性多层膜,并采用纳米力学系统分别以压痕法、划痕法测定了坡莫合金层厚度对多层膜显微硬度、弹性模量以及划痕的临界载荷、宽度和深度等的影响.研究结果表明:在既定的接触深度,多层膜的显微硬度及弹性模量随坡莫合金层厚度变化不大,它们分别约为4.5 GPa和80 GPa,比坡莫合金单层膜的值低而比铜单层膜的值高;坡莫合金层厚度对多层膜微观摩擦学性能有较大的影响:随坡莫合金层厚度减小,特别是当其小于等于1.6 nm时,划痕有较高的临界载荷、较小的宽度和较浅的残余深度;多层膜的划痕临界载荷高于坡莫合金单层膜的值. 展开更多

关键词 坡莫合金 铜磁性多层膜 微观力学性能 压痕 划痕

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坡莫合金纳米盘中交换偏置的涡旋动力学行为

12

作者 柳艳 胡勇 +1 位作者 杜安 晁月盛 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1213-1216,共4页

提出铁磁反铁磁界面交换作用模型,并采用数值计算方法对在交换偏置场作用下坡莫合金纳米盘中涡旋的动力学行为进行研究.计算表明,在这种涡旋形钉扎场的作用下,涡旋核的螺旋运动频率会增大,而且随着铁磁/反铁磁之间界面交换作用的增加而... 提出铁磁反铁磁界面交换作用模型,并采用数值计算方法对在交换偏置场作用下坡莫合金纳米盘中涡旋的动力学行为进行研究.计算表明,在这种涡旋形钉扎场的作用下,涡旋核的螺旋运动频率会增大,而且随着铁磁/反铁磁之间界面交换作用的增加而线性增加;同时涡旋核向平衡位置的弛豫时间缩短,交换偏置作用起到了阻尼的效果.当有外磁场作用时,交换偏置使得铁磁层涡旋核运动轨迹不再是简单的螺旋曲线,核到盘中心的距离振荡增加直到达到一个稳定值. 展开更多

关键词 涡旋 交换偏置 坡莫合金纳米盘 螺旋运动 反铁磁

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稀土铈添加对Fe-80Ni坡莫合金洁净度及磁性能的影响 被引量：1

13

作者 姚科安 董艳伍 +2 位作者 姜周华 王永 孙经哲 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期3260-3275,共16页

Fe-80Ni坡莫合金的磁性能是研究人员关注的重点,洁净度是影响合金磁性的重要因素。稀土铈因其优异的脱氧、脱硫能力,成为冶金工业中备受欢迎的添加剂。本研究通过在冶炼中添加稀土铈来改善合金洁净度,从而提高合金的磁性能。在真空感应... Fe-80Ni坡莫合金的磁性能是研究人员关注的重点,洁净度是影响合金磁性的重要因素。稀土铈因其优异的脱氧、脱硫能力,成为冶金工业中备受欢迎的添加剂。本研究通过在冶炼中添加稀土铈来改善合金洁净度,从而提高合金的磁性能。在真空感应炉冶炼过程中,通过添加铈对合金深度净化后,合金的氧、硫含量降到很低的水平,合金中夹杂物数量显著降低,合金中的夹杂物被改质成为含铈夹杂。含铈夹杂在合金变形过程中不易变形、破碎,不会出现聚集状态,减小夹杂物对合金磁性能的负面影响。Fe-80Ni经添加稀土铈处理后其磁化率上升,矫顽力下降。 展开更多

关键词 坡莫合金 铈 洁净度 夹杂物 软磁性能

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用电铸电工纯铁代替5ONi坡莫合金制造继电器 被引量：1

14

作者 艾柳庭 宋福来 +1 位作者 唐孝敦 范玉铠 《继电器》 CSCD 1993年第3期58-62,共5页

本文叙述了以电铸电工纯铁材料代替50Ni坡莫合金制造JRM—1型电磁密封继电器的制造、测试过程。为了对比,同时又用50Ni坡莫合金制造成同类型产品,二者均经过连续五次温度循环试验和高温寿命试验等。试验、对比结果证明,用电铸电工纯铁... 本文叙述了以电铸电工纯铁材料代替50Ni坡莫合金制造JRM—1型电磁密封继电器的制造、测试过程。为了对比,同时又用50Ni坡莫合金制造成同类型产品,二者均经过连续五次温度循环试验和高温寿命试验等。试验、对比结果证明,用电铸电工纯铁制造的上述继电器,在规定的条件下,电气性能指标符合要求,完全能代替50Ni坡莫合金材料,达到了节约镍的目的,经济效益十分可观。 展开更多

关键词 纯铁 坡莫合金 继电器 制造

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影响高镍软磁合金磁性能的因素分析 被引量：8

15

作者 李小明 白涛涛 +3 位作者 崔雅茹 杨文涛 程学贵 王克功 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第2期32-35,40,共5页

坡莫软磁合金的磁性能主要取决于合金的化学成分、合金熔炼与浇铸工艺、热处理工艺、加工工艺以及合金带组织等。本文在概述合金主要牌号及性能的基础上,分析了Ni、Mo和Mn等合金元素含量、合金中非金属夹杂物的类型及含量、合金的晶粒... 坡莫软磁合金的磁性能主要取决于合金的化学成分、合金熔炼与浇铸工艺、热处理工艺、加工工艺以及合金带组织等。本文在概述合金主要牌号及性能的基础上,分析了Ni、Mo和Mn等合金元素含量、合金中非金属夹杂物的类型及含量、合金的晶粒度与晶体织构、合金带材的应力、有序化转与塑性变形、热处理中退火工艺及冷却制度等因素对高镍坡莫软磁合金中磁性能的影响规律,为进一步提高坡莫软磁合金的磁性能提供理论参考。 展开更多

关键词 坡莫合金 磁性能 非金属夹杂物 热处理工艺

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1J79合金薄带的热处理工艺改进 被引量：4

16

作者 黄文荣 汤光平 邱志勇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1995年第4期55-56,共2页

１Ｊ７９合金薄带的热处理工艺改进中国工程物理研究院机械制造工艺研究所（成都６１０００３）黄文荣，汤光平，邱志勇１引吉ＩＪ７９为坡莫合金，属铁镍软磁合金系列［’］。它除了广泛用于一般工业外，在一些尖端科技中，常用于测试... １Ｊ７９合金薄带的热处理工艺改进中国工程物理研究院机械制造工艺研究所（成都６１０００３）黄文荣，汤光平，邱志勇１引吉ＩＪ７９为坡莫合金，属铁镍软磁合金系列［’］。它除了广泛用于一般工业外，在一些尖端科技中，常用于测试仪器仪表的防磁屏蔽。使用前，须进行... 展开更多

关键词 坡莫合金 薄带 热处理

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软磁合金铁芯的热处理

17

作者 黄焕耀 《电测与仪表》 1986年第12期-,共2页

一、引言电流互感器、电压互感器、各种变压器、扼流圈、交直流变换器、铁芯电感器、磁头和磁放大器等电工仪表行业中广泛使用的磁性器件,他们主要由作为导电材料的漆包铜线和作为导磁材料的各种软磁铁芯构成。软磁铁芯的热处理是保证... 一、引言电流互感器、电压互感器、各种变压器、扼流圈、交直流变换器、铁芯电感器、磁头和磁放大器等电工仪表行业中广泛使用的磁性器件,他们主要由作为导电材料的漆包铜线和作为导磁材料的各种软磁铁芯构成。软磁铁芯的热处理是保证性能的关键技术之一。软磁材料一般是指矫顽力H_e低于120A/m的磁性材料,例如软磁铁氧体、金属软磁材料等。金属软磁材料最常用的如Fe—Si。Fe— 展开更多

关键词 金属软磁材料 经过 铁芯 电器构件 超坡莫合金

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基于OOMMF的各向异性磁阻传感器参数仿真

18

作者 蒋琪 姜岩峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期65-68,共4页

为了提高各向异性磁阻(AMR)传感器的性能,通过仿真模拟的方案来对传感器内部坡莫合金感应层的结构参数进行优化。利用OOMMF软件仿真坡莫合金薄膜的磁滞回线,使用控制变量法分别对薄膜取不同的厚度和长宽比时的性能进行分析。从仿真结果... 为了提高各向异性磁阻(AMR)传感器的性能,通过仿真模拟的方案来对传感器内部坡莫合金感应层的结构参数进行优化。利用OOMMF软件仿真坡莫合金薄膜的磁滞回线,使用控制变量法分别对薄膜取不同的厚度和长宽比时的性能进行分析。从仿真结果中的矫顽力、磁滞损耗等方面对比其磁学性能,并结合实际制备的薄膜表面粗糙度测试结果进行理论分析。最终,得到较为完整的坡莫合金薄膜结构参数来为AMR传感器性能优化提供理论依据。 展开更多

关键词 各向异性磁阻效应 坡莫合金 磁滞回线 OOMMF软件

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利用自制可加磁场样品台对链状位移型磁畴壁的原位洛伦兹电子显微术研究 被引量：5

19

作者 刘海华 车仁超 +1 位作者 王志峰 段晓峰 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期97-101,共5页

利用自制的可加磁场样品台,结合离焦洛仑兹电子显微术,原位研究了坡莫合金中的一种链状位移型磁畴壁在磁化和反磁化过程中的变化,并据此提出了相应的样品薄膜面内的磁力线分布模型。

关键词 原位洛仑兹电子显微术 链状位移型畴壁 磁畴 坡莫合金

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一种便于推广应用的磁通门技术 被引量：3

20

作者 何焱 吴武臣 丁广玉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1279-1282,共4页

二次谐波磁通门具有很多优点,使其在弱磁场测量领域获得广泛应用。但它对设计、材料和制作工艺要求高,一般产品的精度在±2%左右。采用新材料、新工艺制作的精品其精度可达±0.5%,但造价较高。新研制的调相法磁通门不仅具有二... 二次谐波磁通门具有很多优点,使其在弱磁场测量领域获得广泛应用。但它对设计、材料和制作工艺要求高,一般产品的精度在±2%左右。采用新材料、新工艺制作的精品其精度可达±0.5%,但造价较高。新研制的调相法磁通门不仅具有二次谐波磁通门的那些优点,而且结构更简单,工作更稳定,对结构和制作工艺要求不高,精度较容易达到,且优于±0.5%。 展开更多

关键词 磁通门 坡莫合金 交流过饱和励磁 非对称调制作用 调相法

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