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惰性碳源对两步反应烧结碳化硅陶瓷组织和性能的影响 被引量:1
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作者 潘鑫龙 张明君 +1 位作者 王波 杨建锋 《功能材料》 北大核心 2025年第1期1179-1183,1192,共6页
两步反应烧结可以降低反应烧结碳化硅中的残余硅含量,采用纳米炭黑为活性碳源,过量碳微球和金刚石分别为惰性碳源,通过两步反应烧结制备了碳化硅陶瓷,分析比较了两种惰性碳源的反应率,以及对碳化硅陶瓷力学性能和热学性能的影响。结果表... 两步反应烧结可以降低反应烧结碳化硅中的残余硅含量,采用纳米炭黑为活性碳源,过量碳微球和金刚石分别为惰性碳源,通过两步反应烧结制备了碳化硅陶瓷,分析比较了两种惰性碳源的反应率,以及对碳化硅陶瓷力学性能和热学性能的影响。结果表明,在碳密度和烧结工艺条件相同的情况下,金刚石的反应率低于碳微球,制备的烧结体中残余硅较多。在1550℃保温6 h条件下,使用高硬度的金刚石为惰性碳源制备的碳化硅的显微硬度达(2488±133)HV,高于使用碳微球制备的碳化硅。但是由于使用金刚石为惰性碳源制备的烧结体中低导热的残余硅较多,导致使用金刚石制备碳化硅的导热系数较低,在1550℃保温6 h条件下为115 W·m-1·K-1,低于碳微球使用的碳微球。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 碳源 两步反应烧结 残余硅
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碳源对反应烧结碳化硅性能的影响 被引量:3
2
作者 张喜飞 陈定 +2 位作者 顾华志 黄奥 付绿平 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第1期312-316,353,共6页
以炭黑和石墨为碳源,控制碳添加量为10%(质量分数,下同),研究了不同炭黑、石墨比例对反应烧结碳化硅性能的影响。结果表明,当炭黑添加量为4%、石墨添加量为6%时,反应烧结碳化硅的力学性能较佳,此时抗弯强度为251.7 MPa,断裂韧性为4.29 M... 以炭黑和石墨为碳源,控制碳添加量为10%(质量分数,下同),研究了不同炭黑、石墨比例对反应烧结碳化硅性能的影响。结果表明,当炭黑添加量为4%、石墨添加量为6%时,反应烧结碳化硅的力学性能较佳,此时抗弯强度为251.7 MPa,断裂韧性为4.29 MPa·m^(1/2)。通过XRD检测及对XRD谱进行Rietveld精修,分析发现炭黑添加量为4%、石墨添加量为6%的反应烧结碳化硅中的游离Si含量为24.44%(质量分数),而石墨添加量为10%的反应烧结碳化硅中的游离Si含量为28.57%(质量分数),相比前者游离Si含量较高,减少游离Si的含量可以提高反应烧结碳化硅的力学性能。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 炭黑 石墨 力学性能 游离Si
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酚醛/环氧树脂凝胶注模成型制备反应烧结碳化硅 被引量:1
3
作者 凌厦厦 相宇博 +1 位作者 郑翰 吴吉光 《耐火材料》 CAS 北大核心 2024年第4期329-333,共5页
为了探究一种低成本、环保的反应烧结碳化硅材料成型方法,以SiC细粉和微粉、酚醛树脂和环氧树脂为主要原料,四甲基氢氧化铵为分散剂,配制固相质量分数为55%,酚醛树脂质量分数分别为13.5%、18%、22.5%及27%的SiC陶瓷泥浆,采用凝胶注模成... 为了探究一种低成本、环保的反应烧结碳化硅材料成型方法,以SiC细粉和微粉、酚醛树脂和环氧树脂为主要原料,四甲基氢氧化铵为分散剂,配制固相质量分数为55%,酚醛树脂质量分数分别为13.5%、18%、22.5%及27%的SiC陶瓷泥浆,采用凝胶注模成型制成坯体,坯体经固化、800℃保温2 h热处理后,在真空条件下1760℃保温3 h制备反应烧结碳化硅材料。研究了坯体的固化机制及酚醛树脂加入量对试样显微结构、物相组成和物理性能的影响。结果表明:1)坯体固化机制为酚醛/环氧树脂中羟甲基与芳环的邻对位氢发生缩合反应交联,形成了较高强度的结合网络。2)随着酚醛树脂加入量的增加,树脂体系裂解残碳与熔融硅反应,烧后试样的常温抗折强度先增加然后降低。当酚醛树脂加入量为18%(w)时,烧后试样常温抗折强度最高,为79.9 MPa,此时试样的显气孔率和体积密度分别为1.1%、2.88 g·cm^(-3)。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 凝胶注模 酚醛树脂 环氧树脂
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以淀粉为填充剂的碳坯渗硅制备反应烧结碳化硅陶瓷 被引量:9
4
作者 武七德 鄢永高 +2 位作者 郭兵健 李美娟 刘小磐 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期302-306,共5页
探索了一条高性能RBSC低成本制造的新途径,本研究以石油焦粉为碳质原料制坯,玉米淀粉为填充剂调整碳坯的密度,纯碳素坯经高温渗硅得到密度为3.12g/cm3,强度为580MPa的反应烧结碳化硅陶瓷.研究结果表明掺加淀粉后素坯中含有更多的微孔,... 探索了一条高性能RBSC低成本制造的新途径,本研究以石油焦粉为碳质原料制坯,玉米淀粉为填充剂调整碳坯的密度,纯碳素坯经高温渗硅得到密度为3.12g/cm3,强度为580MPa的反应烧结碳化硅陶瓷.研究结果表明掺加淀粉后素坯中含有更多的微孔,烧结体晶粒平均尺寸为2-4μm,晶粒细化是材料性能比传统RBSC材料高的原因. 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅陶瓷 填充剂 碳坯渗硅 制备方法 显微结构 材料性能
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添加元素对反应烧结碳化硅导电特性的影响 被引量:9
5
作者 吕振林 高积强 +1 位作者 王红洁 金志浩 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期92-94,共3页
研究了Ni、Mo和Al元素对反应烧结碳化硅导电特性的影响.试样通过室温、高温电阻率的测定和显微组织分析,可知在室温与高温下,加入Ni、Mo和Al均可明显降低反应烧结碳化硅的电阻率,随着Ni、Mo和Al加入量的增加,碳化硅的室温电阻率也下降.... 研究了Ni、Mo和Al元素对反应烧结碳化硅导电特性的影响.试样通过室温、高温电阻率的测定和显微组织分析,可知在室温与高温下,加入Ni、Mo和Al均可明显降低反应烧结碳化硅的电阻率,随着Ni、Mo和Al加入量的增加,碳化硅的室温电阻率也下降.其中,Ni、Mo对反应烧结碳化硅电阻率的影响比Al大.在烧结过程中,Ni、Mo分别与液态Si反应,并在碳化硅粒子界面处生成Ni2Si3和Mo3Si5相。 展开更多
关键词 碳化硅 掺杂 元素 导电特性 反应烧结碳化硅
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反应烧结碳化硅的显微组织 被引量:8
6
作者 黄清伟 金志浩 +1 位作者 高积强 王永兰 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期89-91,99,共4页
对不同生坯进行硅化处理后得到的反应烧结碳化硅的显微组织进行了研究.结果表明:选用αSiC+C粉的混合物作为生坯,SiC相的体积分数随生坯中wC的增加而增加,但过大的wC将使硅化后的试样出现残碳;选用碳毡作为生坯,反应烧结碳化硅的显微组... 对不同生坯进行硅化处理后得到的反应烧结碳化硅的显微组织进行了研究.结果表明:选用αSiC+C粉的混合物作为生坯,SiC相的体积分数随生坯中wC的增加而增加,但过大的wC将使硅化后的试样出现残碳;选用碳毡作为生坯,反应烧结碳化硅的显微组织特点是C/Si反应生成的碳化硅颗粒均匀细小,并呈线状分布在游离硅中;浸渍过树脂的碳毡硅化处理后的显微组织特点是反应生成的碳化硅颗粒粗大且呈不均匀分布.X射线衍射结果也表明,反应烧结碳化硅陶瓷由游离Si、αSiC、βSiC组成。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 生坯 显微组织 碳化硅陶瓷
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成型方式对反应烧结碳化硅显微结构及强度的影响 被引量:12
7
作者 武七德 刘开松 +1 位作者 屠隆 李娜 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2011年第3期407-411,共5页
本文以0.8μm改性SiC粉采用凝胶注模成型制备了超细晶反应烧结碳化硅陶瓷。研究了压制和凝胶注模两种成型方式对反应烧结碳化硅的微观结构及材料性能的影响。SEM分析显示,PF成型的素坯中微孔结构分布不均,GC成型的素坯中SiC与C相互包裹... 本文以0.8μm改性SiC粉采用凝胶注模成型制备了超细晶反应烧结碳化硅陶瓷。研究了压制和凝胶注模两种成型方式对反应烧结碳化硅的微观结构及材料性能的影响。SEM分析显示,PF成型的素坯中微孔结构分布不均,GC成型的素坯中SiC与C相互包裹均匀分散,坯体的孔结构均匀;RBSC材料金相观察表明,采用常规的压汞仪测试不能真实反映素坯的孔结构。GC成型的RBSC中SiC和游离硅(fSi)的分布均匀细小是材料强度提高的主要原因。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 凝胶注模 游离硅 显微结构 强度
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氧化对反应烧结碳化硅陶瓷断裂强度的影响 被引量:7
8
作者 黄清伟 吕振林 +1 位作者 高积强 金志浩 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期46-49,共4页
研究了在1300℃空气中的高温氧化对反应烧结碳化硅陶瓷室温断裂强度的影响。结果表明:反应烧结碳化硅陶瓷的室温断裂强度随氧化时间增加呈现出先升后降的变化趋势,当氧化225h时,材料的室温断裂强度最高,达334MPa。研究认为,试样表面非晶... 研究了在1300℃空气中的高温氧化对反应烧结碳化硅陶瓷室温断裂强度的影响。结果表明:反应烧结碳化硅陶瓷的室温断裂强度随氧化时间增加呈现出先升后降的变化趋势,当氧化225h时,材料的室温断裂强度最高,达334MPa。研究认为,试样表面非晶态SiO2的晶化以及氧化膜起裂是造成材料室温断裂强度变化的原因。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 高温氧化 断裂强度 陶瓷
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反应烧结碳化硅反射镜表面改性技术 被引量:8
9
作者 徐领娣 张学军 王旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期120-124,共5页
为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较... 为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较为全面的分析比较。本文采用新的离子辅助沉积碳化硅(IAD-SiC)材料为改性层,对改性层的表面形貌及部分性能进行了测试,证明IAD-SiC膜层能够满足改性要求。在厚度为(6±0.5)μm的IAD-SiC膜层表面进行了一系列抛光工艺实验,文中给出了超光滑表面抛光工艺参数和实验结果。对改性层进行精抛光后,100mm口径样片的面形精度为0.033λRMS(λ=632.8nm),表面粗糙度优于0.5nmRMS。结果表明,本方法不仅可以很大程度提高元件表面质量,还可以进一步精修面形,为超光滑、低散射RB-SiC反射镜的加工提供了一条可行途径。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 表面改性 表面粗糙度 离子辅助沉积碳化硅 超光滑表面
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新型反应烧结碳化硅陶瓷的超精密磨削 被引量:9
10
作者 戴玉堂 姜德生 大森整 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期595-597,共3页
介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。... 介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。获得了表面粗糙度Ra=0.57nm的超平滑镜面。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 超精密磨削 在线电解修整 表面特性
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反应烧结碳化硅材料的高温氧化 被引量:2
11
作者 吕振林 李世斌 +2 位作者 高积强 金志浩 李贺军 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期58-63,共6页
研究了反应烧结碳化硅材料 (RB SiC) 90 0℃的氧化过程以及制备参数和掺杂元素对氧化过程的影响。结果表明 :在 90 0℃氧化时 ,除石油焦加入量较高的反应烧结碳化硅材料在氧化初期表现为质量损失外 ,其余均表现为质量增加 ,并且质量增... 研究了反应烧结碳化硅材料 (RB SiC) 90 0℃的氧化过程以及制备参数和掺杂元素对氧化过程的影响。结果表明 :在 90 0℃氧化时 ,除石油焦加入量较高的反应烧结碳化硅材料在氧化初期表现为质量损失外 ,其余均表现为质量增加 ,并且质量增加量与氧化时间遵循抛物线规律。掺杂Al和Ni元素可以提高碳化硅材料的高温抗氧化能力。氧化过程对反应烧结碳化硅材料的导电性能影响不大。对碳化硅材料的氧化机制及影响因素进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 高温氧化 掺杂
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低压注射成型反应烧结碳化硅的制备及性能的研究 被引量:1
12
作者 倪天原 茹红强 +2 位作者 张翠萍 岳新艳 王伟 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2021年第4期688-694,共7页
以碳化硅(SiC)和炭黑(C)为原料,石蜡(PW)为粘结剂,采用低压注射成型制备了反应烧结碳化硅,并研究了分散剂种类及添加量对浆料粘度的影响,同时分析了碳含量对碳化硅陶瓷微观结构与力学性能的影响。研究结果表明,当十六胺添加量为1 wt.%... 以碳化硅(SiC)和炭黑(C)为原料,石蜡(PW)为粘结剂,采用低压注射成型制备了反应烧结碳化硅,并研究了分散剂种类及添加量对浆料粘度的影响,同时分析了碳含量对碳化硅陶瓷微观结构与力学性能的影响。研究结果表明,当十六胺添加量为1 wt.%、固含量为70 wt.%时,浆料粘度为300 mPa·s,浆料的分散效果最佳。当煅烧温度为1450℃,碳含量为7 wt.%时,材料的体积密度为2.89 g/cm^(3)、气孔率为0.06%、抗弯强度为259 MPa、断裂韧性为4.35 MPa·m^(1/2)、维氏硬度(Vickers-Hardness,HV)为2950。 展开更多
关键词 低压注射成型 反应烧结碳化硅 分散剂 碳含量 力学性能
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炭黑和造孔剂对反应烧结碳化硅性能的影响 被引量:1
13
作者 张喜飞 陈定 +3 位作者 罗琼 顾华志 黄奥 付绿平 《耐火材料》 CAS 北大核心 2023年第4期320-323,共4页
为提高反应烧结碳化硅的力学性能,以碳化硅微粉(55~44和5.0~3.5μm)和炭黑为原料,羧甲基纤维素纳(CMC)和羟丙基甲基纤维素(HPMC)为造孔剂,经1740℃保温1 h制备了反应烧结碳化硅陶瓷。研究了炭黑添加量(加入质量分数分别为5%、7.5%、10%... 为提高反应烧结碳化硅的力学性能,以碳化硅微粉(55~44和5.0~3.5μm)和炭黑为原料,羧甲基纤维素纳(CMC)和羟丙基甲基纤维素(HPMC)为造孔剂,经1740℃保温1 h制备了反应烧结碳化硅陶瓷。研究了炭黑添加量(加入质量分数分别为5%、7.5%、10%、12.5%、15%)及不同质量比的造孔剂对反应烧结碳化硅物理性能的影响,并进行XRD和光学显微镜分析。结果表明:1)当炭黑添加量(w)从5%增加到15%时,材料弯曲强度从172 MPa升高到258 MPa,断裂韧性从3.31 MPa·m^(1/2)升高到3.77 MPa·m^(1/2);2)造孔剂能够优化游离Si的分布,当炭黑添加量为15%(w),造孔剂CMC与HPMC质量比为1.5∶4.5时,反应烧结碳化硅具有优异的力学性能,其弯曲强度为268 MPa,断裂韧性为4.42 MPa·m^(1/2)。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 炭黑 造孔剂 断裂韧性
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层压成型工艺制备近净成型反应烧结碳化硅材料的研究 被引量:2
14
作者 杨金华 刘虎 +1 位作者 焦春荣 焦健 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期57-61,共5页
采用层压成型工艺制备反应烧结碳化硅,其主要工艺步骤包括原材料料片的制备、层压成型、炭化及熔渗四步。材料在热压、炭化及熔渗后尺寸变化率分别为1.13%、1.65%与0.70%。碳化后得到的多孔体具有均匀的孔径分布,其中值孔径为0.23μm。... 采用层压成型工艺制备反应烧结碳化硅,其主要工艺步骤包括原材料料片的制备、层压成型、炭化及熔渗四步。材料在热压、炭化及熔渗后尺寸变化率分别为1.13%、1.65%与0.70%。碳化后得到的多孔体具有均匀的孔径分布,其中值孔径为0.23μm。制备的反应烧结碳化硅材料弯曲强度为269±23 MPa,弯曲模量为231±9 GPa,密度为3.016±0.003g/cm3,孔隙率为2.05±0.38%,实现了近净成型法制备高强度反应烧结碳化硅材料。 展开更多
关键词 碳化硅 反应烧结碳化硅 熔渗 结构陶瓷
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预氧化处理对反应烧结碳化硅微观结构和弯曲强度的影响
15
作者 郝鸿渐 李海燕 +2 位作者 万德田 包亦望 李月明 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2022年第8期2889-2895,共7页
本文提出了一种简单有效的预氧化处理方法,用来强化反应烧结碳化硅(RBSC),研究了800~1300℃预氧化处理对其微观结构和力学性能的影响,探究了含不同尺寸压痕裂纹的材料在氧化前后残余弯曲强度的变化规律。结果表明,随着氧化温度的升高,R... 本文提出了一种简单有效的预氧化处理方法,用来强化反应烧结碳化硅(RBSC),研究了800~1300℃预氧化处理对其微观结构和力学性能的影响,探究了含不同尺寸压痕裂纹的材料在氧化前后残余弯曲强度的变化规律。结果表明,随着氧化温度的升高,RBSC的室温强度和Weibull模数均存在先下降后上升,然后再下降的趋势,主要原因是不同温度氧化后的RBSC表面形貌不同。在1200℃下预氧化2 h,RBSC的弯曲强度和Weibull模数都明显变大,强度提升了19.9%,Weibull模数由7.3提升到11.8。然而,800℃低温氧化不完全和1300℃高温氧化反应过于强烈均会导致弯曲强度和Weibull模数下降。在最优氧化条件(1200℃氧化2 h)下,含压痕裂纹(载荷20 N)的RBSC试样的残余弯曲强度在氧化后由201.1 MPa提高到324.2 MPa,强化机理是高温氧化生成的SiO_(2)能够消除材料表面缺陷和微裂纹。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 预氧化 裂纹自愈合 弯曲强度 Weibull模数 维氏压痕
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反应烧结碳化硅超声线锯切割试验研究
16
作者 宋洪侠 曾国伟 +3 位作者 晁胜豪 郭晓光 董志刚 王毅丹 《机械强度》 2025年第9期164-173,共10页
反应烧结碳化硅(Reaction Bonded Silicon Carbide, RB-SiC)因其优异的热稳定性、耐辐射性以及化学惰性,被广泛应用于核能和光学领域核心构件的制造。但是,RB-SiC材料具有硬度高、脆性大等特点,传统加工方法难以保证其加工质量和效率。... 反应烧结碳化硅(Reaction Bonded Silicon Carbide, RB-SiC)因其优异的热稳定性、耐辐射性以及化学惰性,被广泛应用于核能和光学领域核心构件的制造。但是,RB-SiC材料具有硬度高、脆性大等特点,传统加工方法难以保证其加工质量和效率。超声金刚石线锯切割(锯切)技术作为硬脆材料的高效加工方法,已在单晶Si、单晶SiC等硬脆材料的加工中成功应用。然而,该技术在RB-SiC材料的切削试验和工艺的研究还有待开展。为此,首次开展了RB-SiC的超声锯切试验研究,搭建了超声锯切RB-SiC平台,对比分析了平行与垂直超声振动方向的加工表面质量,研究了超声振幅、线速度、进给速度参数对表面粗糙度及表面微观形貌的影响规律。试验结果表明,超声锯切在提高表面质量等方面具有显著优势。随着振幅由3μm提高到7μm,表面粗糙度值降低了17.4%,表面划痕和凹坑数量随之减少;相较于垂直进给方向,平行进给方向的超声锯切更能有效提高RB-SiC材料的表面质量。本研究可为RB-SiC材料超声锯切工艺研究提供指导。 展开更多
关键词 超声锯切 反应烧结碳化硅 金刚石线锯 超声振动 表面质量
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特大尺寸轻型碳化硅镜坯烧结工艺研究 被引量:2
17
作者 赵文兴 张舸 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2838-2842,共5页
本文分析了反应烧结过程中温度场分布对碳化硅(SiC)镜坯的影响,提出安全升降温速率与陶瓷坯体尺寸的平方成反比关系;测试了SiC素坯热膨胀系数、导热系数与温度的关系,在此基础上讨论了镜坯中的热应力与安全升降温参数的确定;同时通过对... 本文分析了反应烧结过程中温度场分布对碳化硅(SiC)镜坯的影响,提出安全升降温速率与陶瓷坯体尺寸的平方成反比关系;测试了SiC素坯热膨胀系数、导热系数与温度的关系,在此基础上讨论了镜坯中的热应力与安全升降温参数的确定;同时通过对固态、液态硅(Si)以及Si固液态转变的特性分析,确定了最佳硅熔渗温度;最后分析了反应烧结SiC(RBSiC)中残余应力的产生机理,提出了解决办法。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 温度场 素坯 熔融硅
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离子辅助制备碳化硅改性薄膜 被引量:21
18
作者 陈红 高劲松 +5 位作者 宋琦 王彤彤 申振峰 王笑夷 郑宣鸣 范镝 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期381-385,共5页
介绍了一种利用霍尔型离子源辅助电子束蒸发,在反应烧结碳化硅(RB-SiC)材料上制备硅改性薄膜的方法,研究了不同沉积速率下薄膜改性后的抛光效果。对样品进行了表面散射及反射的测量。通过样品的显微照片可知,硅膜层在沉积速率增大的条... 介绍了一种利用霍尔型离子源辅助电子束蒸发,在反应烧结碳化硅(RB-SiC)材料上制备硅改性薄膜的方法,研究了不同沉积速率下薄膜改性后的抛光效果。对样品进行了表面散射及反射的测量。通过样品的显微照片可知,硅膜层在沉积速率增大的条件下结构趋于疏松。在精细抛光镀制有硅改性薄膜的反应烧结碳化硅样品后,表面散射系数减小到1.46%,反射率接近抛光良好的微晶玻璃。温度冲击实验和表面拉力实验表明:硅膜无龟裂和脱落,性质稳定,与碳化硅基底结合良好。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 表面改性 离子辅助沉积 霍尔源 表面散射系数
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轻型碳化硅质反射镜坯体的制造工艺 被引量:21
19
作者 赵文兴 张舸 +1 位作者 赵汝成 包建勋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2609-2617,共9页
研究了轻型碳化硅质反射镜坯体制造技术,讨论了制备工艺中的关键环节。提出了一种先进的消失模技术用于制备性能更加优异的背部半封闭式轻量化结构。针对制备大尺寸复杂形状陶瓷的难点,研究了SiC陶瓷素坯凝胶注模成型及成型过程中高固... 研究了轻型碳化硅质反射镜坯体制造技术,讨论了制备工艺中的关键环节。提出了一种先进的消失模技术用于制备性能更加优异的背部半封闭式轻量化结构。针对制备大尺寸复杂形状陶瓷的难点,研究了SiC陶瓷素坯凝胶注模成型及成型过程中高固相含量低黏度SiC浆料的配置、浆料固化时间控制及大尺寸复杂形状SiC湿坯的液体干燥工艺等。测试分析了坯体烧结过程中素坯的热失重与差热曲线,制定了最佳的烧结工艺。通过对以上关键技术的研究,制备得到了不同形状与轻量化结构形式的单块轻型SiC坯体,最大尺寸为1 100mm×820mm。 展开更多
关键词 凝胶注浆成型 反应烧结碳化硅 反射镜
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大尺寸轻型碳化硅质镜体的制造与材料性能测试 被引量:24
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作者 张舸 赵汝成 赵文兴 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期759-763,共5页
利用凝胶注模(gel-casting)成型工艺制备了620 mm和700 mm×300 mm的碳化硅(SiC)轻型反射镜素坯,经过脱模、干燥、脱脂和反应烧结等工艺,制备了反应烧结SiC(RB-SiC)镜体。镜体经过加工和测试,结果表明:制备的RB-SiC内部结构均匀致... 利用凝胶注模(gel-casting)成型工艺制备了620 mm和700 mm×300 mm的碳化硅(SiC)轻型反射镜素坯,经过脱模、干燥、脱脂和反应烧结等工艺,制备了反应烧结SiC(RB-SiC)镜体。镜体经过加工和测试,结果表明:制备的RB-SiC内部结构均匀致密;力学性能和热学性能优异,抗弯强度、断裂韧性和热膨胀系数分别达到了350 MPa、4.1 MPa.m1/2和2.67×10-6/K;镜体经抛光后的表面粗糙度RMS值可优于3 nm,适合用于制备空间用大尺寸轻型反射镜。 展开更多
关键词 凝浇注模 轻型反射镜 反应烧结碳化硅
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