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MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应
被引量：
1
1
作者
孙东明
董玮
+4 位作者
郭文滨
刘彩霞
王国东
徐宝琨
陈维友
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期343-347,共5页
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
关键词
空气
压膜阻尼效应
微机械光电系统
雷诺方程
倾斜下电极
响应时间
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职称材料
微加工静电排斥驱动器特性分析
被引量：
1
2
作者
陶逢刚
姚军
+3 位作者
汪为民
庄须叶
张恒
胡放荣
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期41-47,共7页
基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300μm的MEMS静电排斥型离面驱动器。此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高。利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工。为研究静电排斥型驱动...
基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300μm的MEMS静电排斥型离面驱动器。此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高。利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工。为研究静电排斥型驱动器的动态响应特性,建立了该驱动器的等效模型并利用数值计算方法分析了驱动器的压膜阻尼特性和幅频特性。采用白光干涉仪对微驱动器进行了静态和动态测试,测试结果表明,所设计的MEMS静电排斥驱动器在100V的电压下实现了2.1μm的驱动位移,工作带宽为2kHz,具有较快的响应速度。
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关键词
MEMS
静电排斥微驱动器
压膜阻尼效应
动态分析
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职称材料
MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析
3
作者
季莅莅
方玉明
+2 位作者
孜乃提古丽.布尔汉
戚举
艾昕晨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1311-1315,共5页
本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值。通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得...
本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值。通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得出了阻尼比变化对动态Pull-in参数的影响。结果表明,压膜阻尼效应会增大Pull-in电压、减小Pull-in位移;当阻尼比大于0.4,动态Pull-in电压值将与静态Pull-in电压值一致;当阻尼比大于0.5,动态Pull-in位移值将与静态Pull-in位移值一致。
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关键词
静电微执行器
动态
Pull-in参数
ANSYS
压膜阻尼效应
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职称材料
题名
MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应
被引量：
1
1
作者
孙东明
董玮
郭文滨
刘彩霞
王国东
徐宝琨
陈维友
机构
吉林大学集成光电子学国家重点实验室
出处
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期343-347,共5页
基金
科技部"863计划"项目基金(批准号: 2002AA312020)
吉林省科技发展计划项目基金(批准号: 20010319 )
教育部跨世纪优秀人才培养计划基金
文摘
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
关键词
空气
压膜阻尼效应
微机械光电系统
雷诺方程
倾斜下电极
响应时间
Keywords
air squeeze film damping effect
micro-opto-electro-mechanical systems
Reynolds equation
slant lower electrode
switching time
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微加工静电排斥驱动器特性分析
被引量：
1
2
作者
陶逢刚
姚军
汪为民
庄须叶
张恒
胡放荣
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
桂林电子科技大学电子工程学院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期41-47,共7页
基金
国家自然科学基金项目(60978051)
四川省青年科学基金项目(2011JQ0047)
西部之光博士资助项目(A11K011)
文摘
基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300μm的MEMS静电排斥型离面驱动器。此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高。利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工。为研究静电排斥型驱动器的动态响应特性,建立了该驱动器的等效模型并利用数值计算方法分析了驱动器的压膜阻尼特性和幅频特性。采用白光干涉仪对微驱动器进行了静态和动态测试,测试结果表明,所设计的MEMS静电排斥驱动器在100V的电压下实现了2.1μm的驱动位移,工作带宽为2kHz,具有较快的响应速度。
关键词
MEMS
静电排斥微驱动器
压膜阻尼效应
动态分析
Keywords
MEMS
electrostatic repulsive micromirror
air damping effect
dynamic analysis
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析
3
作者
季莅莅
方玉明
孜乃提古丽.布尔汉
戚举
艾昕晨
机构
南京邮电大学电子与光学工程学院微电子学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1311-1315,共5页
基金
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJCX17_0231
KYCX18_0879)
南京邮电大学大学生创新训练计划项目(XZD2018041)
文摘
本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值。通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得出了阻尼比变化对动态Pull-in参数的影响。结果表明,压膜阻尼效应会增大Pull-in电压、减小Pull-in位移;当阻尼比大于0.4,动态Pull-in电压值将与静态Pull-in电压值一致;当阻尼比大于0.5,动态Pull-in位移值将与静态Pull-in位移值一致。
关键词
静电微执行器
动态
Pull-in参数
ANSYS
压膜阻尼效应
Keywords
electrostatic micro-actuator
dynamic
Pull-in parameter
ANSYS
squeeze damping effect
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应
孙东明
董玮
郭文滨
刘彩霞
王国东
徐宝琨
陈维友
《吉林大学学报（理学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微加工静电排斥驱动器特性分析
陶逢刚
姚军
汪为民
庄须叶
张恒
胡放荣
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析
季莅莅
方玉明
孜乃提古丽.布尔汉
戚举
艾昕晨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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职称材料
已选择
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