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基于压电陶瓷器件的微动系统智能控制研究
被引量:
1
1
作者
杨川
赵强
张志
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期55-58,共4页
研究了微型三坐标测量仪中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统。根据该微动系统对定位精度的要求及微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性的特点,该文提出一种神经网络自适应模糊推理比例微分积分(PID)位置控制系统,并进行了控制系统结...
研究了微型三坐标测量仪中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统。根据该微动系统对定位精度的要求及微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性的特点,该文提出一种神经网络自适应模糊推理比例微分积分(PID)位置控制系统,并进行了控制系统结构研究和实验分析。跟踪实验结果表明,智能PID控制能有效改善系统的动态和静态性能;定位精度实验表明两轴双向定位精度较传统PID控制有大的提高,达到了设计要求。
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关键词
压电陶瓷器件
模糊逻辑
神经网络
非线性
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职称材料
银掺杂对低温烧结四元系陶瓷压电性能的影响
被引量:
12
2
作者
胡晓冰
李龙土
+1 位作者
左如忠
桂治轮
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第1期33-35,共3页
研究了微量银掺杂对多层压电陶瓷器件中使用的高性能低温烧结PMN-PNN-PZT(PMNNZT)基陶瓷压电性能的影响。结果表明:在烧结后没有产生明显的新相,少量银掺杂促进了陶瓷的烧结,增强了PMNNZT陶瓷的铁电性。对其压电性能的影响比较显著,具...
研究了微量银掺杂对多层压电陶瓷器件中使用的高性能低温烧结PMN-PNN-PZT(PMNNZT)基陶瓷压电性能的影响。结果表明:在烧结后没有产生明显的新相,少量银掺杂促进了陶瓷的烧结,增强了PMNNZT陶瓷的铁电性。对其压电性能的影响比较显著,具体表现为:微量的银掺杂增强了压电性能,但更多的银掺杂恶化了陶瓷的压电性能。该文解释为银掺杂影响了压电陶瓷材料的应变性能,从而进一步影响了压电性能。
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关键词
银掺杂
多层
压电陶瓷器件
低温烧结
压电
性能
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职称材料
一种超精密压电式微位移机构研究
被引量:
11
3
作者
孙宝玉
刘巨
+2 位作者
岳晓峰
王登月
任建岳
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期487-489,共3页
针对压电陶瓷输出位移过小的缺点,采用AE0505D16型层叠式PZT器件作为驱动器,柔性铰链作为导向机构,设计了一种超精密压电式微位移机构.该机构输出位移由原来的11 6μm增加到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移...
针对压电陶瓷输出位移过小的缺点,采用AE0505D16型层叠式PZT器件作为驱动器,柔性铰链作为导向机构,设计了一种超精密压电式微位移机构.该机构输出位移由原来的11 6μm增加到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位准确度测试,将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位误差由原来的1μm降低到0 01μm,定位准确度得到显著提高.
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关键词
超精密
压电
式
压电
陶瓷
微位移
器件
柔性铰链
线切割
精密定位
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职称材料
超精密柔性压电式微位移机构的研究
被引量:
4
4
作者
荆丹
陶晓巍
李迎春
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2010年第12期133-136,共4页
设计了一种超精密压电式微位移机构,此机构以压电陶瓷作为驱动器,以对称杠杆式柔性铰链放大机构作为导向机构,弥补压电陶瓷位移行程过小的缺点。机构输出位移由原来的11.6μm放大到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要。对...
设计了一种超精密压电式微位移机构,此机构以压电陶瓷作为驱动器,以对称杠杆式柔性铰链放大机构作为导向机构,弥补压电陶瓷位移行程过小的缺点。机构输出位移由原来的11.6μm放大到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要。对此微位移机构进行定位精度测试,并将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位精度由原来的1μm上升到0.01μm,定位精度得到显著提高。
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关键词
压电
陶瓷
微位移
器件
柔性铰链
线切割
精密定位
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职称材料
智能控制在超精密定位中的应用研究
被引量:
18
5
作者
杨川
赵强
张志
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1218-1223,共6页
针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度。研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的两维超精密定位系统。由于压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统具有迟滞、蠕变等...
针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度。研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的两维超精密定位系统。由于压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性,同时受到宏动系统高加速运行的扰动,常规PID控制难以获得良好控制效果。对此,提出神经网络自适应模糊推理PID位置控制系统,并进行了控制系统结构研究,实验结果表明:智能控制能有效改善系统的控制性能,提高了重复定位精度。
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关键词
压电陶瓷器件
模糊逻辑
神经网络
非线性
超精密定位
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职称材料
题名
基于压电陶瓷器件的微动系统智能控制研究
被引量:
1
1
作者
杨川
赵强
张志
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期55-58,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50575178)
文摘
研究了微型三坐标测量仪中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统。根据该微动系统对定位精度的要求及微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性的特点,该文提出一种神经网络自适应模糊推理比例微分积分(PID)位置控制系统,并进行了控制系统结构研究和实验分析。跟踪实验结果表明,智能PID控制能有效改善系统的动态和静态性能;定位精度实验表明两轴双向定位精度较传统PID控制有大的提高,达到了设计要求。
关键词
压电陶瓷器件
模糊逻辑
神经网络
非线性
Keywords
piezoelectric devices
fuzzy logic
neural networks
nonlinearity
分类号
TN104.2 [电子电信—物理电子学]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
银掺杂对低温烧结四元系陶瓷压电性能的影响
被引量:
12
2
作者
胡晓冰
李龙土
左如忠
桂治轮
机构
清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第1期33-35,共3页
基金
国家自然科学重大基金资助项目(59995523)
文摘
研究了微量银掺杂对多层压电陶瓷器件中使用的高性能低温烧结PMN-PNN-PZT(PMNNZT)基陶瓷压电性能的影响。结果表明:在烧结后没有产生明显的新相,少量银掺杂促进了陶瓷的烧结,增强了PMNNZT陶瓷的铁电性。对其压电性能的影响比较显著,具体表现为:微量的银掺杂增强了压电性能,但更多的银掺杂恶化了陶瓷的压电性能。该文解释为银掺杂影响了压电陶瓷材料的应变性能,从而进一步影响了压电性能。
关键词
银掺杂
多层
压电陶瓷器件
低温烧结
压电
性能
Keywords
multilayer ceramic device
low-firing
piezoelectric properties
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
一种超精密压电式微位移机构研究
被引量:
11
3
作者
孙宝玉
刘巨
岳晓峰
王登月
任建岳
机构
中国科学院光学精密机械与物理研究所
长春工业大学机电工程学院
长春市新星锅炉厂
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期487-489,共3页
文摘
针对压电陶瓷输出位移过小的缺点,采用AE0505D16型层叠式PZT器件作为驱动器,柔性铰链作为导向机构,设计了一种超精密压电式微位移机构.该机构输出位移由原来的11 6μm增加到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位准确度测试,将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位误差由原来的1μm降低到0 01μm,定位准确度得到显著提高.
关键词
超精密
压电
式
压电
陶瓷
微位移
器件
柔性铰链
线切割
精密定位
Keywords
Actuators
Cutting
Flexible structures
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
超精密柔性压电式微位移机构的研究
被引量:
4
4
作者
荆丹
陶晓巍
李迎春
机构
长春工业大学机电工程学院
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2010年第12期133-136,共4页
基金
国家教育部基金资助项目(208032)
文摘
设计了一种超精密压电式微位移机构,此机构以压电陶瓷作为驱动器,以对称杠杆式柔性铰链放大机构作为导向机构,弥补压电陶瓷位移行程过小的缺点。机构输出位移由原来的11.6μm放大到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要。对此微位移机构进行定位精度测试,并将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位精度由原来的1μm上升到0.01μm,定位精度得到显著提高。
关键词
压电
陶瓷
微位移
器件
柔性铰链
线切割
精密定位
Keywords
piezoelectric micro-motion actuator
flexible hinge
linear cutting
precision position
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
智能控制在超精密定位中的应用研究
被引量:
18
5
作者
杨川
赵强
张志
机构
机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学精密工程研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1218-1223,共6页
基金
国家自然科学基金(50575178)资助项目
文摘
针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度。研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的两维超精密定位系统。由于压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性,同时受到宏动系统高加速运行的扰动,常规PID控制难以获得良好控制效果。对此,提出神经网络自适应模糊推理PID位置控制系统,并进行了控制系统结构研究,实验结果表明:智能控制能有效改善系统的控制性能,提高了重复定位精度。
关键词
压电陶瓷器件
模糊逻辑
神经网络
非线性
超精密定位
Keywords
piezoelectric devices
fuzzy logic
neural networks
nonlinearity
ultra-precision position
分类号
TP273.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于压电陶瓷器件的微动系统智能控制研究
杨川
赵强
张志
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
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职称材料
2
银掺杂对低温烧结四元系陶瓷压电性能的影响
胡晓冰
李龙土
左如忠
桂治轮
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
一种超精密压电式微位移机构研究
孙宝玉
刘巨
岳晓峰
王登月
任建岳
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
超精密柔性压电式微位移机构的研究
荆丹
陶晓巍
李迎春
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2010
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
智能控制在超精密定位中的应用研究
杨川
赵强
张志
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
18
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职称材料
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