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直流磁控溅射法在玻璃上沉积金属镍膜的研究
被引量：
3
1
作者
韩丽
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期65-67,共3页
采用直流磁控溅射法,在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜,测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度,讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响。结果表明,薄膜的表面粗糙度随溅射功率...
采用直流磁控溅射法,在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜,测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度,讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响。结果表明,薄膜的表面粗糙度随溅射功率的增加而增大,控制溅射气压、溅射功率和行车速度为一定值,可以得到透过率为50%的半透镍膜。
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关键词
磁控溅射
半透镍膜
液晶显示
真空镀
膜
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职称材料
题名
直流磁控溅射法在玻璃上沉积金属镍膜的研究
被引量：
3
1
作者
韩丽
机构
河北工程大学土木工程学院
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期65-67,共3页
基金
河北省建设厅资助项目(2009-129)
文摘
采用直流磁控溅射法,在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜,测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度,讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响。结果表明,薄膜的表面粗糙度随溅射功率的增加而增大,控制溅射气压、溅射功率和行车速度为一定值,可以得到透过率为50%的半透镍膜。
关键词
磁控溅射
半透镍膜
液晶显示
真空镀
膜
Keywords
magnetron sputtering
semitransparent Ni coating
LCD display
vacuum coating
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流磁控溅射法在玻璃上沉积金属镍膜的研究
韩丽
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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