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一种半导体自动化制造系统中的死锁避免 被引量:3
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作者 滕少华 伍乃骐 《计算机集成制造系统-CIMS》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期25-32,共8页
在半导体自动化制造TRACK系统中,由于没有缓冲空间,死锁避免更加困难,保守策略大大降低资源利用率。而路径的柔性为获得更有效的死锁避免策略提供了可能性。本文采用面向资源的着色Petri网建模,基于该模型并利用路径柔性,提出一个系统... 在半导体自动化制造TRACK系统中,由于没有缓冲空间,死锁避免更加困难,保守策略大大降低资源利用率。而路径的柔性为获得更有效的死锁避免策略提供了可能性。本文采用面向资源的着色Petri网建模,基于该模型并利用路径柔性,提出一个系统无死锁的充分条件,并给出相应的控制规律。依据该规律,系统中任务的个数不受限制,并能处理多晶片类型。最后,给出一个说明本方法的应用实例。 展开更多
关键词 半导体自动化制造系统 死锁避免 PETRI网 控制策略
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基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用 被引量:6
2
作者 李程 江志斌 +4 位作者 李友 李娜 耿娜 姚世清 贾文友 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期230-235,共6页
针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组... 针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期. 展开更多
关键词 半导体晶圆制造系统 批处理 瓶颈 调度
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面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化 被引量:10
3
作者 张怀 江志斌 郭乘涛 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1257,共6页
针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、... 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、方差和制品数量等4个指标上均有所改善. 展开更多
关键词 派工策略 响应曲面法 期望函数 半导体晶圆制造系统
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半导体制造系统优化调度模型的分解和简化方法 被引量:2
4
作者 卫军胡 管晓宏 +1 位作者 孙国基 胡保生 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期61-64,110,共5页
在半导体制造系统流体网络模型的基础上 ,建立了以减小平均在制品水平为目标的可分解的优化调度模型 .利用其可分解的特性 ,把整个调度周期划分为若干等长的子区间 ,把原调度问题分解为这些子区间上的子问题 .在半导体制造环境下 ,这些... 在半导体制造系统流体网络模型的基础上 ,建立了以减小平均在制品水平为目标的可分解的优化调度模型 .利用其可分解的特性 ,把整个调度周期划分为若干等长的子区间 ,把原调度问题分解为这些子区间上的子问题 .在半导体制造环境下 ,这些子问题可以进一步简化 ,因此通过求解这些子问题得到了原调度问题的解 .这种算法的计算量与调度周期成正比 ,而且应用实例表明 ,其性能有很大提高 . 展开更多
关键词 半导体制造系统 仿真调度 优化调度模型 分解
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半导体制造系统的优化调度模型 被引量:1
5
作者 卫军胡 韩九强 孙国基 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 2001年第2期133-135,138,共4页
在流体网络模型的基础上建立了以减小平均在制品水平目标的半导体制造系统的调度模型.这些模型通常很难求解, 但它们是可分解的, 即可以把整个调度周期上的调度问题分解为一系列子区间上的调度子问题. 在半导体生产环境下, 子问题可以... 在流体网络模型的基础上建立了以减小平均在制品水平目标的半导体制造系统的调度模型.这些模型通常很难求解, 但它们是可分解的, 即可以把整个调度周期上的调度问题分解为一系列子区间上的调度子问题. 在半导体生产环境下, 子问题可以进一步简化. 把上述结果当作调度规则直接应用于基于仿真的调度方法, 可以克服流体网络模型的近似性, 同时, 由于充分利用了系统全局的状态信息, 提高了仿真调度的优化能力. 展开更多
关键词 优化调度 半导体制造系统 目标函数 流体网络模型 仿真
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半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化 被引量:5
6
作者 李衍飞 江志斌 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期209-213,共5页
从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现... 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法. 展开更多
关键词 半导体晶圆制造系统 时变多目标 生产计划与调度 模糊控制 模拟退火法
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基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究 被引量:1
7
作者 李衍飞 江志斌 张怀 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期732-737,共6页
针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最... 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。 展开更多
关键词 半导体晶圆制造系统(SWFS) 时变多目标(TVMO) 生产计划与调度 模糊控制
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半导体制造与加工业的ERP系统设计与实现
8
作者 丁丽丽 赵霁 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第S1期79-84,共6页
该文针对半导体制造与加工业生产的特点 ,从企业内部供应链的角度分析了企业生产的特点和在半导体行业实施ERP系统的难点和重点 。
关键词 半导体 制造加工业 ERP系统 系统设计
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基于CORBA-MMS的制造自动化通讯系统设计 被引量:6
9
作者 周炳海 王世进 +1 位作者 王国龙 奚立峰 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期17-20,38,共5页
为了有效地集成自动化制造车间中数控机床、机器人、自动导向小车等智能设备,进行控制实体与智能设备之间的合理通信设计是十分必要的。在描述制造报文规范(MMS)和CORBA分布式技术的基础上,提出了制造自动化通讯系统的设计方法。构建了... 为了有效地集成自动化制造车间中数控机床、机器人、自动导向小车等智能设备,进行控制实体与智能设备之间的合理通信设计是十分必要的。在描述制造报文规范(MMS)和CORBA分布式技术的基础上,提出了制造自动化通讯系统的设计方法。构建了基于CORBA-MMS的自动化制造控制系统通讯系统结构,并对建立在此通讯结构基础上的自动化制造控制系统中控制实体的通讯接口进行了设计。此设计方法在无锡职业学院的单元自动化控制系统中得到了验证。 展开更多
关键词 通讯系统 制造报文规范 制造自动化 控制系统
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基于问题分解的蚁群算法在半导体晶圆制造调度中的应用 被引量:9
10
作者 郭乘涛 江志斌 张怀 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1798-1802,共5页
为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间... 为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间设置重叠操作以保证调度的一致性.为调度各子问题,提出一种分类蚁群算法以处理不同类型的机器.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行,结果表明,该方法对调度结果有显著的提升. 展开更多
关键词 半导体晶圆制造系统 调度 分解 蚁群算法
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半导体制造车间设施规划浅析 被引量:6
11
作者 俞静 钱省三 邵志芳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期21-24,共4页
在半导体制造业中,由于其设备的昂贵性、敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局一般不可以轻易更改。设计不周的不良布局将会导致庞大的物料搬运成本,无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造... 在半导体制造业中,由于其设备的昂贵性、敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局一般不可以轻易更改。设计不周的不良布局将会导致庞大的物料搬运成本,无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题之一。本文依据设施规划的原则对半导体车间的最新布局方式作了系统的阐述。 展开更多
关键词 半导体制造车间 设施规划 优化配置 物料搬运系统
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基于云制造的数控机床自动化生产系统设计 被引量:8
12
作者 罗永洪 胡小兵 《现代电子技术》 北大核心 2020年第22期181-183,186,共4页
传统的数控机床存在自动化程度差、系统集成度低的问题,为了提高数控机床的信息资源自动化程度,文中设计资源元数据粒度模型,剔除了机床生产中的冗余信息并提高其控制效率。针对解决数控机床控制难以集成的问题,文中设计基于软PLC的数... 传统的数控机床存在自动化程度差、系统集成度低的问题,为了提高数控机床的信息资源自动化程度,文中设计资源元数据粒度模型,剔除了机床生产中的冗余信息并提高其控制效率。针对解决数控机床控制难以集成的问题,文中设计基于软PLC的数控机床控制方案。通过硬件与软件分离技术提高自动控制系统的可移植性,实现云端上位机的集中控制。为了验证该方案的可行性,文中建立基于三轴作动器的数控机床验证平台,相比于两种传统方案,该方案耗时减少了50%,能耗更低,且准确性提高了12%以上。 展开更多
关键词 数控机床 自动化生产 系统设计 制造 粒度模型 自动控制
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基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型 被引量:4
13
作者 朱登洁 吴立辉 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期2267-2274,共8页
为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径... 为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述,提高了性能分析模型的准确性。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行实验,并与仿真模型进行比较。结果表明:基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输小车利用率、AMHS搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值97%处于[-7%,9%]的区间范围,且比仿真模型具有更高的计算效率。 展开更多
关键词 晶圆制造 自动化物料运输系统 性能分析模型 排队网络
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基于驻留约束的半导体晶圆蚀刻系统实时调度算法 被引量:1
14
作者 李鑫 周炳海 陆志强 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1742-1745,1750,共5页
为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的启发式实时调度算法.仿真实验结果表明,该算法是有效和实用的.
关键词 蚀刻系统 半导体晶圆制造 实时调度 驻留约束
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制造自动化系统和数控设备集成技术研究 被引量:1
15
作者 马燕 宋建永 王滨 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2005年第11期3001-3003,3077,共4页
本着实用和集成的原则,研究制造自动化系统和数控设备的集成技术,并在实际中进行了应用。详细介绍了该系统的需求、结构和实现的关键技术。
关键词 制造自动化系统 数控设备 串行通信
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自动化制造系统物流设计策略研究 被引量:1
16
作者 楼应侯 龚秉周 刘谨 《机械设计与制造》 2001年第4期60-61,共2页
在自动化制造系统(FMS、CIMS等)中,物流设计必须满足整个制造系统的要求。设计策略 直接影响物流系统,以至于整个制造系统的效益。从自动化制造系统对物流的要求出发,提出了物流 系统总体设计及各组成部分设计的策略,并分... 在自动化制造系统(FMS、CIMS等)中,物流设计必须满足整个制造系统的要求。设计策略 直接影响物流系统,以至于整个制造系统的效益。从自动化制造系统对物流的要求出发,提出了物流 系统总体设计及各组成部分设计的策略,并分析了其它相关因素对物流系统设计的影响。 展开更多
关键词 物流 自动化 设计 CIMS FMS 自动化制造系统
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半导体芯片制造混合调度方法 被引量:1
17
作者 胡鸿韬 江志斌 陈侃 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期460-464,共5页
针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不... 针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果. 展开更多
关键词 遗传算法 动态调度规则 半导体芯片制造系统
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基于PlantSimulation的半导体机台配置优化仿真分析 被引量:2
18
作者 白帆 徐策 +3 位作者 程星华 李舒欣 赵晓妍 黄志磊 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期103-108,共6页
半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation... 半导体制造工厂的机台数量配置对产线的生产效率具有重要影响,然而传统机台配置方法不能将时间维度和复杂派工策略统筹考虑,难以量化评估机台配置对产能的影响,容易出现投资浪费、产能不足、空间布局不合理等问题。在Plant Simulation仿真软件中建立半导体制造执行系统(MES)实时派工机制,模拟工厂的真实运行状态,同时提出了一种机台配置的优化算法。将此方法用于某半导体工厂的设备配置,有效提升了产能及设备利用率,为半导体及其他行业的机台配置提供借鉴和参考。 展开更多
关键词 半导体工厂 离散仿真分析 制造执行系统(MES) 派工策略 产线机台配置
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电工电子技术在塑料加工自动化中的应用 被引量:1
19
作者 叶绪娟 《塑料工业》 北大核心 2025年第1期170-171,共2页
作为一种轻质和易加工的材料,塑料在现代工业生产中扮演着重要角色。随着制造业对生产效率和产品质量要求的不断提高,塑料加工自动化成为行业发展的必然趋势。本文旨在探讨塑料加工自动化的基本概念、工艺流程以及电工电子技术在其中的... 作为一种轻质和易加工的材料,塑料在现代工业生产中扮演着重要角色。随着制造业对生产效率和产品质量要求的不断提高,塑料加工自动化成为行业发展的必然趋势。本文旨在探讨塑料加工自动化的基本概念、工艺流程以及电工电子技术在其中的具体应用。通过分析自动化控制系统、驱动与执行系统、数据采集与监控系统以及故障诊断与安全保障,揭示这些技术如何帮助塑料加工行业实现更高效、更智能的生产模式。 展开更多
关键词 加工自动化 塑料加工行业 数据采集与监控系统 电工电子技术 安全保障 自动化控制系统 产品质量要求 制造
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机械制造自动化系统中检测技术的具体运用 被引量:5
20
作者 孟晓烨 《南方农机》 2017年第8期58-58,共1页
在产品制造过程中,产品的质量除了会受到制造设备自身质量的影响之外,还会受到检测技术的影响。企业应当关注机械制造自动化系统中的检测技术,引进先进的检测设备,提升检测水平。文章首先分析了检测系统的基本概念,然后介绍检测技术在... 在产品制造过程中,产品的质量除了会受到制造设备自身质量的影响之外,还会受到检测技术的影响。企业应当关注机械制造自动化系统中的检测技术,引进先进的检测设备,提升检测水平。文章首先分析了检测系统的基本概念,然后介绍检测技术在自动化制造系统中的作用,最后探究了检测技术在自动化机械制造系统中的运用,希望能够为今后相关研究提供一定的参考依据。 展开更多
关键词 机械制造 自动化系统 检测技术
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